等离子操作及注意事项(新)

OPS-OMEGA-DT02型等离子体设备操作流程1.打开供气钢瓶总阀，并将出口压力通过减压阀调节到合适值(一般在1一3公斤之间)2.打开反应腔门，取出样品板。3.将待处理样品置于样品板上。4.将样品板水平推入到位。5.关闭反应腔门。6.开启总电源开关，待触摸屏启动完毕。7.输入密码1118.参数设定和程序选择。9.手动时，按实验人员的意向进行操作;自动时，按下“自动”、“启动”、“一遍”“自动”、“启动”、按钮，设备自动开始处理过程，当处理过程结束后，自动进人到提醒页面，按“确认’，后回到主页面，等待再次进行实验。同时蜂鸣器鸣响，提醒操作人员实验已经完成。10秒钟后蜂鸣器自动关闭。10.打开反应腔门，将样品取出。11.再次处理重复以上(2)一(8)步骤。12.全部实验验结束后，关闭总电源。OPS-OMEGA-DT02型等离子体设备保养及注意事项设备保养：1.设备不用时，应将真空反应腔保持真空密封状态。2.平时保持反应腔内的清洁，如果有污染应用脱脂棉球沾取丙酮擦拭干净。3.经常注意观察真空泵内真空泵油的油位和颜色。转动后的油位要位于油标刻度线的上方(约为2/3高度)，油的颜色应清澈。如果油位不够或颜色变混，应及时添加或更换。注意事项：1.由于工作气体有一定的危险性，所以工作时真空泵的排气应通过管道排出室外。2.设备不使用时应将钢瓶总阀关紧，防止漏气。3.设备工作间应保证良好的通风，并严禁明火。4.机柜内有高频电源发生器，切勿随意触摸或擅自拆卸，高压危险!