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AccoTestAccoTestSTS8200测试系统基础培训(4)——连接handler&proberNewValuedMulti-siteAnalog/MixedSignalTesterHandler连接与设置•TTL卡接口定义•软件设置•注意事项TTL卡接口定义TTL卡用于实现PC机与Handler的通讯:1.接收Handler发送的SOT信号2.发送给HandlerBIN信号与EOT信号软件设置右图为配置Handler的窗口。下面对主要设置进行介绍。与Handler相关的信号主要有三个:Bin(被测芯片分档信号)Eot(测试结束信号)Sot(测试开始信号)其中Bin和Eot为Out信号(由TTL卡发给Handler)Sot为In信号(由Handler发给TTL卡)T1—T5的设置T1为一次测试结束后到发出bin信号的延时,这个过程一般不需要延时,建议设为0。T2的延时比T4长1ms以上,使T2包含T4。(T2和T4的具体的时间根据Handler确定)T3建议设到0-1ms之间,主要为了保证Eot的前跳变沿慢于Bin的前跳变沿。因为Handler的工作模式是先收到Eot信号,然后去检测bin信号。T5为发出bin信号后跳变沿到读取Sot状态间的延时,由Handler的动作时间决定,T5需略小于Handler动作时间。多工位同步等待时间同步等待时间:在多SITE测试中,当测试机接收到SOT(1)信号之后预留的时间间隔。在这个时间间隔中,假如接收到新的SOT(2)信号。则这个时间间隔过后,测试机只对收到SOT信号的SITE进行测试例如:测试机收到第一个SOT信号后(假设是SITE1的),同步等待时间范围内,又收到了SITE3的SOT信号,则只对SITE1和SITE3进行测试注:当多工位测试时(假设双工位,同步等待时间为20ms),如果10ms内收到两个SOT信号,则马上开始测试(无需再等待10ms),测试完成后同时向两个Site发出EOT和Bin信号三种BIN编号格式(BCD)BCD:BCD编码格式。(用4位二进制数来表示1位十进制数中的0~9这10个数码,简称BCD码)BCD码表达格式:XXXXXXXX,每个X代表一位TTL输出信号,从右向左依次对应TTL接口卡中的信号输出:CS1/2/3/4_BIN1;CS1/2/3/4_BIN2;CS1/2/3/4_BIN3;CS1/2/3/4_BIN4;CS1/2/3/4_BIN5;CS1/2/3/4_BIN6;CS1/2/3/4_BIN7;CS1/2/3/4_BIN8;以单工位举例说明:选择BCD编码格式,TTL卡输出信号为00010100,对应实际电平输出为:(00010100中0表示BIN和EOT信号为常态,1表示使能;也就是说低电平有效时,0表示BIN和EOT常态为高电平,1表示有低脉冲信号)CS1_BIN8=0;CS1_BIN7=0;CS1_BIN6=0;CS1_BIN5=1;CS1_BIN4=0;CS1_BIN3=1;CS1_BIN2=0;CS1_BIN1=0;换算成十进制为:0001=0*23+0*22+0*21+1*20=10100=0*23+1*22+0*21+0*20=4BCD码格式的00010100换算过来就是十进制的BIN14,最大BIN信号数为10011001=BIN99三种BIN编号格式(HEX)HEX:十六进制编码格式。(Hexnumbersystem,由0-9,A-F,组成.与10进制的对应关系是:0-9对应0-9;A-F对应10-15)HEX码表达格式:XX(最大FF),转化为二进制表达式为XXXXXXXX(最大FFFFFFFF),为了与TTL卡接口中的八个信号对应起来,下面以二进制的XXXXXXXX做说明。每个X代表一位TTL卡输出信号,从右向左依次对应TTL接口卡中的信号输出:CS1/2/3/4_BIN1;CS1/2/3/4_BIN2;CS1/2/3/4_BIN3;CS1/2/3/4_BIN4;CS1/2/3/4_BIN5;CS1/2/3/4_BIN6;CS1/2/3/4_BIN7;CS1/2/3/4_BIN8;以单工位举例说明:选择HEX编码格式,TTL卡输出信号为01010001,对已实际电平输出为:(01010001中0表示BIN和EOT信号为常态,1表示使能;也就是说低电平有效时,0表示BIN和EOT常态为高电平,1表示有低脉冲信号)CS1_BIN8=0;CS1_BIN7=1;CS1_BIN6=0;CS1_BIN5=1;CS1_BIN4=0;CS1_BIN3=0;CS1_BIN2=0;CS1_BIN1=1;换算成十进制为:01010001=0*27+1*26+0*25+1*24+0*23+0*22+0*21+1*20=81HEX码格式的01010001换算过来就是十进制的BIN81,最大BIN信号数为11111111=BIN255三种BIN编号格式(PARALLEL)PARALLEL:平行编码格式。最常见的编码格式,与Handler处的BIN号一一对应。锁存功能锁存功能:确定接收SOT信号的触发功能钩选:边沿触发,即信号有跳变的时候(高电平低电平)/(低电平高电平)触发缺省:电平触发,即信号稳定(高电平/低电平)维持一段时间后触发注:脉冲宽度小于100us,选择LatchedSot信号高低电平选择设置取决于Handler发过来Sot信号,如发过来的是低电平脉冲,选择“NegativeLogic”,如发过来的是高电平脉冲,不选“NegativeLogic”。Sot低电平逻辑信号Sot高电平逻辑信号EOT、BIN信号高低电平选择设置取决于Handler需要接受怎样的信号。接受低电平脉冲,选择“NegativeLogic”,接受高电平脉冲,不选“NegativeLogic”。Eot、Bin低电平逻辑信号Eot、Bin高电平逻辑信号载入和输出Handler配置文件上面两个文件为载入和保存Handler配置文件。程序中有一个默认的ghandler.cfg文件。Handler的调试设置1.选择相应的工位和BIN信号2.接收到SOT信号后的延时3.单次调试4.循环调试5.停止调试6.勾选则默认收到SOT信号,发送EOT和BIN信号,SOT时间间隔由标注2确定7.清除窗口记录注意事项TTL卡的驱动TTL卡的保险丝TTL卡的双STATION定义通讯故障排除TTL卡的驱动重新插拔TTL卡,有时会导致TTL卡驱动失效,这时建议重新安装TTL卡驱动。TTL卡保险丝TTL卡内是0.5A保险丝。注:Handler自己可以提供5V电压时,TTL卡上的5V不需要接到Handler上,否则会烧坏TTL卡保险丝。TTL卡的双STATION定义•情况一:当电脑中未装驱动时,同时插上两块TTL卡,靠近北桥的TTL卡会首先提示安装驱动,这样TTL卡station分配为,靠近北桥的卡为stationA(即先装驱动的卡槽)。然后将两块中任意一块拔除,保留的那块卡即自动变为stationA;之后将拔除的TTL卡插回电脑,由于原先的驱动仍在,所以,仍旧以先装驱动的卡槽(即靠近北桥的卡槽)为stationA。•情况二:如两块卡未同时装入,先装入的卡先装驱动,先装驱动的卡槽对应为stationA;后装入的卡,后装驱动,后装入卡的卡槽即为stationB。一旦两块卡驱动先后安装完成后,TTL卡槽位所对应的station即已确定(即以驱动安装先后顺序为序)通讯故障排除如果和Handler联机出现通讯问题,基本按照以下步骤进行排查•借助示波器在TTL卡的接口处进行侦测,观察SOT和EOT信号的状态是否正常假设SOT,EOT设置为低电平有效的通讯模式,那么在常态下,SOT和EOT信号应该是+5V左右的高电平。相反,假设SOT,EOT设置为高电平有效的通讯模式,那么在常态下,SOT和EOT信号应该是0V左右的低电平。如果用示波器观察到SOT信号和EOT信号的状态异常,接下来分别进行如下排查。•由于有些Handler无法自己提供+5V的Vcc,故需要TTL卡提供注:若Handler可以自己提供+5V的Vcc,那么切勿将TTL卡的+5V接至Handler的Vcc上.假设Handler需要TTL卡提供+5V。那么这个时候可以利用万用表对TTL卡的+5V进行测量,假设没有量到,请检查一下TTL卡内的保险丝是否熔断,若熔断请更换一个500mA的保险丝。通讯故障排除(二)•若+5V可以正常测量到进入TTL信号调试界面,请在Handler上手动触发SOT信号,在TTL信号调试界面观察,EOT和BIN信号在收到有效的SOT信号后,正常触发。需要注意的是,这个时候一定得用示波器观察SOT信号的触发是否正常,(不正常的信号包括:Handler完全没有触发SOT信号,或者发出的SOT信号低电平未完全拉低,高电平未完全拉高)。如果没有收到Handler发出的正常SOT信号,那么TTL卡自然也无法反馈出正常的EOT和BIN信号。在Handler那边无法发出正常的SOT信号的时候,建议检查一下Handler的设置及硬件是否工作正常。注:SignalDefinition内SOT信号的设置需跟Handler实际触发的信号一致•若Handler的SOT信号可以正常发出,但TTL卡没有反馈出正常的EOT和BIN信号如果出现这样的情况,请更换一块TTL卡进行尝试,如果通讯可以正常建立的话,那么这块TTL卡可能出现了故障,请将此卡报修。Prober连接与设置•软件设置•注意事项软件设置右图为配置EGProber的窗口。下面对主要设置进行介绍。EGProber连接设置TestSite:工位数,也就是同时测试的DIE数。通过下拉菜单进行设置,支持的选项包括1、2、4、8、16。该项设置的数值与生产用探针卡工位数一致。Address:探针台的硬件地址。Timeout:GPIB指令等待时间。BinStartFrom:从“0”开始还是“1”开始。如果设置从“0”开始,则发送的硬件Bin号会比PGSEditor中通过按钮设置“HWBin”少1。通过下拉菜单进行设置。GetXYCoordinate:勾选,是否获取X,Y坐标,获取的坐标可以保存到数据文件中。Mapping:勾选,是否实时动态显示Mapping图。Recordgpibinformation:勾选,是否实时储存Gpib通讯信息,记录存储在Errlog文件夹。MappingSettings说明(一)当勾选有效时,可以进行设置。LocationCode:用于设置DIE与DIE之间的位置关系,DIE与SITE之间的位置关系。通过下拉菜单选择,下面进行详细说明。LocationCode选择“0”时,对应于单工位设置;LocationCode选择“1-4”时,DIE与SITE的设置关系如左图。MappingSettings说明(二)LocationCode选择“5-8”时,DIE与SITE的设置关系如左图。MappingSettings说明(三)LocationCode选择“9-12”时,DIE与SITE的设置如图6-10所示。MappingSettings说明(四)CoordinateCode:用于设置ProberX、Y坐标轴的增长方向,通过下拉菜单进行设置,各项内容对应的增加方向如左图所示。移动CHUCK时,关注Prober显示器上提供的X、Y坐标值,即可以确认其增长方向。DieSize设置说明当勾选有效时,可以进行设置。WaferSize:用于设置实时显示Wafer的尺寸,通过下拉菜单选择。Width(Y):设置DIE的宽度,单位为mm。Length(X):设置DIE的长度,单位为mm。AutoSaveMap设置说明勾选自动保存Mapping图,会在收到WaferEnd信号后,在Datalog目录下面创建一个Mapping的文件夹,然后根据Lot号及Waferid时间创建文件。MapType:三种格式,前两种是文本格式的,后面一种是图片格式的。IncludingBin
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