洁净室施工及验收规范JGJ71

洁净室施工及验收规范JGJ71—90第二节竣工验收第5.2.1条竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。第5.2.2条洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求：一、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；二、高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封；三、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便；四、净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；五、洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；六、送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可靠严密；七、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封；八、各种刷涂保温工程应符合有关规定。第5.2.3条净化空调器或空调器，排风系统，局部净化设备（各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等），空气吹淋室，余压阀，真空吸尘清扫设备，烟感、温感火灾自动报警装置，自动灭火装置，净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机试运转应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应符合现行国家标准《建筑安装工程质量检验评定标准》TJ305（通用机械设备安装工程）的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。第5.2.4条单机试运转合格后，必须进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不少于8h。系统中各项设备部件联动运转必须协调，动作正确，无异常现象。第5.2.5条竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目应符合下列规定：一、通风机的风量及转数的检测；二、风量的测定和平衡；三、室内静压的检测调整；四、自动调节系统联动运转；五、高效过滤器的检漏；六、室内洁净度级别。第5.2.6条洁净室竣工验收时，施工（安装）单位应提出下列文件：一、设计文件或设计变更的证明文件及有关协议和竣工图；二、主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件；三、单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表；四、开工、竣工报告，土建隐蔽工程系统和管线隐蔽工程系统封闭记录，设备开箱检查记录，管道压力试验记录，管道系统吹洗（脱脂）记录，风管漏风检查记录，中间验收单和竣工验收单；五、各单机试运转、系统联合试运转和第5.2.5条所列项目的调整检测记录。第5.2.7条竣工验收终了应作结论。第三节综合性能全面评定第5.3.1条综合性能全面评定的性能检测应由有检测经验的单位承担，必须用符合要求的、经过计量检定合格并在有效期内的仪表，按本规范的方法检测，最后提交的检测报告应符合本规范的有关规定。第5.3.2条综合性能全面评定检测项目应按表5.3.2中排定的内容顺序确定，检测工作在系统调整好至少运行24h之后再进行。第5.3.3条综合性能全面评定检测进行之前，必须对洁净室和净化空调系统再次全面彻底清扫，但严禁使用一般吸尘机吸尘。清扫后由身着洁净工作服的人员擦拭表面，清洗剂可根据场合选用纯水、有机溶剂、中性洗涤剂和自来水，有防静电要求的，最后宜用沾有防静电液的抹布擦一遍。第5.3.4条综合性能检测时，建设、设计、施工单位均须在场配合、协调。序号项目单向流（层流）乱流洁净室法净度高于100级100级洁净度100级及低于1000级1室内送风量，系统总新风量（必要时系统总送风量），有排风时的室内排风量检测2静压差检测3截面平均风速检测不测4截面风速不均匀度检测必要时测不测5洁净度级别检测6浮游菌和沉降菌必要时测7室内温度和相对湿度检测8室温（或相对湿度）波动范围和区域温差必要时测9室内噪声级检测10室内倍频程声压级必要时测11室内照度和照度均匀度检测12室内微振必要时测13表面导静电性能必要时测14室内气流流型不测必要时测15流线平行性检测必要时测不测16自净时间不测必要时测必要时测注：1～3项必须按表中顺序，其它各项顺序可以稍作变动，14～16项宜放在最后。第四节评定标准第5.4.1条检漏按附录六、一的方法步骤进行，由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成的透过率，对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的2倍，对于超高效过滤器，应不大于出厂合格透过率的3倍。第5.4.2条风量和风速的检测应符合下列规定：一、乱流洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定：120%；210%；3计风量的±15%。二、单向流（层流）洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定：120%；210%。第5.4.3条风速不均匀度按附录六、四检测，并按下式计算，结果应不大于0.25。v式中βv——风速不均匀度；vi——任一点实测风速；V——平均风速；n——测点数。第5.4.4条静压差按附录六、三检测，其结果应符合下列规定：一、相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；二、洁净室与室外静压差应大于10Pa；三、洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室在开门状态下，在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。第5.4.5条室内洁净度按附录六、五检测，然后按下列公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差σN；式中n——测点数；Ci——每个采样点上的平均含尘浓度；t——置信度上限为95%时，单侧t分布的系数，其值见表5.4.5。系数T表5.4.5点数2345～67～910～1617～29＞29t6.32.92.42.11.91.81.71.65第5.4.6条室内浮游菌和沉降菌按附录六、六检测，应符合设计要求。第5.4.7条室内空气温度、相对温度按附录六、七检测应符合下列规定：一、无恒温要求的场所，温度和相对湿度符合设计要求；二、有恒温恒湿要求的场所：室温波动范围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，90%以上测点达到的偏差值为室温波动范围，应符合设计要求。区域温差以各测点中最低的一次温度为基准,各测点平均温度与其偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，90%以上测点所达到的偏差值为区域温差,应符合设计要求。相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。第5.4.8条室内噪声级按附录六、八检测，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73的规定。第5.4.9条室内照度和照度均匀度按附录六、九检测，照度值和照度均匀度（即工作面上最低照度值与平均照度值之比）应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73的规定。第5.4.10条室内微振按附录六、十检测，三个方向的振幅均应符合设计要求。第5.4.11条表面导静电性能按附录六、十一检测，当工艺无要求时，表面电阻值应为，泄漏电阻应为。第5.4.12条室内气流流型按附录六、十二检测，应绘出流型图和给出分析意见。第5.4.13条流线平行性按附录六、十三检测，在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15°。第5.4.14条自净时间按附录六、十四检测，实测自净时间不应大于由附图6.3查出的计算自净时间的1.2倍。附录一名词解释序号名词解释1单向流沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流，习惯称层流2洁净度1级对0.5μｍ微粒的计数浓度是现行100级的1燉100的一个洁净度级别3洁净度10级对0.5μｍ微粒的计数浓度是现行100级的1燉10的一个洁净度级别4高效过滤器按现行国家标准《高效空气过滤器性能试验方法》GB9165的方法测定，效率不低于99.9%即透过率不高于0.1%的空气过滤器5超高效过滤器对0.1μｍ微粒的计数效率不低于99.999%即透过率不高于0.001%的空气过滤器附录五施工检查记录表土建隐蔽工程记录附表5.1工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：隐蔽工程内容清扫情况附图和说明分部分项名称单位数量方法日期检查意见工长或技术负责人施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：管线隐蔽工程系统封闭记录附表5.2工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：年月日管线号___________________管径_____________材质__________工作介质________________________隐蔽封闭前的检查意见工长或技术负责人施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：设备开箱检查记录附表5.3工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：年月日工程编号设备名称工程名称施工图号规格型号工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：管道压力试验记录附表5.4工程名称及编号：分部工程名称及编号：年月日分部工程名称规格单位数量试验压力（Pa）试验方法持续时间（min）压降（Pa）结论附注工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：管道系统吹洗（脱脂）记录附表5.5工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：年月日管线号材质工作介质吹洗脱脂介质压力流速吹洗次数鉴定介质鉴定检查意见工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：风管漏风检查记录附表5.6工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：系统名称：风管名称：检查方法：年月日洁净度级别风管部位风管断面长×宽（mm）漏风点编号漏风管位置附图和说明检查意见工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：注：风管名称指送风管或回风管；风管部位指干管、支干管或支管。设备单机试运转记录附表5.7工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：设备名称及编号：试运转日期：年月日试运转内容试运转结果评定意见建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）系统联合试运转记录附表5.8工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：系统名称及编号：试运转日期：年月日试运转内容试运转结果评定意见建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）竣工验收检测调整记录附表5.9工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：系统名称及编号：房（车）间名称：日期检测调整项目名称设计要求检测调整具体位置及编号检测仪表情况调整前测定结果调整后测定结果调整措施工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：中间验收单附表5.10工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：中间验收日期：年月日工程内容中间验收结果遗留问题评定意见附件工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：竣工验收单附表5.11工程名称及编号工程地点开工日期竣工日期验收日期工程内容验收结果评定意见附件建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：附录六洁净室综合性能检测方法一、过滤器检漏对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法（光度计法）和采样量最小为1l/min的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。2（1）被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%～120%之间运行。（2）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。（3）当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。（4）对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍；当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80～100μｇ/L。检漏仪表应具有0.001～100μ