车间ESD防静电控制程序

珠海市本佳科技有限公司文件編號车间ESD管理程序制定單位制定日期版次頁次制作審核核准Aidi-QEM-2-0252015年9月28日A1焦耀凯1.目的:对公司电子产品制造工艺进行防静电保护，减少或消除静电放电对产品的损伤，提高客户的满意度。2.範圍:本文中的各项要求适用于防静电敏感区域；当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。3.职能分工4.1生产部门指导ESD设备、设施的主要设置项目做维护、点检。4.2各制程操作人员每天对工作台面的接地线是否连接良好做点检。4.3IPQC负责依据《车间ESD稽核检查表》进行ESD点检稽核。4.4各职能部门负责按ESD控制文件要求实施。4.0参考文件ESD控制国际标准5.术语：静电放电(ESD)当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时,因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象。静电敏感元器（SSD）凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。静电保护材料具有以下一种或多种能力的材料,被称作静电保护材料:限制产生静电,迅速耗散材料表面或体积上的静电荷,屏蔽静电放电、火花放电、静电场。静电保护材料根据其表面电阻率的大小(或导电性)分为导电材料、静电耗散材料和抗静电材料.人体静电人体由于自身行动或与其它的带电物体相接触或相接近而在人体上产生并积聚的静电。人体电阻人的体内电阻与皮肤电阻之总和。抗静电材料表面电阻率大于109Ω、小于或等于1014Ω的静电放电保护材料。防静电服为了防止人体和衣物的静电积聚,用防静电织物为衣料而缝制的工作服。防静电鞋具有良好的导电性能,因此可在尽可能短的时间内消除人体静电积聚,但不能防止因偶然触及工频电(220V以下)而导致人体遭受电击的鞋类。防静电工作区为保障静电敏感器件(SSD)免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域,通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员,必须严格遵循防静电作业规范。人体静电防护系统人体静电防护系统主要由防静电工作服、腕带、鞋袜、帽、手套或指套等组成。这种整体的防护系统兼具有静电泄露、中和与屏蔽的功能。1/5珠海市本佳科技有限公司文件編號车间ESD管理程序制定單位制定日期版次頁次制作審核核准Aidi-QEM-2-0252015年9月28日A1焦耀凯6.0程序说明6.1ESD保护由设计来源或零件供应商提供组件及产品之防护等级。范围涉及采购、收料、储存、运送、制程、测试及可靠性实验。生产部门汇总ESD防护要求，相关环节必须严格按ESD控制要求规范作业。6.2采购ESD控制6.2.1依据规定，物料采购按零件承认书对SSD组件采购时，须在采购单注明ESD防护要求；其它ESD防护器材采购时，须按测试工程师制定的标准进行采购。6.2.2须向经认可的ESD产品供货商采购，并保持最新的ESD认可供应商清单。6.2.3要求供货商提供合乎规格之包装、标示及正确的发票。6.3收货部门防ESD控制6.3.1依据采购订单，对ESD零件进行清点验收，检查是否有外包装或(及)发票确认为ESD组件。6.3.2ESD组件与非SSD应分区堆放，并做显著标示。6.3.3检查ESD组件的包装与标示是否正确。6.3.4开启ESD组件包装的区域应配置适当的ESD防护设备，如防静电桌垫，ESD手环等。6.3.5ESD防护器材收货时除数量正确外，还应对其ESD防护等级用专用的仪表进行检测，确定进货静电防护等级与标准是否相符，禁止不合格ESD防护产品进入工厂。6.4进料检验(IQC)的ESD控制6.4.1IQC需依零件承认书上之要求进行检验，确认静电防护及标示是否正确。6.4.2IQC在做检验时要求在静电防护良好的区域(工作场所)进行，须有ESD手环，ESD工作衣、手套、防静电桌垫，工作桌须接静电地。6.4.3检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。6.4.4检验员对防静电袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料需按要求对其进行静电检测，并如实在《防静电材料IQC检验记录表》中记录好检测数据，如检测到不良即依不合格品处理程序执行。6.5零件材料储存,暂存部门的ESD控制6.5.1在仓库存放SSD须在存放区加以标示清楚。6.5.2存放架要接地处理。6.5.3不可在存放区直接拆开组件包装，直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。6.5.4在存放区搬运SSD须使用专用工具(防静电车)，并使包装完整。6.5.5物料周转区须严格按材料存放区ESD控制规范进行作业。6.5.6对磁带/磁盘及其它软件或资料储存的媒体，应装在防静电的包装袋内，并存放有明显标志且有良好接地的料架或柜内，取放时应佩戴好接地良好的防静电环。6.6物料运送ESD控制:6.6.1对SSD须使用专用防护工具运送。6.6.2搬运人员须戴防静电手套、防静电脚环，穿防静电衣、鞋等。6.6.3运送过程中须有正确ESD包装。6.6.4依据物料运送规范，不得使SSD材料相互碰撞、摩擦、堆栈。6.7制造过程中的ESD控制:6.7.1SSD加工区域，作业员须穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，并确保防静电手环可靠接地；未做好静电防护者不能接触SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静电各种工具。(如ESD电烙铁，静电排除装置等)。6.7.2对SSD加工中若须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并于加工后放回原包装或其它防静电容器内。6.7.3SSD在组装中，依据工程师作业指导书进行特殊防护及使用其规定工具，并定期点检其有效性。2/5珠海市本佳科技有限公司文件編號车间ESD管理程序制定單位制定日期版次頁次制作審核核准Aidi-QEM-2-0252015年9月28日A1焦耀凯6.7.4制程工作人员所使用的静电环和防静电鞋均需每天二次用“人体静电综合测试仪”加以测试，确认功能正常，并作好记录。6.7.5定期对操作员工进行使用ESD工具、设施及取用SSD程序的完整训练，并作记录。6.7.6每个工作台须有ESD防护料件(如袋、乳棉海绵、箱等)。6.7.7所有进入车间人员，必须经过ESD静电鞋测试仪测试人体综合阻值，通过方可进入，否则一律不准进入“ESD无尘车间”，生产作业人员每天上班测二次防静电鞋，以确定防静电鞋的有效性，并做好记录；6.7.8做好每日的日常点检工作,并将点检情况记录在《静电卡扣线及静电线末端点检表》中。6.8IPQC稽核：6.8.1IPQC须协助生产单位检查作业员静电防护措施是否正确及抽测各防静电设施是否正常；6.8.2IPQC依《车间ESD稽核检查表》进行ESD点检稽核，并记录好数据;6.8.3IPQC每日上班前监督员工进行静电鞋和静电手腕带的测试.6.9生产测试及测试工程须使用ESD工作台。6.9.1清除测试区内静电源。6.9.2定期检查ESD设施，保证有效性。6.9.3SSD组件传送至下一个工作区时，设有防护袋装。6.9.4当施加工作电压时，设备接地应良好。6.10品管部ESD控制6.10.1定期审核各部门是否依照ESD控制程序进行作业，定期进行ESD点检并做好记录。6.10.2定期审核供货商是否符合ESD规定。6.10.3ESD工作须经QA检验确认。6.10.4定期审核ESD训练计划，工程图是否有正确的ESD警告条文或警告。6.11ESD控制:6.11.1定期检查及测试ESD设备设施是否完好、性能及可靠性,并将检测数据准确填写至《车间ESD电阻电压点检表》中。6.11.2须测试SSD组件，以对它们的ESD敏感度进行分类。6.11.3负责所有ESD测试项目之SOP及相关记录表单的编写。6.12ESD点检6.12.1点检条件:全部点检均在生产场地内进行，环境温度20-28℃，相对湿度30%-65%。6.12.2点检仪器：表面阻抗测量仪。6.12.3点检项目&周期:成品的要在6.12.3.1防静电地板表面电阻(次/月)6.12.3.2防静鞋与人体综合阻值(2次/天)6.12.3.3ESD工作台(台垫)静电电阻(次/月)6.12.3.4防静电母线接地电阻(次/月)6.12.3.5货架静电电阻(次/月)6.12.3.6料车台面对车轮电阻(次/月)6.12.3.7周转箱，零件料盒表面电阻(次/月)6.12.3.8工作服(工作帽，手套)表面电阻(次/月，抽查)6.12.3.9流水线传送带表面电阻(次/月)6.12.3.10防静电手环连接电阻(次/天)抽查项目抽查结果高于30%不合格，继续抽查10个点，不合格率高于0%提出不良改善方案，抽查结果须做好记录，填写相应表单。3/5珠海市本佳科技有限公司文件編號车间ESD管理程序制定單位制定日期版次頁次制作審核核准Aidi-QEM-2-0252015年9月28日A1焦耀凯6.12.4点检方法6.12.4.1表面电阻测试时，对每车间静电地板不得少于五点，接地电阻、传送带不得少于三点，周转箱不少于三只，静电鞋不少于三双，静电衣不少于10件，工作台不少于三张。6.12.4.2该点检方法根据中华人民共和国电子行业标准(SJ/T10694-2006)《电子产品制造防静电系统测试方法》所制定。6.13ESD表面电阻测试&接地电阻测试6.13.1测试条件:全部测试均在场地内进行，环境温度20--28℃，相对湿度30%--65%。6.13.2测试仪器:采用表面阻抗测量仪，6.13.3测试技术指标见6.156.13.4测试项目6.13.4.1防静电地板(次/月)6.13.4.1.1在铺设地面上随机选定测试点。6.13.4.1.2测试地面对地级母线电阻。6.13.4.1.3测试地面表面电阻。6.13.4.1.4测试步骤:测试时，将电极和被测物表面清洁，在电极下面加一层湿滤纸垫，将正极接于被测物，负极接地，按下按钮，读出并记录测量值。6.14.4.2工作台(次/月)随机选定测试点，不少于三张工作台。6.14.4.2.1测试工作台面表面电阻。6.14.4.2.2测试工作台面对手环插孔电阻。6.14.4.2.3测试工作台对地系统电阻。6.14.4.3综合项目6.14.4.3.1测试鞋底体积电阻。6.14.4.3.2测试工位器具及物流传递器具6.14.4.3.3测试容器表面电阻。6.14.4.3.4测试手环。6.14.4.3.5测试手环连接电缆系统电阻。6.14.4.3.6测试防静电鞋和人体综合电阻。6.14.4.4本测试规范依据中华人民共和国电子工业部SJ/T10694-2006标准，以及AnAmericanNationalStandardApprovedAugustANSI/ESDS20.20-2014标准制定。6.15ESD相关测试技术指标6.15.1流水线防静电输送皮带、工作台垫表面电阻:106-109Ω6.15.2流水线防静电输送皮带，工作台垫上任意仪一点对地电阻：106-108Ω6.15.3防静电线任意一点对地电阻10Ω6.15.4有绳防静电手环至地的电阻:1MΩ±10%4/5珠海市本佳科技有限公司文件編號车间ESD管理程序制定單位制定日期版次頁次制作審核核准Aidi-QEM-2-0252015年9月28日A1焦耀凯项目表面电阻Ω电阻值Ω摩擦电压（V）防静电母线接地电阻10防静电地板105~109100地板对地极母线电阻5*104~109工作台面（台垫）106~109100流水线皮带表面电阻106~109100工作台面对腕带插孔电阻105~108工作台面对地系统电阻106~108工作服（工作帽）106~109300防静电鞋（鞋套）105~1080.5*105~108100周转箱、零件盒和物流器具103~108100包装袋100腕带内表面对电缆扣电阻20k腕带连接电缆电阻1M±10%工作椅面对椅脚电阻106~108物流车台面对地电阻106~109人体综合电阻（穿防静电鞋）106~108表A:测试技术指针注:以上数据为中华人民共和国电子行业最新版SJ/T10694-2006,以及美国最新版ANSI/ESDS20.20-2014之标准。版次页