太阳能工艺流程

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片200MW建设项目环境影响报告书简本一、项目简况项目名称：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片200MW建设项目建设单位：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司建设规模：年产太阳能电池片200MW建设性质：外商独资扩建建设地点：江苏省苏州高新区鹿山路199号厂区二期厂房预留车间内（一楼）投资总额9980万美元占地面积：总占地66660m2（本项目车间5000m2），总绿化面积19205m2（不变）二、现有项目情况1、现有建设项目主体工程及产品方案现有建设项目主体工程及产品方案序号工程名称（车间、生产装置或生产线）产品名称及规格设计能力年运行时数1太阳能电池片多晶硅有铬生产线（6条线）太阳能电池片100MW/a48002太阳能电池片单晶硅无铬生产线太阳能电池片100MW/a*现有一期项目申报并通过审批的100MW/a太阳能电池组件组装项目目前尚未建设、生产，并将取消该项目，今后也不再建设、生产；2、现有项目公用配套工程现有项目公用配套工程一览表项目建设名称设计能力备注贮运工程原料等由供应商负责送货汽车（8t/d）产品由本单位用专车辆负责送货汽车（5t/d）公用工程给水、排水、供热、供汽、供气、供电、绿化等输送最大管径25cm雨污分流变压器最大输送500KVA由高新区统一供水1200万度/年由高新区统一供电绿化23685平方米厂房施工时实施环保工程废气处理酸碱雾洗涤塔4套（4个15米排气筒）一期项目已建设实施（8个排气筒）硅烷燃烧塔3套（3个15米排气筒）活性炭吸附塔1套（1个15米排气筒）酸碱废气洗涤塔处理系统1套（1个25米排气筒）二期扩建项目已建设实施（5个排气筒）铬酸雾废气洗涤+塔处理系统1套（1个25米排气筒）有机废气活性炭吸附系统1套（1个20米排气筒）硅烷燃烧塔1套（1个20米排气筒）多孔碳酸钙+活性炭吸附塔1套（1个25米排气筒）制纯水设施膜过滤纯水设施（设计规模100t/h）一期项目已建设实施膜过滤制纯水设施（设计规模200t/h）二期扩建项目已建设实施废水处理酸碱废水处理+混凝沉淀系统（设计规模100t/h）一期项目已建设实施酸性废水处理+混凝沉淀系统（设计规模200t/h）二期扩建项目已建设实施含氢氟酸废水处理设施（设计规模50t/h）（4条线）3太阳能电池组件组装线（6条线）太阳能电池组件100MW/a（6条线）含铬酸废水处理设施（设计规模50t/h）废水（尾水）后续处理系统（设计规模200t/h）固废处理零排放有资质单位回收处理不产生二次污染危废临时贮存场所50㎡一、二期项目共建实施一般工业固废贮存场所50㎡成品仓库100㎡一般原料仓库100㎡气罐区30㎡危险品仓库100㎡噪声隔音设施、合理布局、厂界绿化隔音已实施辅助工程办公建筑面积1174m2已实施用餐地点面积100m2门卫室1个依托工程苏州新区第二污水处理厂设计日处理8万吨/天，一期4万吨/天，运营稳定3、现有（一期）项目生产工艺流程简述及产污环节（1）一期项目工艺流程现有项目生产工艺流程图（一期项目）一期项目主要工序流程简述：1.硅片腐蚀(制绒)、清洗:P型单晶硅薄片，经碱腐蚀清洗烘干，制绒主要是使用碱性溶液腐蚀硅表面形成绒面。清洗主要是处理制绒后的硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留的碱性物质，接着用盐酸去除表面残留的物质，最后再用纯水清洗。此过程有废气产生，废气中含有HCl、HF、H2；此工序还有碱性废水、酸性废水产生，碱性废水中主要含有氢氧化钠，酸性废水中主要含盐酸、氢氟酸；另外在碱腐蚀过程还会有碱性废液硅片腐蚀（制绒）、制纯水废水579.62清损耗6.262洗96.3自来水硅片甩干硅片扩散去硅玻璃硅片甩干加减反射膜硅片背面印刷银铝浆W3清排水烘干硅片背面印刷铝浆烘干硅片正面印刷银浆烧结刻蚀太阳能电池片纯水、N2POCl3、N2、O2纯水、HF纯水、N2SiH4、NH3、N2银铝浆铝浆银浆CF4、O2G1HCl、HF、H2、异丙醇W1含HF、HCl废水；W2含NaOH废水S1含碱、异丙醇废液W3清排水W5清排水G2Cl2、P2O5G4HF、SiF4W4含HF废水G5NH3、SiH4S2少量废铝浆G6少量有机物S3少量废铝浆G7少量有机物S4少量废银浆G8有机物G3CF4、SiF4NaOH、异丙醇、HCl、HF、纯水委外加工单晶硅片（单晶电池片）产生，其中含有较高浓度的异丙醇。碱腐蚀的反应方程式为：2NaOH+Si+H2O=NaSiO3+2H22.硅片扩散：硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在的条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式如下：5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片扩散工序,有废气产生，该废气成分有P2O5、Cl2等。3.刻蚀：主要是去除边缘的N型硅，此工序为干法刻蚀，主要是利用四氟化碳和硅以及氧气的反应来去除边缘硅，其化学反应式为：CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑因而此工序有未反应完全的四氟化碳和反应生成的四氟化硅气体逸出。4.去硅玻璃（PSG）：主要是用氢氟酸腐蚀硅片表面的氧化层，即清除硅片表面的SiO2层，反应生成为微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的络合物，其一起进入酸性废水处理。因而此工序会有少量的氢氟酸和四氟化硅挥发。5.加减反射膜：利用硅烷、氨气之间的反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少量的氨气和硅烷挥发。6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,收集电流。主要是使用银浆，铝浆，银铝浆，一般由金属粉末和有机溶剂以及固体树脂构成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂都被挥发，剩余金属与硅形成合金层。7．烧结烧结工序主要是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆的电极放入烧结炉中，使浆料中的水分、树脂及某些有机物挥发出来。烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。（2）二期扩建项目工艺流程二期扩建项目主要工序流程简述1.硅片腐蚀(制绒)、清洗：委外加工多晶硅片硅片腐蚀（制绒）清洗硅片甩干刻蚀硅片扩散去硅玻璃硅片甩干加减反射膜硅片背面印刷银铝浆烘干硅片背面印刷铝浆烘干硅片正面印刷银浆烧结太阳能电池片三氧化铬、HF、纯水异丙醇、HClG1铬酸雾、HFG2HCl、HF、异丙醇W1含铬、HF废水W2HF、HCl废水S1含铬、异丙醇废液纯水、N2W3清排水POCl3、N2、O2G3Cl2G4P2O5CF4、O2G5CF4、SiF4纯水、HFG6HF、SiF4W4含HF废水纯水、N2W5清排水SiH4、NH3、N2G7NH3、SiH4银铝浆S2少量废铝银浆G8少量有机物铝浆S3少量废铝浆G9少量有机物银浆S4少量废银浆G10有机物（多晶电池片）二期扩建项目使用原材料为P型多晶硅薄片，使用碱腐蚀已无法满足产品质量需求，因此本扩建项目使用铬酸腐蚀硅表面形成绒面（使用浓度约在1.25%）。清洗主要是处理制绒后的硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留的碱性物质，接着用盐酸去除表面残留的物质，最后再用纯水清洗。此过程有废气产生，废气中含有铬酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含铬废水、含氟废水、酸性废水产生，同时产生一定的废液，其中含有较高浓度的异丙醇。2.硅片扩散：硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在的条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式如下：5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片扩散工序,有废气产生，该废气成分有P2O5、Cl2等。3.刻蚀：主要是去除边缘的N型硅，此工序为干法刻蚀，主要是利用四氟化碳和硅以及氧气的反应来去除边缘硅，其化学反应式为：CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑因而此工序有未反应完全的四氟化碳和反应生成的四氟化硅气体逸出。4.去硅玻璃（PSG）：主要是用氢氟酸腐蚀硅片表面的氧化层，即清除硅片表面的SiO2层，反应生成为为微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的络合物，其一起进入酸性废水处理。因而此工序会有少量的氢氟酸和四氟化硅挥发。5.加减反射膜：利用硅烷、氨气之间的反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少量的氨气和硅烷挥发。6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,收集电流。主要是使用银浆，铝浆，银铝浆，一般由金属粉末和有机溶剂以及固体树脂构成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂都被挥发，剩余金属与硅形成合金层。7．烧结烧结工序主要是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆的电极放入烧结炉中，使浆料中的水分、树脂及某些有机物挥发出来。烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。4、现有项目污染物排放“三本帐”现有项目污染物“三本帐”一览表（一期+二期）类别项目一期（已建）二期（在建）公司目前排放总量t/a核准总量t/a排放总量t/a核准总量t/a排放总量t/a核准总量t/a废气铬酸雾000.0120.0120.0120.012氟化物（F）0.064*0.4070.4070.4070.471*0.471HCl0.360.360.360.360.720.72异丙醇0.04*0.20.20.20.204*0.204Cl20.1150.115011501150.230.23P2O50.2930.2930.2930.2930.5860.586NH30.7150.7150.5710.5711.431.43SiH400.00420.00420.00420.00420.0042TVOC0.6910.6910.6910.6911.3821.382废水废水量34.86万34.86万19.30278万19.30278万54.16278万54.16278万COD36.5236.5226.52326.52363.04363.043SS11.8411.8411.1511.1522.9922.99NH3-N0.540.540.810.811.351.35TP0.1080.1080.1630.1630.270.27氟化物1.291.290.4990.4991.7891.789六价铬000.030.030.030.03总铬000.060.060.060.06固废危险固废000000一般工业固废000000生活垃圾000000*氟化物、异丙醇由于在一期项目“三同时”验收时未检出，因此按照检出限的一半计算其排放量；5、现有项目环保验收情况1、现有苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片100MW、太阳能电池组建100MW新建项目（一期项目）已于2008年通过苏州市环保局环保“三同时”竣工验收（见苏环验【2008】184号）。2、苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片100MW二期扩建项目目前正在进行试生产。根据企业介绍及现场勘查情况，目前该项目各项环保治理措施已全部到位，现已委托进行验收监测。3、在该试生产期间，建设单位中水回用水量达到60t/h，已满足环评批复（苏环建【2008】415号）要求的60%中水回用率。4、现有一期项目在后续生产过程中将4条无铬生产线中的1条改变至有铬生产线，在后续的二期扩建过程中已将6条有铬生产线中的1条改变至无铬生产线，建设单位从而已满足环保主管部门环评批复对建设单位生产线设置要求。6、现有项目主要存在的环保问题a.未按照《江苏省排污口设置及规范整治管理办法》（苏环控【1997】122号）的规定规范排污口标志牌；b.需进一步完善事故应急预案和应急措施；三、本项目工程分析1、本项目主体工程及产品方案建设项目（技改、扩建项目）主体工程及产品方案序号工程名称（车间、生产装置或生产线）产品名称及规格设计能力年运行时数扩建前扩