CDA系统及制程真空系统简介

壓縮乾燥空氣及製程真空系統廠務四處空調課~第一單元~壓縮乾燥空氣系統壓縮乾燥空氣系統系統目的提供低含水量之壓縮潔淨空氣需求設備離心式空氣壓縮機(螺旋式空氣壓縮機)吸附式乾燥機(冷凍式乾燥機)微粒子過濾器品質要求(各廠需求略有不同)系統末端壓力高於7.0kg/cm2空氣露點溫度低於-70℃(水份含量低於0.12ppm)微粒數少於10顆/ft3壓縮乾燥空氣系統壓力單位inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大氣壓力1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力錶壓力+大氣壓力壓力換算1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi絕對真空大氣壓力零度錶壓錶壓力絕對壓力絕對壓力真空度壓縮乾燥空氣系統風量單位CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)單位換算1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH=(3.28ft)3/min=35.3CFM特定風量條件StandardCondition(SCMM)：1atm、20℃、65%R.HNormalCondition(NCMM)：1atm、0℃、0%R.H壓縮乾燥空氣系統Standard&Normal風量轉換理想氣體定律(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2P：絕對壓力T：絕對溫度Standard&Normal風量轉換範例100SCMM=NCMM理想氣體定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273)=(1.033kg/cm2*NCMM)/(0℃+273)Ans：93.17NCMMQ(Standard)Q(Normal)壓縮乾燥空氣系統壓縮乾燥空氣處理流程壓縮乾燥空氣系統離心式空氣壓縮機壓縮乾燥空氣系統離心式空氣壓縮機冷凝水橈性接頭油過滤器油温控制阀油冷却器主油泵油加热器油箱旁通阀过滤網油空氣水後冷却器中間冷卻器中間冷卻器辅油泵進口空氣过滤器和消音器進口調節導葉止回阀排油氣風扇及過滤器壓縮乾燥空氣系統IGV&BOV壓縮乾燥空氣系統乾燥機元件介紹A吸附桶槽B吸附桶槽鼓風機電加熱器A桶槽偵濕器B桶安全洩壓閥(10.6kg/cm2)空氣入口空氣出口限流孔板A桶安全洩壓閥(10.6kg/cm2)B桶槽偵濕器壓縮乾燥空氣系統乾燥機元件介紹~氣動控制閥件A吸附桶槽B吸附桶槽空氣入口空氣出口入口閥A桶排氣閥B桶排氣閥A桶洩壓閥B桶洩壓閥建壓閥逆止閥壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力錶(機械式)PTPPPPTT入口壓力出口壓力A桶槽壓力B桶槽壓力冷卻壓力A桶槽溫度B桶槽溫度排氣出口溫度PPPPP壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力錶(機械式)InletPressureLeftChamberPressureA桶槽B桶槽LeftChamberPressureRightChamberPressureInletPressureOutletPressurePurgeMoistureIndicatorOutletPressurePurgeRightChamberPressureMoistureIndicator1.藍色正常2.粉紅含水PTPPPPTT壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力錶(機械式)B桶槽冷卻壓力壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力控制開關(電子式)TTTTTPPT加熱溫度控制開關(維持200℃)加熱器溫度保護開關(370℃)B桶槽高溫切換保護開關(50℃)A桶槽高溫切換保護開關(50℃)空氣出口溫度監視點A桶槽建壓壓力開關(45psi)B桶槽建壓壓力開關(45psi)加熱結束溫度控制開關(80℃)壓縮乾燥空氣系統CycleTime(22hr)單一桶槽依續完成吸附與再生過程之總時間吸附過程(11hr)乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序再生過程(11hr)洩壓程序(8min)：洩除欲再生桶槽保有之壓力加熱程序(240minmax)：加溫移除乾燥粒子所含水份冷卻程序(410minmax)：冷卻乾燥粒以恢復吸附能力建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽之壓力TTTTTPPTA桶槽B桶槽壓縮乾燥空氣系統工作流程~吸附過程入口閥(桶槽切換時作動)A桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)吸附桶槽待機桶槽建壓閥(OFF)桶槽切換依據1.偵濕器作動(7.5~13kHz)2.時間控制(11hr)B桶槽高溫切換保護開關(50℃)A桶槽高溫切換保護開關(50℃)TTTTTPPTA桶槽B桶槽壓縮乾燥空氣系統再生過程~洩壓程序(8min)入口閥A桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(ON)B桶洩壓閥(OFF)洩壓桶槽吸附桶槽建壓閥(OFF)TTTTTPPTA桶槽B桶槽壓縮乾燥空氣系統再生過程~加熱程序(240minmax)入口閥A桶排氣閥(ON)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)加熱桶槽吸附桶槽建壓閥(OFF)加熱溫度控制開關(維持200℃)加熱器溫度保護開關(370℃)加熱結束溫度控制開關(80℃)1.鼓風機啟動2.加熱器啟動TTTTTPPTA桶槽B桶槽壓縮乾燥空氣系統再生過程~冷卻程序(410minmax)入口閥A桶排氣閥(ON)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)冷卻桶槽吸附桶槽建壓閥(ON)35℃TTTTTPPTA桶槽B桶槽壓縮乾燥空氣系統再生過程~建壓程序(15min)入口閥A桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)建壓桶槽吸附桶槽建壓閥(ON)35℃A桶槽建壓壓力開關(45psi)B桶槽高溫切換保護開關(50℃)A桶槽高溫切換保護開關(50℃)壓縮乾燥空氣系統微粒子補捉原理氣流慣性/衝擊粒子粒子粒子欄截擴散/靜電粒子運動路徑粒子運動路徑~第二單元~製程真空系統製程真空系統系統目的移除系統內氣體、創造具真空度之空間需求設備真空機(真空泵)品質要求(各廠略有不同)系統末端真空度高於25.0inHg製程真空系統壓力單位inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大氣壓力1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力錶壓力+大氣壓力真空度負壓力單位or壓力單位(vac)絕對真空大氣壓力零度錶壓錶壓力絕對壓力絕對壓力真空度Tank-1Tank-2TFTCFLCDLCM2FLCM3FLCM4FLCM5FLCM6FP系統末端真空度監視點自動加載設定自動減載設定加減載真空度延遲時間-26.0inHg-28.0inHg20sec60secRUNRUNSTOPSTOP待機一待機二製程真空系統真空系統流程圖製程真空系統真空機組成空氣過濾器真空泵浦油氣分離器油冷卻器油前過濾器油後過濾器入口導引閥真空使用端系統排氣端冰水供應端製程真空系統真空機工作流程空氣過濾器真空泵浦油氣分離器油冷卻器油前過濾器油後過濾器入口導引閥真空使用端系統排氣端冰水供應端空氣部份潤滑油部份製程真空系統真空機錶件/圖控點/附屬元件空氣過濾器真空泵浦油氣分離器油冷卻器油前過濾器油後過濾器入口導引閥真空使用端系統排氣端冰水供應端油溫指示錶真空度指示錶壓差指示錶油過濾指示器(黃/紅)油溫圖控點空氣過濾器壓差圖控點真空度圖控點油溫保護開關(115℃)油溫控制器(調整約75℃)真空開關及電磁閥洩壓閥(15psi)製程真空系統真空機~入口導引閥真空錶真空開關電磁閥導引閥呼吸孔呼吸孔真空泵浦真空開關設定：下限-26.0inHg上限-28.0inHg設備啟動(真空度小於26.0inHgvac)真空度大於26.0inHg(vac)小於28.0inHg(vac)(重載)真空度大於28.0inHg(vac)(輕載)下限上限ONOFFON/OFF製程真空系統真空機~油溫控制器冰水流向水量控制旋鈕油溫感測器(揮發性液體)製程真空系統主電源迴路/控制迴路NFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay製程真空系統主電源迴路/控制迴路NFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay製程真空系統控制迴路NFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay製程真空系統控制迴路~Local/ContNFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay~敬請指教~