ESD管理规范

1.目的为规范手机项目ESD控制方案体系所包含的管理要求和技术要求，在设计、建立、实施、维护ESD管控方案提供参考依据，特制定本规范。2.范围本规范适用于本公司手机项目。3.定义名称定义ESD是ElectrostaticDischarge的缩写，指带有不同静电电势（电位差）的物体或表面之间的静电电荷转移。分为接触放电和电场击穿介质放电。静电电荷的突然释放能够对ESD敏感器件造成损害。EPA是ESDProtectedArea的缩写，指为保障静电敏感器件（ESDS）免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域，通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员，必须严格遵循防静电作业规范。EPA内的静电产生和静电放电受到控制，能够防护ESD损害。ESDS是ElectrostaticSensitivityDevice的缩写，指对ESD的承受能力较低，在制造、运送、储存和测试等过程中容易因静电放电而遭致损伤的器件。器件对ESD的承受能力可以用静电放电敏感度表示，它是指器件所能承受而不至于遭受损坏的最大静电放电电压，基本单位是伏（V）。4.权责技术组：负责参照本标准搭建环境，并确保符合本标准所有要求项。QS：负责参照本标准要求对制造环境进行稽查并推动本标准的严格执行。5.内容5.1ESD管理要求5.1.1人员防静电要求人体的运动是静电产生的主要根源，人体是EPA内最大的静电源，对人体静电压的控制我们通常采取减少静电电荷的产生和人体接地释放静电电荷两种方法同时控制，主要通过戴工帽、手套、指套、穿工衣、工鞋、佩戴腕带、使用防静电椅等方式加以控制，使得人体产生的静电安全地释放，达到ESD防护的目的。因此，ESD控制方案内应明确制定了人员包括外来人员进入EPA区域的穿戴基本要求、人员防静电作业要求，人员防静电接地要求及有效性的检测方法（防静电腕带、人体综合电阻的测试），确保人员满足静电防护的需要。5.1.2防静电用品管理要求为了确保各类防静电用品的防静电性能，要求制定对防静电用品的认证、申购、检验、领用/发放、维护/维修等环节的实施方法和操作要求，实现对防静电用品进行有效的监控和管理。由于物品的防静电性能与测试设备、方法、标准、环境以及测试人员技能有很大关系，防静电用品的技术认证必须由ESD项目组成员来组织。5.1.3防静电稽查、培训与认证5.1.3.1防静电稽查ESD控制体系的维护主要是通过稽查，发现问题、纠正问题来实现的。包括ESD周度稽查、ESD月度稽查、ESD季度稽查、ESD年度稽查等，以确保所有与ESD相关的环节得到了合适的关注与控制，所有发生的ESD不合格问题都得到了有效纠正与预防。对于一级EPA区域，需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；对于二级EPA区域，需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存使之与ISO9000的要求相符合。5.1.3.2ESD培训与认证所有操作或有可能接触ESD敏感器件、组件或产品的人员都必须进行ESD培训。同时为确认防静电培训的效果，参加ESD培训的员工需要通过防静电知识的考核（认证）。为了促进员工防静电知识的不断提升，需要对参加培训的员工进行培训、认证、再培训、再认证等一系列过程。由于产品静电防护涉及的部门很多，人员的级别也相差很大，培训的对象有管理层、技术层、操作层，因此，为了保证培训效果应分层次确定培训目标并制定相应培训教材。培训计划应确定静电防护培训类型和频率、方法和具体技巧，培训计划还应包括用于检查学员理解及培训是否合适的检查方法。员工培训记录要求保留至少一年，并规定这些记录存放何处。为了保证培训效果，培训与认证应分为：初级培训和认证、周期性培训和认证、提高培训和认证、特殊培训和认证。a、初级培训和认证：在员工接触静电放电敏感物件之前，就应提供初级的培训和认证。b、周期性培训和认证：一级EPA区域内的工作人员ESD培训的有效期为一年，一年后需要进行周期性培训和认证。二级EPA区域内的工作人员及周边服务部门人员ESD培训的有效期为两年，两年后需要进行周期性培训和认证。c、提高培训和认证：由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从低等级EPA转移到高等级EPA（如从二级EPA转移到一级EPA）等，需要适应新环境ESD控制要求进行提高培训与认证。d、特殊培训和认证：由于需要对静电防护体系进行日常维护，需要每一个部门（或EPA区域）确定一名ESD负责人（或由接口人执行），各个部门需要对ESD责任人或稽查人员提供特殊培训与认证，或由公司ESD主管部门对所有ESD责任人员、稽查人员提供特殊培训与认证。5.1.4防静电问题处理流程ESD工作实行部门主管负责制，其中部门主管为第一责任人，各部门ESD接口人或各ESD分项工作负责人为第二责任人。各类稽查问题处理应本着快速、高效的原则进行。发现问题后应按ESD问题处理流程处理解决。各区域发现的一般ESD问题由各区域责任人自行处理，重大问题或无法处理的则提交ESD专人确定，如ESD专人确定的确是ESD重大问题或无法处理的问题提交ESD委员会共同处理。处理流程如下：开始ESD问题发生现场处理ESD区域负责人是否一般ESD问题？报ESD专员ESD区域负责人现场处理关闭ESD区域负责人现场处理关闭ESD区域负责人YN5.2ESD技术要求5.2.1EPA区域环境建设要求EPA区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要可能出现静电敏感物品，且静电敏感物品未处于静电屏蔽状态，则应定义为防静电区，否则可定义为非防静电区。防静电区域的边界范围由ESD专员与区域防静电责任人共同确定。生产区域分为一级EPA区域和二级EPA区域。一级EPA区域适用于静电敏感等级大于或等于HBM100V的产品生产；二级EPA区域适用于静电敏感等级大于或等于HBM500V的产品生产；生产区域对应的EPA等级定义及相关要求请参考下表格：协调处理ESD专员是否重大ESD事故？报ESD委员会ESD专员处理关闭ESD专员预防措施ESD专员NY问题关闭ESD委员会制定预防措施ESD委员会执行措施区域负责人结束EPA控制一级EPA二级EPA备注静电防护水平HBM100VHBM500V适用区域静电敏感度＜HBM500V的器件或组件涉及的加工环节静电敏感度≥HBM500V的器件或组件涉及的加工环节温湿度要求温度：20~30℃相对湿度(RH)：45%~75%EPA内应配备温湿度计，并在每班次上班之前作一次记录温度：10~30℃相对湿度(RH)：30%~75%EPA内应配备温湿度计，并在每班次上班之前作一次记录1.产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施；2.当指标超出规定的范围时，必须采取适当的措施予以改善。标识要求（1）各楼层EPA入口处或不同EPA等级的转换处粘贴一级EPA区域等级警示牌（2）员工能正确区分EPA和非EPA，防静电区域（EPA）的外边界粘贴EPA区域地面警示标识（3）防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器件及组件等有关包装上标注有醒目的ESD标识。（1）各楼层EPA入口处或不同EPA等级的转换处粘贴二级EPA区域等级警示牌（2）员工能正确区分EPA和非EPA，防静电区域（EPA）的外边界粘贴EPA区域地面警示标识（3）防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器件及组件等有关包装上标注有醒目的ESD标识。人员要求（1）着装要求：穿戴防静电工衣、工鞋、工帽（2）测试要求：所有进入EPA的人员必须通过ESD测试方可进入（3）操作要求：接触静电敏感产品必须佩戴防静电腕带或手套（坐式作业员工必须佩戴防静电腕带）（4）培训及认证要求：见（1）着装要求：穿戴防静电工衣、工鞋或鞋套、工帽（2）测试要求：所有进入EPA的人员必须通过ESD测试方可进入（3）操作要求：接触静电敏感产品必须佩戴防静电腕带或手套（坐式作业员工必须佩戴防静电腕带）（4）培训及认证要求：见5.1.3.2如果客户有更高要求的，按客户要求执行静电源控制要求（1）不必要的静电源（如水杯、塑料袋、手提包等）禁止带入EPA;（2）必要的静电源按十二英寸原则控制或进行离子化、防静电喷涂等方式处理（1）不必要的静电源（如水杯、塑料袋、手提包等）禁止带入EPA;（2）必要的静电源按十二英寸原则控制或进行离子化、防静电喷涂等方式处理接地要求参见5.2.2参见5.2.2ESD硬件配置要求离子风机配置：（1）SMT线体：印刷后、贴片后、回流炉前、回流炉后、检验位（2）组装线体：静电场大于100V的工位（3）其它关键工位：如维修工位，软件烧录工位或其它静电场大于100V的工位。接地监控仪配置：需要对EPA区域操作静电敏感器件的人员进行监控；需要对EPA区域台垫进行监控；需要对关键设备进行监控。其它ESD硬件配置参见5.3离子风机配置：SMT线体：印刷后、贴片后、回流炉后、检验位组装线体：静电场大于500V的工位其它关键工位：如维修工位，软件烧录工位或静电场大于500V的工位。接地监控仪配置：需要对EPA区域操作静电敏感器件的人员进行监控。其它ESD硬件配置参见5.31.要求使用直流自平衡离子风机；2.回流炉前如不进行任何操作，可不配置离子风机防静电包装要参见5.5参见5.5硬件设施检测要求参见5.4参见5.4稽查要求周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查，具体参见5.1.3月度稽查、季度稽查、年度稽查，具体参见5.1.35.2.2生产现场防静电接地要求EPA区域所有的设备、仪器、测试环境装备、工具、人体应进行安全可靠的接地，以保证静电敏感物品、工作人员和其它所有导体处在等电位状态，使静电敏感物品免受ESD损伤。5.2.2.1接地/等电位相连系统EPA区域内应实行接地/等电位相连接系统，以保证静电放电敏感物件、人员和所有其它导电体(如移动设备)，处在同样的电位。5.2.2.2人员接地坐式作业人员必须采用手腕带系统进行接地，手腕带系统接地要求见下表，站立式作业人员可通过手腕带系统或地板-鞋系统进行接地，当采用地板–鞋系统时，应至少符合下面两个条件之一：1、系统的总电阻（从人体，通过鞋和地板，到接地/等电位相连系统）小于3.5×107欧姆；2、系统的总电阻（从人体，通过鞋和地板，到接地/等电位相连系统）大于3.5×107欧姆，但小于1×109欧姆时，且人体走动电压﹤100V。应采用方法2（见如下表格）。人员接地之技术要求测试方法指标要求手腕带系统参照ANSI/ESDS1.1﹤3.5×107Ω地板/鞋系统（方法1）参照ANSI/ESDSTM97.1﹤3.5×107Ω地板/鞋系统（方法2，两者都要求）参照ANSI/ESDSTM97.1﹤1×109Ω参照ANSI/ESDSTM97.2﹤100V5.2.2.3EPA内的设施接地要求1、防静电工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙铁）、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插孔等都应进行可靠接地，接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠、接触电阻小。2、防静电工作区应在合适的位置提供接地端子和双回路腕带插孔座，以便于操作者腕带的接地。接地端子到防静电线之间的电阻应小于4Ω。3、在落地设备、流水线、产品整机等上面本身应提供防静电腕带的接地插孔，通常插孔的接地采用防静电地引入，但在环境不满足时，允许使用电气保护地代替防静电地。4、当工作台接触到它附近的最高可能电压时，工作台表面的对地电阻应能保证最大对地漏电不超过5mA。5、静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在R＜1.0×109Ω。6、防静电工作区安装和移位后，接地电阻应该重新测试，并保证在规格之内。7、所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。仪器工具、设备的外壳都要增加加强接地线，采用紧固连接。8、所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好，因此禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件，除单板具有热插拔设计和