设备验收报告等离子体刻蚀

北京中联科伟达技术股份有限公司1设备验收报告设备名称型号规格数量/套验收范围等离子体刻蚀机1验收日期：年月日技术规格(详见附文)验收项目验收指标实测结果备注射频电源100~1000W连续可调CF4/O2流量±1%*总量程系统极限真空度10Pa系统漏气率5Pa/min工艺压力±10Pa射频输出功率±50W辉光驻波比1.5辉光反射功率10W单机产能25min/批设备稳定性一周稳定运行培训培训内容培训对象(签字)培训时间备注石英管拆装/清洗设备操作日常维护/故障排查资料交付类型交接对象(签字)交接时间备注使用说明书关键部件说明书备品备件交接北京中联科伟达技术股份有限公司2验收结论：意见和建议：甲方名称：中恒科技（唐山）曹妃甸有限公司技术负责人：（盖章处）日期：2010年月日乙方名称：北京中联科伟达技术股份有限公司现场负责人：日期：2010年月日注：此报告一式两份，甲方、乙方各存一份。北京中联科伟达技术股份有限公司3设备验收报告附文一、验收依据1、年月日，甲、乙双方签订的等离子体刻蚀设备购销合同。2、年月日，甲、乙双方签订的等离子体刻蚀设备验收细则。二、验收项目1、射频电源2、CF4/O2流量3、系统极限真空度4、系统漏气率5、工艺压力6、射频输出功率7、辉光反射功率8、辉光驻波比9、单机产能10、设备稳定性三、验收标准、方法1.炉体温度稳定性检验方法：将炉体恒温区5个点的工艺温度设为一致，范围控制在350~500℃之间，保温维持4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。验收标准：5个点的温度波动值控制在±2℃以内2、CF4/O2流量检验方法：根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。验收标准：≤±1%*总量程；CF4/O2SiH4流量允许偏差均为±3sccm。3、系统极限真空度检验方法：正常启动抽真空流程，观察限定时间内（这里要求5分钟内）腔体真空压力的极限值。验收标准：5分钟内真空压力降到10Pa以下。4、系统漏气率检验方法：将炉体内压力用真空泵抽至真空状态，保压，查看1分钟、5分钟内系统的平均漏气率。验收标准：5Pa/min。北京中联科伟达技术股份有限公司45、工艺压力检验方法：工艺压力设定值和实际值之间的偏差。验收标准：±10Pa6、射频输出功率检验方法：设备正常运行过程中，射频电源输出功率的波动范围。验收标准：±50W7、辉光反射功率检验方法：验收标准：8、辉光驻波比检验方法：验收标准：9、单机产能检验方法：不考虑装卸片操作过程，正常执行标准工艺配方，测算10批的平均工艺节拍。验收标准：工艺节拍25min/批。10、设备稳定性检验方法：设备进入试用期，稳定批量生产一周，无严重故障（指不发生导致生产过程停止的设备故障；排除人为因素）。验收标准：设备稳定运行一周。北京中联科伟达技术股份有限公司5四、验收结果附表北京中联科伟达技术股份有限公司6五、培训内容详细附表培训项目培训内容培训人员备注操作培训1、设备使用培训（设备整体结构介绍、手动运行操作、自动运行操作、配方编辑、放花篮取花篮操作、系统参数设置等）2、操作过程注意事项（见使用说明书相关部分）3、射频功率的调节指导6、气体流量的调节维护培训1、石英缸更换；2、真空泵润滑油更换；3、真空泵皮带更换4、常见故障分析与排除（见维护手册）5、日常维护（停开机、电气检查及相关器件的装调等）附表2：资料交付清单文档内容数量接收人1．技术规格书1份2．操作说明包括设备外购件的说明书；1套3．安装说明1份4.维修手册1份5．安全说明1份6．备品备件清单O型密封圈，深沟球轴承，304轴卡，保险管绿色带灯按钮，选择开关，304孔卡；1套7．机械装配图整体框架图、装配图；管路图，石英缸部分装配图纸；（在操作说明书内）1套8．气路图原理图；（在操作说明书内）1份9．电气图电气图（包括电气原理、器件布局、接线图）1套