电子工业污染物排放标准

电子工业污染物排放标准半导体器件编制说明（征求意见稿）《电子工业污染物排放标准半导体器件》编制组二00八年六月附件七：I目录1.项目由来...................................................................12.标准制订的必要性...........................................................12.1半导体产业是国家和上海市地方重点发展的产业............................12.2我国缺乏半导体行业的国家排放标准....................................23.标准制订的原则与依据.......................................................24.我国半导体行业现状与发展趋势预测...........................................35.标准适用范围...............................................................76.半导体生产工艺及污染控制技术调查分析.......................................86.1半导体生产工艺....................................................86.2产污分析.........................................................96.3污染控制技术调查分析..............................................157.国外半导体行业污染物排放标准..............................................207.1美国半导体行业污染物排放标准.......................................207.2德国半导体元件生产废水排放标准.....................................227.3世界银行污染预防和削减手册的相关标准................................237.4台湾半导体制造业空气污染管制及排放标准..............................248标准制订..................................................................258.1标准制订的基本思路................................................258.2执行时间段划分...................................................258.3排放因子及控制指标的选择..........................................268.4标准值的形式.....................................................278.5标准值的确定.....................................................289.标准实施的管理措施........................................................3410.标准可行性分析...........................................................3510.1经济可行性分析..................................................3510.2技术可行性分析..................................................3710.3环境效益分析....................................................3710.4本标准与GB8978-1996和GB16297-1996的比较.........................381电子工业污染物排放标准半导体器件编制说明1.项目由来根据国家环境保护总局对环境排放标准的改革思路，今后将逐步淡化大气和污水综合排放标准的作用，而是根据各行业不同的污染排放特点制订符合行业特性的排放标准；同时，为便于标准的实施，行业排放标准将综合水、气、噪声、固废等方面的污染物排放成为一个标准。从国家经济发展、工业布局和产业导向的变化来看，信息产业将是未来重点发展的行业之一。其中，半导体行业作为信息产业的基础，将会有迅猛的发展。而随着该行业的快速发展，其对环境的影响及压力势必有所增加。2005年8月21日，国家环保总局下发文（环办函【2005】86），组织开展电子工业污染物排放标准的制定工作。该系列标准共分为6个标准，分别针对电子原件、半导体器件、真空器件、店主终端产品、电子零部件及废旧电子产品与电子残次品处理与处置技术规范。2.标准制订的必要性2.1半导体产业是国家和上海市地方重点发展的产业半导体产品可大致划分为三大类：分立器件、集成电路与光电组件，其中集成电路就占了半导体近九成的比重，可谓半导体产业的重心所在。党的十六大报告提出“优先发展信息产业，在经济和社会领域广泛应用信息技术。积极发展对经济增长有突破性重大带动作用的高新技术产业。”集成电路作为信息产业的基础和高新技术产业的核心，已被列为“十五”计划重点发展的领域。2002年6月国务院18号文《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》的颁布，其中明确提出“通过政策引导，鼓励资金、人才等资源投向软件产业和集成电路产业，进一步促进我国信息产业快速发展，力争到2010年使我国软件产业研究开发和生产能力达到或接近国际先进水平”、“鼓励境内外企业在中国境内设立合资和独资的集成电路生产企业”。18号文为集成电路产业的发展创造了良好的政策环境。国家计委、财政部、信息产业部、国家税务总局、海关总署等相关政府部门为落实国务院18号文件，在集成电路领域相继颁发了若干具体实施文件，主要有：1）财政部、国家税务总局的《关于进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展税收政策的通知》；2）财政部的《关于部分集成电路生产企业进口自用生产用生产性原材料、消耗品税收政策的通知》；3）财政部的《关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的2通知》；4）信息产业部、国家税务总局的《集成电路设计企业及产品认定管理办法》等。国务院18号文件颁布后，中国出现了投资集成电路的热潮，己发展为多元化投资渠道。2.2我国缺乏半导体行业的国家排放标准半导体行业作为高新产业往往被人误解为也是“清洁”的产业，但事实上，半导体生产过程中使用了大量繁多的各种有机和无机物，并有许多有毒有害物，对环境危害较为严重。如不加以控制，将会产生较大的环境污染。一些半导体产业发达的国家和地区，如美国、德国和台湾等都针对半导体行业制订了相应的排放标准。我国在大力发展半导体行业的同时，如果忽视其对环境产生的重大影响，势必将破坏我国的环境现状。因此，尽快制订半导体行业的污染物排放标准，对于行业的发展和城市环境保护具有重要意义。利用行业排污标准来管理约束生产商的行为，不仅可以防止重蹈“先污染，后治理”的覆辙，有效地保护环境，而且可以督促生产商采用国际先进生产技术和治理措施，推行清洁生产技术，提高污染控制水平，达到环境保护和经济发展相互协调、共同发展的目的。同时，制订半导体行业的排放标准能改变国外对我国不重视环境保护的误解，改善我国的投资环境。标准的推出也便于环保部门及行业主管部门的环境保护管理。所以，尽快制定符合行业技术水平的污染物排放标准，是一项意义重大的举措。3.标准制订的原则与依据排放标准是执行环境保护法规，加强环境监督管理的基本保证，是实现环境管理科学化、定量化、法制化的重要技术依据。本标准的制定参考了GB8978-1996《污水综合排放标准》、GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》及半导体生产厂家的调查结果，从国家、地方和企业的实际情况出发，综合考虑当前的经济条件、环境状况、技术水平和管理水平，及今后几年可能引进的技术、工艺、排放等情况，考虑我国环境质量若干年的变化趋势、行业政策，以等同等效采用国外半导体行业排放标准为原则而制定的。本标准以国家有关法律法规和国家排放标准体系为指导，结合该行业的发展规划，根据行业的污染现状、清洁生产水平和污染处理技术水平制定，适应“十一五”环境保护目标的需要。对企业要求采用新技术新工艺，减少能源消耗，实行污染物昀小量化的清洁生产，完善综合治理设施，从而节省废水、废气和固体废物处理的投资及运行费用。本标准的制定应可以满足执法需要，以利于管理和促进企业排污为主要目标，切实加强环境标准的可操作性。本标准中标准值的制订技术依据是：1）废气治理采用湿式洗涤塔、焚烧或吸附处理技术；32）废水治理采用化学沉淀处理技术；3）固体废物处理采用回收再利用方式。4.我国半导体行业现状与发展趋势预测目前，全球半导体产业由西向东出现转移，从美国→欧洲/日本→韩国/中国台湾→中国大陆。2005年全球电子信息产品制造业重心继续向中国大陆转移，中国政治稳定、人力成本低、产业环境优越，欧美、日本、中国台湾的IT制造企业纷纷将生产工厂迁移到中国内地；此外中国产业结构不断升级，电子整机产品性能的不断增强、无线及多媒体等新功能的不断增加、存储容量的不断增大都在推动着IT产业结构的升级；再次，中国本身就具有巨大的电子信息产品内需市场，中国整体经济的快速持续增长推动了IT投资及消费电子产品市场的增长。在上述三个因素的推动下，从2000年以来，中国集成电路产业处于高速成长期。2007年我国半导体产业销售额首次突破2000亿元，达到了2086.4亿元，比上年增长20.8%，占世界半导体市场首次超过10%到达10.74%。其中，集成电路总产量为411.6亿块，比2006年增长22.6%；产业销售额规模达到1251.3亿元，比2006年增长24.3%。集成电路产业销售额约占电子信息产品制造业销售额的2.49%，占世界集成电路市场的7.54%（美元与人民币的换算率按1：7.6计算）。预计2008－2010这3年间，中国集成电路产业整体销售收入的年均复合增长率将达到23.6%。到2010年，中国集成电路产业销售收入将达到约2500亿元。预计，2010-2015年，我国将以年均近20%的速度向前发展，产业规模达到约6000亿元，届时中国将成为世界重要的集成电路制造基地之一。351.4545.3702.11006.31251.330.9%55.2%24.3%43.3%28.8%02004006008001000120014002003年2004年2005年2006年2007年0.0%10.0%20.0%30.0%40.0%50.0%60.0%销售额增长率图12003-2007年中国集成电路产业销售收入规模及增长（单位：亿元）444.981.5124.3225.7181.2232.9308.5397.9244282.6344.9511.6186.262.5627.70%20%40%60%80%100%2003年2004年2005年2006年2007年设计业制造业封测业图22003-2007年中国集成电路产业各价值链销售收入及增长（单位：亿元）至2007，我国半导体企业总数达700家左右，其中IC设计业500多家，IC制造业30余家，封装测试业100多家。IC制造业企业现已相对集中，主要分布在上海、北京、江苏、浙江等省市，产业群聚效应已经显现，长江三角洲地区正成为中国集成电路重镇。随着国内IC生产线的生产技术与工艺水平的不断提高，技术水