TRACK安装调试培训资料

TRACK安装调试培训资料张先锋2014.08.06创新进取正道经营追求卓越创新进取正道经营追求卓越培训内容：一、CLEANER安装调试二、SB/HB/DB安装调试三、DEVELOPER安装调试创新进取正道经营追求卓越TRACK线平面图：流片方向流片方向流片方向创新进取正道经营追求卓越所有设备SETUP完成之后，我们开始进入TRACK线，各个单元并不是按照流片的先后顺序来调试的，很多时候是几个单元同时作业，而为了培训的方便，我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从整条TRACK线来说，分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11个单元，我们需要调试的是其中的5个单元：CLEANER、DB、SB、DEVELOPER及HB。本次调试的设备是B5TRACK9号线，名称：SK-2200G，编号：750G25076A创新进取正道经营追求卓越CLEANER单元包括：入口CV、过渡CV、UV前CV、UV（UV属于其他厂商调试）、RB+AAJET、A/K、NEUTRALCV以及出口CV。确认所有供给阀门处于关闭状态；确认所有控制柜处于OFF状态，开始投入电源（与DNS及客户）；盖板类、AAJET、追加roller等拆除。将入口CV和出口CV的整列关闭，中间各个UNITGuideroller调到最外侧。1、CLEANER调试前准备2、川幅调整（初调）一、CLEANER安装调整1231创新进取正道经营追求卓越调整入口CV操作侧第一个Guideroller，使其到侧板内侧距离为50mm，调整出口CV操作侧最后一个Guideroller，使其到侧板内侧距离为20mm，（这两个距离为经验值，视实际情况而定），用这两个Guideroller拉线作为基准线，再调整操作侧所有Guideroller，操作侧Guideroller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同，反操作侧Guideroller与基准线距离分为两种：a、整列roller与基准线距离为0.5mm；b、单个Guideroller基准线距离为2mm。所用基板为2500mm*2200mm*0.5mm此时的川幅调整是初调，目的是传片，为DB、LC、SB、INTERFACE注意2创新进取正道经营追求卓越以及HBrobotTeaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。LCrobotTeaching完成后（Teaching基准为COATER基台），用robot将基板放入出口CV中，以此基板的两侧边为基准，首先调好两侧整列roller，再由两侧整列roller为基准拉线，最后调整CLEANER所有Guideroller。具体调整做法与川幅调整（初调）的相同。再将Guideroller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。3、川幅调整（终调）创新进取正道经营追求卓越出口CV终调川幅调整基准线创新进取正道经营追求卓越用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。4、搬送ROLLER拧紧确认创新进取正道经营追求卓越在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板，放一直尺于板上，扫动直尺，调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后锁紧螺丝。Sensor的高度允许误差为（0，+0.5），Sensor敏感度为小于0～5°时ON状态，5°～10°时OFF状态。5、摇摆SENSOR调整创新进取正道经营追求卓越将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部，其他unit都处于倾斜状态，整体平面度需要调整。a、粗调，将两块基板分别放入贴合的两个unit中，观察两块基板的高度差，然后调节unit四个角的双头螺栓，使得两基板趋于同一平面；b、细调，将一块基板置于两个unit交界处，调节C-roller，方法同A/K调整中的C-roller调整。6、侧板固定螺钉拧紧7、上下流平面度调整创新进取正道经营追求卓越用张力计依次将同步带的张力调整到标准值（标准值参照《各部分标准张力表），具体做法：首先用张力计测量同步带当前张力，再与标准值比较，最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态，使得同步带的张力在标准范围内。8、同步带张力调整创新进取正道经营追求卓越将先前拆下来的追加roller重新安装上，然后用0.2mm的塞尺测量上下搬送roller间的距离，允许误差为±0.1mm。在搬送roller旋转过程中，目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况，如有偏离，调节固定架高度。确认ManualSW动作是否正常；确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音；调整整列气缸开闭速度，开闭时间相同：2.0±0.3s；9、追加ROLLER安装与调整10、搬送ROLLER中心变化确认11、入口CV调整213创新进取正道经营追求卓越调整立替部气缸升降速度，升降时间相同：5.0±0.3s；确认基板缺口Sensor高度：5.0±1.0mm。确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。确认ManualSW动作是否正常；确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。确认ManualSW动作是否正常；确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。12、过渡CV调整13、UV前CV调整6542112创新进取正道经营追求卓越UV属于其他厂商调试，我们只需要调整Guideroller即可。共四个RB，分为前后两组，GOT面板上标记为：前上、前下、后上及后下（根据B5的工艺要求，前上RB及后上RB不需要安装）。首先安装前下RB和后下RB。前下RB原点复位：用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的距离，在GOT面板上调整RB的升降，直到所测距离为2mm，允许误差控制在0.5mm内。14、UV调整15、RB安装与TEACHING12创新进取正道经营追求卓越前下RB安装RB电机Sensor创新进取正道经营追求卓越RBTeachingGOT面板创新进取正道经营追求卓越RBTeachingGOT操作创新进取正道经营追求卓越后下RB原点复位方法同前下RB。调整四个RB电机Sensor。每个RB电机操作侧与反操作侧分别有3个Sensor，最外侧为原点复位Sensor，中间为退避Sensor，最内侧为压入Sensor。a、原点复位Sensor挡片为带圆孔的长方形薄片，调整时将圆孔对准Sensor中间，Sensor指示灯处于常亮状态；b、退避Sensor挡片为长方形，调整挡片使其到Sensor中间距离为8mm，允许误差控制在0.3mm内，Sensor指示灯处于常亮状态；c、压入Sensor挡片为“C”形，调整挡片使其下侧到Sensor中间距离为43创新进取正道经营追求卓越4mm，允许误差控制在0.3mm内，Sensor指示灯处于常亮状态。将所有Cover装上；检查各阀门，将进液阀门打开，排液阀门关闭；投入纯水，检查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。调整直接水洗TankSensor位置，RB侧下限：370mm处(46L)，RB侧定量：135mm处(112L)，RB侧过多：118mm处(115L)；循环侧下限：370mm处(46L)，循环侧定量：110mm处(120L)，循环侧瀑布：90mm处(126L)。Tank中装水放置8h以上，检查有无漏水。16、纯水投入4321创新进取正道经营追求卓越纯水投入Tank及管路检查创新进取正道经营追求卓越安装风切，调整风切，用直尺测量其到基板的距离为10.0±1.0mm。安装中间部液切，上、下液刀到基板上下表面的距离相同：10.0±1.0mm。安装出口液切，用直尺测量其到基板的距离10.0±1.0mm。安装二流体，用直尺测量其到基板上表面的距离为5.0±0.5mm。17、风切、液切及二流体安装与调整1432创新进取正道经营追求卓越先将filter顶部排气管拆下，使用专用扳手将上盖打开，装入滤芯后将拆除件重新安装，锁紧。18、FILTER滤芯安装创新进取正道经营追求卓越将所有Nozzle接管取下，供给阀门打开；所有Nozzle接管取下目的：防止Tank或管路里的particle堵塞Nozzle。打开各个Filter回流阀门，将空气排尽后关闭阀门；检查常压泵和高压泵的旋向是否与泵体标示一致；（4）在GOT面板上查看各部分流量显示，调整手动阀门，使得GOT面板显示的流量达到标准值。a、RBrinse的所有Nozzle压力0.1MPa；注意19、流量调整1324创新进取正道经营追求卓越手动阀门调整流量显示创新进取正道经营追求卓越GOT面板各部分当前流量显示创新进取正道经营追求卓越b、两端液切流量69L/min；c、二流体气体流量3208L/min；d、二流体高压液体压力55MPa。（二流体高压液体压力的调整需要同时调节两个手动阀：一个是回流到Tank中的BYPASS，另一个是通向二流体的高压水管上的阀门）将A/K安装处开口部上、下不锈钢挡板分别调至最上端和最下端，目的是将开口部间距调至最大；首先将上、下风刀的调整块安装好，再将上、下风刀装上，锁紧20、A/K安装与调整21创新进取正道经营追求卓越螺丝；从操作侧到反操作侧均匀测量5个点的上下风刀间距，调节调整块，使得上下风刀间距为3.9mm～4.15mm，其中中间一点为3.9mm，其他为4.0mm～4.15mm。用两个直尺测量上下风刀折线处到开口部直板的间距（测量5个点：两侧两个点，中间三个调整块三个点），比较数据分析上下风刀错位情况，对比两侧两个点的数据，选取合适的基准值，最后将五个点的间距都调整成基准值；先用整张基板调整最两侧的两个C-roller，使基板上表面到风刀下表面距离为1.7mm，如果通过调整这两个C-roller无法达到1.7mm，则需435创新进取正道经营追求卓越要将上下风刀整体升降；剩余C-roller的调整，从反操作侧第二个C-roller开始调整，一个接一个交错调整；若其中一个C-roller调整完毕后，发现临近的搬送roller偏高或偏低，还需要调整辊轴支架。将整张基板中心置于开口部，测量基板上表面到开口部顶端的距离（均匀分布的三个点），测量基板下表面到开口部底端的距离（均匀分布的三个点），测量基板两侧面到开口部两侧面的距离，总共测量8个点。21、所有开口部尺寸确认76创新进取正道经营追求卓越上下风刀错位测量C-roller调整创新进取正道经营追求卓越辊轴支架调整C-roller调整创新进取正道经营追求卓越在GOT面板上打开阀门；打开A/K手动阀，流量调至2500L/min；打开排气阀门，流量调至120L/min.打开控制箱中的FFU开关；确认FFU风扇旋转方向与标记方向是否一致。从入口CV开始依次用转速计测量各unit搬送roller的转速，对照22、A/K流量调整23、FFU确认2132124、CLEANER各UNIT转速调整创新进取正道经营追求卓越标准转速表，在GOT面板上调节转速比，直到搬送roller达到标准值。安装电离器；调整电离器到基板上表面的距离：100±5mm；调整净化空气压力：0.2MPa。确认ManualSW动作是否正常；确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。26、NEUTRALCV调整25、电离器安装与调整32121创新进取正道经营追求卓越Cleaner搬送roller转速调整GOT操作创新进取正道经营追求卓越确认ManualSW动作是否正常；确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音；调整整列气缸开闭速度，流向方向和幅度方向的开闭时间相同：2.0±0.3s；调整减速Sensor与停止Sensor的距离：120mm；调整停止缓冲块的位置：基板在到达停止Sensor后停止，将缓冲块轻轻接触到基板，轻微抬起基板，基板与缓冲块没有碰刮。调整立替部气缸升降速度，升降时间相同：5.0±0.3s；确认基板检查Sensor（柱状）到基板两侧边缘距离：5.0±1.0mm，到324567127、出口CV调整创新进取正道经营追求卓越基板下表面的高度：1