废水废液工程技术要求及招标规范

东营中联国际集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范1目录一、技術要求及招標規範範圍說明............................................错误!未定义书签。二、規範和條例............................................................................错误!未定义书签。三、技術說明................................................................................错误!未定义书签。四、廢水處理工藝設計要求........................................................错误!未定义书签。五、工藝流程及P&ID圖.............................................................错误!未定义书签。六、設備規格及廠牌....................................................................错误!未定义书签。七、電氣控制工程說明................................................................错误!未定义书签。八、防腐工程說明........................................................................错误!未定义书签。九、管線工程說明........................................................................错误!未定义书签。十、廢水工程介面說明................................................................错误!未定义书签。十一、投標文件............................................................................错误!未定义书签。2东营东芯集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范一、技术要求及招标规范范围说明有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求，于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、制造至完工的各项细则。为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。--------------------------第1节结束----------------------二、规范和条例所有设备、材料的供应和施工工艺，必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例：2.0.1所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位：1.消防局2.规划局3.环境保护局4.卫生防疫局35.自来水公司6.环境卫生管理局7.供电局8.排水管理处2.0.2所有中国中央和当地所制定的规范和准则，以及国际认可的规例和标准，最新版本，包括以下,但不仅限于以下所列：1.《建筑设计防火规范》GB50016-20062.《工业金属管道设计规范》GB50316-20003.《工业设备及管道绝热工程设计规范》GB50264-974.《城市区域环境噪声标准》GB3096-935.《工厂企业厂界噪声标准》GB12348-906.《工厂企业噪声控制设计规范》GBJ87-857.《环境空气质量标准》GB3095-19968.《大气污染物综合排放标准》GB16297-19969.《污水综合排放标准》GB8978-199610.《建筑给水排水设计规范》GB50015-200311.《建筑给水排水管道工程施工及验收规范》GB50268-9712.《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-200213.《电子工业职业安全卫生设计规定》SJ30002-9214.《压力容器安全技术监察规程》(质技监局锅发[1999]1544号)--------------------------第2节结束---------------------三、技术说明3.0.1废水来源本废水处理工程,为收集8”晶圆生产工艺所产生的各类废水及废液,废水、废液分类说明如下:项次废水分类废水来源1IWW一般酸碱废水制程系统一般酸碱废水2FWW含氟废水制程系统含氟废水酸处理塔排水HF废液定量输送3AW酸性含磷废水制程系统酸性含磷废水4AHWW含氨废水制程系统含氨废水氨气吹脱及吸收塔排水5CMP研磨废水制程系统背晶研磨废水制程系统金属研磨废水制程系统电介质研磨废水制程系统多晶硅研磨废水6回收水制程系统清洗水3.0.2废水废液水质特性5各类废水及废液成份,如下列各表参考说明,供投标厂商进行工艺设计评估,惟投标商需考虑8晶圆厂通用水质作完整考虑,以确保废水处理系统达标排放.废液成分名称成分处理方式硫酸废液浓度80%左右收集委外处理HF废液浓度20%收集委外处理/定量输送至含氟废水处理系统处理光阻液废液（PIX）-收集委外处理去光阻废液（STRIPPER）-收集委外处理减薄废液（THINNER）-收集委外处理有机溶剂废液(IPA)-收集委外处理IWW一般酸碱废水水质特性分析项目浓度范围pH2～13COD(mg/L)＜150FWW含氟废水水质特性分析项目浓度范围平均值6pH1.0～3.02.5F-(mg/L)500～12001000SS(mg/L)50～300175SO42-(mg/L)1000～22001600PO43-(mg/L)＜53AW酸性含磷废水水质特性分析项目浓度范围pH1～3PO43-(mg/L)100～500AHWW含氨废水水质特性分析项目浓度范围pH2～12NH3-N(mg/L)＜2000F-(mg/L)＜300H2O2(mg/L)＜100CMP研磨废水水质特性分析项目浓度范围pH2.5～10.5SS(mg/L)100～10007NH3-N(mg/L)＜15TOC(mg/L)1～80SiO2(mg/L)0.5～200回收水水质特性分析项目浓度范围pH6～9电导度(us/cm)1000～20003.0.3废水废液排放量废水排放量编号系统设计能力处理系统所在位置责任方名称符号1酸碱废水IWW40m3/h960m3/d废水处理站承包商2含氟废水FWW10m3/h240m3/d废水处理站承包商3酸性含磷废水AW5m3/h120m3/d废水处理站承包商4含氨废水AHWW5m3/h120m3/d废水处理站承包商5研磨废水CMP5m3/h120m3/d废水处理站承包商6回收水——10m3/h240m3/d废水处理站承包商废液排放量名称排放量系统所在位置责任方8设计能力实际排放量磷酸废液5m3/h0.45m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商硫酸废液5m3/h3.2m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商HF废液5m3/h12m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商光阻液废液(PIX）5m3/h0.32m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商去光阻废液(STRIPPER)5m3/h0.47m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商减薄废液(THINNER)5m3/h0.47m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商有机溶剂废液(IPA)5m3/h0.47m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商3.0.4废水排放标准本项目生产废水按《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的二级排放标准执行。污染物单位二级排放标准pH_6.0~9.0SSmg/L150BOD5mg/L30CODcrmg/L150氨氮mg/L25Cu离子mg/L1F离子mg/L10--------------------------第3节结束---------------------四、废水处理工艺设计要求1对排放的废水分类收集，分别处理与综合处理相结合;废水分类至少应区分为含氟废水、CMP研磨废水、含氨废水、酸9碱废水、酸性含磷废水及收集暂存废液类.1.1厂区制程排水管线,废水及废液收集管线材质应依本补充说明第9节「管线材质」及所附空白标单材质要求执行工程.2采用切实可行的先进技术与设备、自动监测等自动化程度高的装备，确保处理效果达标，自动化控制系统具体要求如下：2.1废水站控制柜设触控式屏幕，用以监控和调整各类参数；废水站控制柜需备有通讯接口，由业主接线将废水站控制柜内的信号传输至业主中控室计算机，用以数据的监视和报告的输出2.2提供系统报警装置（故障报警及超载报警）2.3设备需考虑合理的备用数量2.4水泵和风机的吸入口要有过滤装置3处理工艺注意以下问题：3.1处理工艺方法可采用：1.化学法；2.物理法；3.生物法；4.物化法3.2酸碱废水应采用三段式PH调整，保证系统稳定运行3.3含氟废水采用两段式化学混凝沉淀工艺3.4高浓度含氨废水,因其中含有氟(F-),故在先经吹脱(AirStripping)及氧化除氨后，需再并入含氟废水处理.3.5酸性含磷废水采用化学混凝沉淀工艺3.6研磨废水采用化学混凝沉淀工艺3.7回收水采用极电透析，导电度去除率75%.103.8处理工艺需考虑“以废治废”，降低运行成本3.9处理系统要有回流及警急排放暂存功能，让不合格废水重新再处理4为保证系统质量及运行稳定性，套装设备必须由设备厂商整体提供--------------------------第4节结束---------------------五、工艺流程及P&ID图5.0.1工艺流程描述1．研磨废水处理系统在工艺生产过程中产生的研磨废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。2．酸性含磷处理系统在工艺生产过程中产生的酸性含磷废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。3．含氨废水处理系统含氨废水和氨气吸收塔排水分别经收集管道至收集槽，然后11经提升泵至废水站储槽，先经PH调整、加热后进入吹脱塔进行脱氮，脱氮后出水则再进行化学氧化，进一步除氮，之后出水在进入含氟废水处理系统进行除氟。吹脱塔的含氨废气应以吸收塔进行中和处理,尾气应符合法令标准后排放.4．含氟废水处理系统含氟废水用管道收集后至含氟废水收集槽和浓HF废液收集槽内，此外，酸性废气洗涤塔排出的废水，因其含有F离子，也用管道输送至含氟废水收集槽内，而后含氟废水用泵将其送至废水处理站内含氟废水储槽；高浓度HF废液用泵定量打到废水处理站含氟废水储槽内，与含氟废水一起进行处理。含氟废水采用两段化学混凝沉淀法进行处理，处理后出水进入酸碱废水系统调整PH后排放。产生的含氟污泥单独处理，先经浓缩池浓缩后再经脱水机脱水。5．酸碱废水处理系统酸碱废水经管道收集至酸碱废水收集槽，然后用泵送至废水站内酸碱废水储槽，经过三段PH调整后排放。6．回收处理系统RO浓水、酸碱中和后的排水以及机台回收水经收集后，进入EDR（倒极电透析）系统脱盐处理，处理后的水可作为厂区内回用水使用。7．高浓度废液收集系统高浓度废液（剥离废液、PIX废液、IPA废液、清洗废液、HF废液、硫酸废液等）经收集后由专业公司12外运处理。5.0.2P&ID图所附废水处理工艺流程图,投标商为求水质稳定达标,可自行增加处理单元,但不得以减化为由,予以删减处理单元.--------------------------第5节结束----------------------六、设备规格及厂牌序号设备类别推荐厂牌备注1FR