扩散培训资料

一、安全知识1、安全标识说明警告—高压：设备上所有电气工作均由经过培训的人员才可以进行操作，培训过的员工应具备处理以下方面的工作能力：电压，高电压。警告—化学物品具有腐蚀性工艺气体抽吸箱的冒口可能含有腐蚀性和吸湿性化学。请保护眼睛，穿好保护服，戴好手套和防腐蚀的口罩。警告—触摸在工艺时，使用石英舟，舟托架等一定要戴上洁净的手套才能工作，且不能用手触摸，避免烫伤和影响工艺。警告—可燃气体在气体系统上进行了预防性维护和维护工作后请始终更换所有使用过的垫圈。维护工作后请用足够的惰性气体清洁管道。重新启动设备前请在介质管道上进行密封检测。小心—高温炉体在工作时，炉管处于高温状态，炉体表面温度也比较高，所以小心别触摸到管壁，小心烫伤。警告—合闸在接线和换线或维修电气时，在电箱处安放一个禁止合闸的标志。再进行维修工作。小心—轻放石英器件，桨，触摸屏等在安装和卸载时都要轻拿轻放，以免损坏。小心—易碎在安装所有石英器以及石墨舟，桨，等部件时，要注意轻拿轻放，小心碰撞。警告—翻滚在卸载或安装时，石英器件，桨，触摸屏，石墨舟等易碎品，时禁止翻滚。小心——激光辐射！此标志用来表示存在暴露于激光辐射的危险。警告——有害健康的和刺激性的尘粒及蒸气！此标志用来表示存在接触设备中含有的有害健康的材料的危险。小心——手受伤！此标志用来表示关闭或移动固定装置时可能压伤手的危险。小心——设备可能翻倒！此标志用来表示可能发生翻倒的危险小心——环境破坏！此标志用来表示必须按规定清除的，有害于生态的材料带来的污染环境的风险使用带多范围过滤器的呼吸器请穿上保护服2、安全知识说明一般安全知识设备按照所有现行法定规则和安全规则制造而成的。但是，如果错误使用设备或用于规定以外的用途，仍然可能对人身和财产造成危害。用户公司必须确保在设备上或子部件上工作的所有人员都阅读和理解本操作规定。必须遵守以下安全规定，以避免对人身和财产造成危险。用户公司必须提供操作员全部必须的保护装备。实施相应的规定和控制，用户公司必须确保设备及部件的工位始终保持清洁。此外，在运行部件或设备时，还必须遵守当地的安全规则以及预防事故规则。安全装置一、所有安全装置必须始终处于完好的工作状态。二、每个安全装置都必须有由经培训的员工定期检查其安全功能是否完好。三、只允许经过培训的员工打开关闭的防护门和锁闭的盖子，因为这些装置后可能载有电压的或高温的部件，或者通过施力移动的部件。这便可能造成电击；烫伤，或其他伤害。四、设备运行时，气柜门必须始终保持关闭，以确保能通过外部抽排系统对气柜内部进行可靠抽排。五、不得以任何方式取消安全装置的作用。六、系统载运行时，所有安全装置必须处于完全工作状态。七、如果有一个安全装置出故障，部件或设备便不得投入工作，如果移个安全装置载运行过程中出故障，系统必须停机，在安全装置重新工作后才能投入运行。八、只有当部件或设备处于停止或保险状态时才允许移去安全装置。安全装置系统功能—带紧急停机功能的主电源开关主要功能，停止所有动作。退出不受控制的工艺。使整个设备无电压，不带附加供电的UPS网络只在设备切断电源后才无电压。—停止动作主要功能是停止所有机械动作，保护人员和财产。—毒性气体抽排装置主要功能是，将活性，毒性，高温或可燃气体从收集室输送到外部抽排系统中。—外罩主要用于防止刻蚀，烫伤，和吸入毒性气体，保护人员。监视桨上工艺舟的主要作用是，当把桨移出工艺炉管时识别桨上已装料的工艺舟，保护系统。—紧急惰性气体清洁装置主要作用是出现功率损耗或压力损耗时清洁工艺炉管。安全装置系统功能冷却水流量监视主要作用是，监视冷却水流量控制的情况，如果过低或者过压，就会出现电脑桌面报警。如果不及时处理，就会对排热管引起着火的安全事故发生。—加热区温度监视主要作用是，限制工艺炉管的温度，当出现故障时，关闭相应的加热箱的加热电流，将错误信息给操作界面，保护人员和财产。—加热箱外壁温度监视，监视加热箱外壁的温度，将错误报告传到操作界面，出现超温时，将触发关闭相应的加热箱的加热电流，从而起到保护作用。—气柜废气监视主要用途是，监视气柜中的气流。用户安全须知—确保部件及设备始终处于无错误的状态下工作运行—充分培训操作员工—采取适当的预防措施来确保操作员工在自动化程度较低的装卸操作系统工作时步会被桨，工艺舟，硅片灯高温物体烫伤。—确保抽排系统在工作运行中正常的工作。—确保气源柜的门在机器运行中一直保持着关闭状态。—用适合的材料来制作在毒气体抽排装置上运行的外部抽排系统的前端部分，以承受工艺炉管打开时向上流出的高温气体。—确定只有经过培训人员才可以在机器运行上操作—操作人员只要发现设备有任何异常都必须先向有关人员报告，在放置工艺前请确保桨上没有硅片或破裂碎片。如果必要，请清洁装料区。绝对不可将可能对人员或设备造成危险的物体放入工艺炉管中，如爆炸性材料，与工艺不相关的物体等。—不符合专业要求操纵气体系统会导致腐蚀，烫伤，中毒或爆炸等危险，只允许厂商或经培训的员工按照厂商制订的规程从事气体系统及其控制系统的维修工作。—防护门内有可能含有载电压或高温的部件，或通过施力移动的部件，这些部件会造成触电，烫伤或机械伤害，不要在运行中打开防护门。—桨、工艺舟和硅片在工艺过程结束后温度仍然很高，请等冷却时间过去后才手动移去工艺舟，请在需要时戴上防烫手套。维护及预防性维护—在进行任何预防性维护及维护工作前，设备必须有一个可控制的冷却阶段，以防止工艺炉管等石英部件爆裂。只允许专业的员工维护设备，进行维护的员工必须具备处理以下方面工作的能力：电压，高压电，毒性气体，自动控制科学与技术。在进行预防性维护工作前，请做如下工作：—如果必须在气动系统上工作，请排放气动系统，并采取保险措施防止意外启动。（请安放一个提示牌）如果必须在毒性气体管线上工作，请清洗管路。采取保险措施防止气体管线不在重新启动。—确保危险区域内无不相关人员，有必要的，可设置一名监督员。—当必须关闭安全系统时，请在工作时特别注意安全。只允专业的员工按照从事气体系统及其控制系统的维修工作！—切记，如果改变运行中使用爆炸性气体的设备的监视和联锁系统，会增加爆炸的风险，只允许设备供应商进行修改。如果在不关闭整个设备情况下，只对某一个工艺炉管区域内的小故障排除，请注意载电压的部件以及主风扇上旋转的风轮。这种情况时应特别注意安全。—在维修和打开加热箱前必须切断加热电压，—请在TGA空闲传感器上工作时始并采取保险措施以防意外启动。终佩戴防止激光辐射的眼睛。请按照预防性维护计划更换易损件，不管是否可看见影响安全的损坏。—请谨慎使用润滑剂，并将其作为有害废气物的清除。请按规定正确清除对环境有害的生产材料，泵油可能会被毒性工艺介质污染。—请在维修工作结束后检查保护装备的功能是否完好。电气工程—当主电源开关通过紧急停机功能被打到“关”上后，主电源开关的初级接触点仍然时载电压的，请在进行维修工作前用置配电器切断相应控制柜主电源开关的电源，在进行预防性维护工作前，必须切断次级电压连接，以确保内部USP选项完全无电。—此设备电路有接地保护，如果切断接地，那么在触摸手柄，琐，盖子等绝缘的外部部件时可能会有静电。改变可编程控制器(PLC)的程序会影响安全运行。只允许专业的员工或厂商进行修改。—只允许使用符合技术规格要求的类型，电压和电流范围的原配熔断器。气体和液体设备运行使用以下化学气体：—氧气(O2)—氮气（N2）—三氯氧磷（POCl3）在产生残留物的工艺过程结束后以及维修工艺炉管，气源柜或毒性气体抽排装置前，请用惰性体清洁工艺层，检查污染情况。气体系统维修工作完成后，请执行一次记录密封的检测，比如明确的压力值、气体流速和温度的极限值等。1、氮气（N2）高浓度的氮会造成窒息。如果发生氮逸出，请关闭气体出口并确保充分通风。使用此物质时，请遵守材料安全数据表以及公司内部操作规程，2、氧气(O2)氧气是空气的组分之一，无色、无臭、无味。氧气比空气重，在标准状况（0℃和大气压强101325帕）下密度为1.429克/升，能溶于水，但溶解度很小。在压强为101kPa时，氧气在约-180摄氏度时变为淡蓝色液体，在约-218摄氏度时变成雪花状的淡蓝色固体，氧气是助燃气体。3、三氯氧磷（POCl3）(剧毒)为无色透明的发烟液体，无色透明的带刺激性臭味的液体，在潮湿空气中剧烈发烟，水解成磷酸和氯化氢，进一步生成HP2O4Cl3。应急处理：皮肤接触，立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟，就医。眼睛接触，立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟，就医。吸入，迅速脱体现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，进行紧急输氧。如呼吸停止，请立即进行人工呼吸并马上送医院。消防发生火灾时，可能产生刻蚀，毒性及火焰状气体，请在开始灭火前穿上保护服并戴上防毒面罩。—发生气体火灾时，请在灭火前切断气体供应，因为灭火后可能溢出可燃气体会带来爆炸危险。—如果电缆绝缘被毁坏，整个系统中存在触电危险，请在灭火开始前关闭并切断系统的电源，并采取保险措施防止意外接通。—在较小和通风差的房间内使用CO2灭火剂会造成窒息危险，因此请请确保通风。—从下面起扑灭火源，首先扑灭主火源，然后扑灭可能的其他火源。—灭火时必须遵守所有法律规定和公司规则。—请只使用适合的灭火器进行带电部件的灭火。请保持至少1米的安全距离！—灭火器：灭火器符合DIN14406型号C2-222灭火物资：二氧化碳（CO2）二、技术数据1、尺寸与重量(详见设备铭牌1、2)2、介质连接设备中使用的工艺气体的纯度率必须至少达到99.9999%，并符合半导体技术的要求3、压缩空气名称要求干燥，冷凝点-40°C无油0.5mg/m³压力大于4KG小于8KG4、冷却水名称要求冷却水入口15–25°C最少65升/分钟，无悬浮物质和粒子最大8巴冷却水出口至少小于冷却水入口4巴pH值36氯化物总含量20ppm硝酸盐总含量10ppm硫酸盐总含量100ppm溶解的固体总含量250ppm水总硬度250ppm(在碳酸钙中证实)电阻率(25°C)2500Ωcm溶解的固体总量(TDS)；估算的640000/电阻率(单位Ωcm)最大颗粒大小50µm5、环境空气名称要求颗粒生成最多10个颗粒0.5µm/m3空气允许的最大相对湿度50%，最高40°C时允许的环境温度+5°C至+40°C三、扩散设备投入运行和停止运行一、正常开机进行预防性维护工作和维护工作而关机或正常关机，请按以下步骤重新启动：1.检查是否所有工艺炉管和工艺舟已预处理好，以及是否已进行了试加工；2.修理工作后，请检查是否设备的有关部件都经过了测试，有关工艺炉管是否已按照本厂规定进行了运行前的清洁；3.打开设备上的以下接口：●主冷却水出口以及各管的冷却水出口●主冷却水进口以及各管的冷却水进口●压缩空气供应●氮气供应●打开热排风4.检查气体管道及连接管线是否密封；5.打开气体管线的主关阀门并检查气体压力；6.打开配电柜上的主电源开关来接通电，并检查其电压是否符合要求；7.打开每管的电源开关，按下上电开关按钮，使工机上电；8.打开手动画面关闭炉门，送入20000~25000ml的氮气给管内做清洁保护；9.检查工控机手动画面是否有故障信息显示，排除可能存在的警报的原因，然后将警报复位；10.检查推舟机构的传感器的功能和位置，并复位推舟平移、上下的原点；11.检查软着陆，整个过程桨位置是否有发生变化，观察石英舟托是否仍能安全进出炉管；12.复位机械手的1、2、3轴原点；13.进行逐管加热，整定。14.进行管内饱和作业；15.等待工艺运行。二、正常停机1、停止各管加热；2、给炉管内持续输送20000~25000ml大氮，给炉管做清洁及冷却保护；3、关闭源瓶进气阀，然后关闭源瓶出气阀。根据停机时间长短决定是否取出源瓶3、清空各管桨上和管内的石英舟托（严禁在桨上或管内长时间存放石英舟）；4、管内温度到达室内温度时，关闭冷却水（通常需要3~4小时）5、关闭每管的工控机软件，并关闭工控机；6、复位每管的上电按钮；7、根据停