T∕GDASE 0008-2020 石墨烯薄膜杨氏模量的测定原子力显微镜法

团体标准ICS19A21T/GDASE0008—2020石墨烯薄膜杨氏模量的测定原子力显微镜法DeterminationofYoung'smodulusofgraphenefilm2020-06-01发布2020-06-01实施广东省特种设备行业协会发布T/GDASE0008—2020I目次前言.......................................................................................................................................................................II1范围.....................................................................................................................................................................12规范性引用文件.................................................................................................................................................13术语和定义.........................................................................................................................................................14原理.....................................................................................................................................................................25试验仪器与设备.................................................................................................................................................26试样.....................................................................................................................................................................27试验过程.............................................................................................................................................................38结果计算.............................................................................................................................................................59试验报告.............................................................................................................................................................5T/GDASE0008—2020II前  言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由广州特种承压设备检测研究院提出，广东省特种设备行业协会归口。本标准起草单位：广州特种承压设备检测研究院、深圳市溢鑫科技研发有限公司、华南理工大学、布鲁克（北京）科技有限公司、广东炜林纳新材料科技股份有限公司、广州新地科技有限公司。本标准主要起草人：王伟雄、黎佩珊、尹宗杰、赵鑫、王海辉、陈苇纲、吴波、吉英爱、杨麟、张永红、陈旺寿、魏嫣莹、徐岩岩、熊磊、王禹舟。本标准为首次发布。T/GDASE0008—20201石墨烯薄膜杨氏模量的测定原子力显微镜法1范围本标准规定了测定石墨烯薄膜的杨氏模量的原子力显微镜法。本标准适用于固定于衬底上杨氏模量值小于100GPa的石墨烯薄膜杨氏模量的测定试验，并且包含衬底内其样品总高度不大于5mm，其他石墨烯膜材料的测定可参照执行。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T29190-2012扫描探针显微镜漂移速率测量方法JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范JY/T002-1996激光喇曼光谱分析方法通则Q/GZSPEI30201100226石墨烯粉体缺陷程度的测定激光显微共焦拉曼光谱法3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1DMT杨氏模量DMTfittedYoung’smodulus使用德贾吉恩-穆勒-托罗波夫（Derjaguin-Muller-Toropov）模型对力曲线进行拟合分析计算所得的杨氏模量。3.2力曲线forcecurve探针的悬臂所受的外力与悬臂弯曲量之间的关系曲线，曲线的纵坐标为拉力，横坐标为弯曲量。3.3泊松比poisson’sratio材料受拉伸或压缩力时发生变形，其横向变形量与纵向变形量的比值。3.4追溯曲线tracecurve原子力显微镜扫描材料表面形貌的过程中，追溯材料表面高低起伏的变化进行扫描，接受材料表面高低起伏变化反馈的信号形成的曲线。T/GDASE0008—202023.5折回曲线retracecurve原子力显微镜扫描材料表面形貌的过程中，经追溯材料表面高低起伏的变化进行扫描后，沿相同的路径折回扫描，由材料表面高低起伏变化反馈的信号形成的曲线。3.6石墨烯薄膜graphenefilm由石墨烯与其支撑层材料构成的薄膜。4原理材料固定于原子力显微镜的样品台上，控制探针作用在材料表面的作用力，记录探针形变反馈的信号并获得定量力曲线。通过DMT模型对力曲线进行拟合分析计算，从而获得材料的杨氏模量。5试验仪器与设备5.1原子力显微镜5.1.1横向分辨力≥0.1nm，纵向分辨力≥0.01nm。5.1.2样品台：直径≥1cm，样品台与探针的最小距离≥1cm。5.1.3具备样品固定系统，可通过负压或磁性等方式固定样品。5.2等离子体清洗仪5.2.1产生持续稳定的等离子体。5.2.2产生等离子体的气体源：允许包括高纯氮气或高纯氩气。5.2.3等离子体清洗的清洗时间≥8min。5.2.4可调节的功率下限≤5W。6试样6.1试样要求6.1.1试样经等离子体清洗仪，以5W的功率，高纯氮气作为气源产生等离子体清洗表面5min~8min至样品无被破坏的前提下表面无明显的污染物。注1：判定试样是否受等离子体破坏的方法：按Q/GZSPEI30201100226检测清洗前后试样的缺陷程度的变化，如清洗前后试验结果之间的差异不超过其平均值的8%，则判定试样未受等离子体破坏。注2：判定表面无明显污染物的方法：采集清洗前后试样表面污染物的拉曼谱图（建议采集范围为100cm-1~4000cm-1），按JY/T002-1996对拉曼谱图进行定性分析，如未检出表面污染物，则清洗完毕。6.1.2在测量过程中，试样与样品台之间不得发生位置的偏移。6.2试样数量单次测量的试样量为1个，对试样表面形貌扫描。显微镜下显示颜色均匀分布的石墨烯样品区选择石墨烯中央与石墨烯边界的5个点、基底区域2个点进行测量，以保证测量结果具有全面代表性。如图所示，T/GDASE0008—20203从I~V的石墨烯膜区域中选取2~4个区域进行测量，从Ⅵ~Ⅶ中基底中选取1个区域进行测量。图1试样测定区域示意图注：对于显微镜下显示颜色深浅明显不一的石墨烯样品，要求对衬底上石墨烯样品的杨氏模量进行统计，应在测量包含如图所示区域的基础上，选择至少20个不同的样品区进行测量。7试验过程7.1试验环境环境温度：25℃±2℃，环境相对湿度：≤60%。7.2仪器校准7.2.1按照GB/T29190-2012确定扫描探针显微镜漂移速率。7.2.2按照JJF1351-2012中第7.1条进行仪器校准。7.3系统校正7.3.1参照表1选择探针，保证试样的形变量＞2nm。表1探针类型选择试样的杨氏模量（E）MPa探针的弹性系数（k）N/m1E200.55E5005200E2×103401×103E2×1042001×104E1×1053507.3.2参照资料性附录A，输入估计的试样泊松比，根据式(1)，计算并校正探针的泊松比。T/GDASE0008—20204122*11tiptipssEEE................................................................(1)式中：vs—试样的泊松比；Es—试样的杨氏模量，MPa；vtip—探针的泊松比；Etip—探针的杨氏模量，MPa。7.3.3校正探针偏振灵敏度7.3.3.1把平整的硬质材料固定在样品台上，按照仪器操作步骤在接触模式下进针扫描，确保图像中央无污染物后，停止扫描并将探针移至扫描线中心点位置，设置力曲线纵坐标读数与力曲线基线间的差值为控制量，在仪器允许探针的最大受力范围内，调节探针的受力控制悬臂量的最大弯曲量至出现正常的力曲线，采集并保存力曲线。注：校正探针偏振灵敏度用的硬质材料为硬度不小于9，且表面平整度不大于1μm片状固体材料。7.3.3.2选取力曲线中探针与硬质材料接触区域的线性部分，按照仪器操作步骤计算探针的探针偏振灵敏度。7.3.4校正探针悬臂的弹性常数7.3.4.1弹性系数小于1N/m或悬臂形状为三角形的探针(1)在不扫描的状态下，按照仪器操作步骤设置包含振动共振频率的频率范围，使悬臂发生热振动，输入悬臂的探针偏振灵敏度校正因子及环境温度，获取悬臂热振动曲线。(2)按照仪器操作步骤拟合悬臂热振动曲线并计算悬臂的弹性常数。7.3.4.2弹性系数大于等于1N/m或悬臂形状为矩形的探针(1)确定悬臂的长度和宽度。以二维纳米线间隔板为标尺，通过悬臂梁长和宽所占的二维纳米线间隔板的周期数，从光学显微镜中读出悬臂的长度和宽度。(2)确定品质因子和实际频率。按照仪器操作步骤设置包含振动共振频率的频率范围，使悬臂发生热振动，输入悬臂的探针偏振灵敏度校正因子及环境温度，获取悬臂热振动曲线并按照仪器操作步骤拟合悬臂热振动曲线，记录品质因子和实际共振频率。(3)按照仪器操作步骤，计算悬臂的弹性常数。注：二维纳米线间隔板应符合JJF1351-2012中第6.2条规定的标准器。7.3.5按照仪器操作步骤，保证试样的形变量在2nm~10nm之间，校正探针针尖的曲率半径。7.4试验步骤7.4.1将试样固定在样品台上。7.4.2按照仪器操作步骤聚焦至试样表面参照6.2选择区域进行测量，同一区域重复测量三次。7.4.3按照仪器操作步骤进行测量，调节仪器的测试参数，保证出现正常的力曲线