GB 51343-2018 真空电子器件生产线设备安装技术标准

UDC中华人民共和国国家标准((;1)PGB51343-2018真空电子器件生产线设备安装技术标准Technicalstandardforequipmentinstallationofvacuumelectronicdeviceproductionline2018-12-26发布2019-08-01实施中华人民共和国住房和城乡建设部国家市场监督管理总局联合发布中华人民共和国国家标准真空电子器件生产线设备安装技术标准TechnicalstandardforequipmentinstallationofvacuumelectronicdeviceproductionlineGB51343-2018主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2019年8月1日中国计划出版社2018北京中华人民共和国国家标准真空电子器件生产线设备安装技术标准GB51343-2018会中国计划出版社出版发行网址，地划·北京市四城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座3层邮政编码100038电话[phone](发行部〉北京市科星印刷有限责任公司印刷850mmX1168mm1/322.25印张54千字2019年5月第I版2019年5月2在11欠印刷食统一书号，155182.0170定价14.00元版权所有侵权必究侵权举报电话[phone]如l有印装质量问题.诸将本社出版部调换中华人民共和国住房和城乡建设部公告2018年第346号住房和城乡建设部关于发布国家标准《真空电子器件生产线设备安装技术标准》的公告现批准《真空电子器件生产线设备安装技术标准》为国家标准，编号为GB51343-2018，自2019年8月1日起实施。其中，第5.1.4、5.2.5、5.4.3条为强制性条文，必须严格执行。本标准在住房和城乡建设部门户网站(川公开，并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部2018年12月26日目。_._F司本标准是根据住房城乡建设部《关于印发2014年工程建设标准规范制订修订计划的通知))(建标(2013J169号)的要求，由工业和l信息化部电子工业标准化研究院和中国真空电子行业协会会同有关单位共同编制完成。本标准在编写过程中，编制组进行了广泛的调查研究，认真总结实践经验并参考国内外有关标准，广泛吸取了全国有关单位和专家的意见。经过广泛征求意见、反复修改，最后经审查定稿。本标准共分8章和2个附录，主要内容为:总则、术语、基本规定、生产线工艺设计、配套设施要求、设备安装、设备调试与试运行、工程验收等。本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本标准由住房城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国真空电子行业协会负责具体技术内容的解释。在执行过程中如有意见和建议，请寄送中国真空电子行业协会(地址:北京市749信箱;邮政编码:100015，E-mail:[e-mail])以便今后修订时参考。本标准主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院中国真空电子行业协会参编单位:中国电子科技集团公司第十二研究所陕西宝光真空电器股份有限公司东芝白云真空开关管(锦州)有限公司锦州华光电子管有限公司甘肃虹光电子有限责任公司•1•南京三乐集团有限公司北方华创科技集团股份有限公司世源科技工程有限公司七七七电气科技有限公司黄石上方检测设备有限公司主要起草人:沈先锋薛长立王雷波常玉斌刘兴仪项兴奎刘晓平刘国凤尹泉同诗源应文娟杨卫平主要审查人:晃字晴张素伟郑秉孝何中伟杨钢刘继君张志然李新益•2•罗桥李小琴李庆和陆吟泉目次l总则…………………………………………………(1)2术语…………………………………………………(2)3基本规定………………………………………………...(3)4生产线工艺设计…………………………………………(5)4.]工艺流程………………………………………………(5)4.2设备配置……………………………………………..(6)4.3工艺布局……………………………..………………(8)5配套设施要求……………………………………………门们5.1表面处理工艺……………………………………………(10)5.2装配、焊接工艺…………………………………………(11)5.3排气工艺……………………………………………...(12)5.4老炼及测试工艺…………………………………………(12)6设备安装…………………………………………………(14)6.1安装条件……………………………………………..(14.)6.2设备开箱………………………………………………(14)6.3设备搬运…………………..………………………….(15)6.4设备安装………………………………………………(15)6.5二次配管配线……………………………………………(20)7设备调试与试运行………………………………………U幻7.1一般规定……………………………………………..(22)7.2清洗、镀覆设备调试与试运行…………………………..(22)7.3装配、焊接和排气设备调试与试运行……………………(24)7.4.老炼设备调试与试运行7.5测试设备调试与试运行(27)(28)•1•7.6自动化生产线联线调试与试运行………………………..(30)8工程验收…………………………………………………(32)8.1一般规定……………………………………………..(32)8.2交接验收………………………………………………(32)8.3竣工验收……………………………………………...(33)8.验收不合格的处置………………………………………(33)附录A真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件……………………………………………(34)附录B真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表………………………………………(37)本标准用词说明………………………………………………(45)引用标准名录……………………………….....................(46)附:条文说明…………………………………………………问7)•2•Contents1GeneralprOVlSlons………………………………………(1)2Terms……………………………………………………(2)3Basicrequirements……………………………………...(3)4Processdesignofproductionline………………………(5)4.1Processf10wchart………………………………………(5)4.2Equipmentconfiguration…………………………………(6)4.3Processlayout…………………………………………(8)5Requirementsofproductionlinesupportingfacilities…………………………………………………..(10)5.1Processofsurfacetreatment……………………………(10)5.2Processofassembling…………………………………..(11)5.3Processofexhausting……………………………………(12)5.4Processofageingandtest………………………………(12)6Equipmentinstallationofproductionlin巳……………(14)6.1lnstallationconditions……………………………………(14)6.2Equipmentunpacking……………………………………(14)6.3Equipmentmovein………………………………………(15)6.4Equipmentinstallation…………………………………(15)6.5Utilitieshook-up………………………………………(20)7Equipmentdebuggingandtestrunning………………(22)7.1Generalreq山rements……………………………………(22)7.2Cleaningelectroplatingequipmentadjustandtestrunmng…………………………………………..(22)7.3Assemblingweldingandexhaustingequipmentadjust•3•andleslrunning…………………………………………(24)7.4Ageingequipmentadjustandteslrunning………………(27)7.5Testequipmentadjustandtestrunning…………………(28)7.6Automaticproductionlineadjustandtestrunning………(30)8Projectacceptance………………………………………(32)8.1Generalrequirements……………………………………(32)8.2Handingoveracceptance…………………………………(32)8.3Completionacceptance………………………·………..(33)8.4Disposalmeasuresforunqualifiedacceptance……………(33)App巳ndixAVacuumelectronicdeviceproductionlineforinstallationengineeringconstructionconditions……………………(34)AppendixBVacuumelectronicdeviceproductionlineforinstallationengineeringqualityacceptancerecordingforms…………………(37)Explanationofwordinginthisstandard…………………(45)Listofquotedstandards……………………………………(46)Addition:Explanationofprovisions………………………(47)•4•1凸，巳A、JH川Jm只1.0.1为规范真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收，保证工程质量，制定本标准。1.O.2本标准适用于真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收。1.O.3真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。•1•2术语2.0.1真空电子器件vacuumelectronicdevice以一个器件中真空部分的电现象作为其运用基础的器件。2.0.2高频电子管high-frequencyvacuumtube工作波长在百米波段至分米披段以自由电子为载体进行能量交换的真空电子器件。2.0.3微波电子管microwavetube工作波长在分米波段至亚毫米波段以带电粒子为媒介进行能量交换的真空电子器件。2.O.4X射线管X-raytube利用高速电子撞击金属靶面产生X射线的真空电子器件。2.0.5真空开关管vacuumswitchtube利用管内高真空优良的绝缘性能制作的电力开关器件。2.O.6冷测cooItest用微波测量仪器对微波电子管的高频组件，如谐振腔、慢波线、输入输出组件以及整管高频系统等的测量和调整。2.O.7主才口sealing将器件的各大部件按照设计图纸要求封焊起来的工艺过程。2.O.8排气exhaust将总装封焊好的真空电子器件内部抽真空，并对管壳、电极、吸气剂等进行处理的工艺。2.O.9一次封排exhaustingandsealinginline将真空电子器件制造过程中的排气、封离采用真空轩焊工艺一次完成的工艺处理过程。