ESD管理规则

福建捷联电子有限公司液晶模组事业部文件编号版本质量体系第三层文件QI-BLU-00主题：ESD管理规则编制部门:工程课分发号码:发布日期:2006年11月30日文件管制:起草者:周清恩日期:06年11月30日审查:日期:年月日核准:日期:年月日分发部门RDDIYBL5QAPCGACSPE液晶模组事业部编号：版本：00页数:2/10主题：ESD管理规则文件更改记录本程序根据实际需要作如下更改,已经相关部门会签并呈报核准[BLU檔管制申请单]由总务课保存。序次条款页次修改内容纪要新版序核准更改日期更改单号1全版更新00黄国荣2006-11-28液晶模组事业部编号：版本：00页数:3/10主题：ESD管理规则1.目的:建立一套全面的静电放电控制系统，以保护厂内的人员、产品、设备等。2.范围:适用于FDT静电控制区域。3.定义:3.1静电electrostatics：物体表面过剩或不足的静止电荷。3.2静电放电electrostaticdischarge（ESD）：静电电场的能量达到一定程度后，击穿其介质而进行放电的现象。3.3静电敏感度electrostaticsusceptivity：元器件所能承受的静电放电电压值。3.4静电敏感器staticsensitivitydevice（SSD）：对静电放电敏感的器件。3.5泄放leakage：将静电电荷安全传导到地。3.6中和neutralization：利用导性电荷使静电消失。3.7静电导体electrostaticconductor：表面电阻在105~108Ω范围内的物体。3.8接地grounding：电气连接到能提供或接受大量电荷的物体上（如大地、舰船或运载工具金属外壳等）。3.9第三条导线交流设备接地：指交流设备动力系统接地，除零线和火线外的接地导线。3.10接地电阻测量仪（ZC29B）：测量接地系统阻抗。3.11钳式接地电阻测试仪（ETCR2000）：利用奥姆定理测量接地回路电阻值。3.12带电平面监视仪（SSDH0601）：测量静电消除器的除静电效果和静电水平。3.13防静电手环测试仪：检测防静电手腕带的接地阻抗是否在规格内。3.14静电手环监控仪：安装在设备上实时间监控人员及静电手环的接地状况之仪器。3.15静电量测仪（STATIRON-DZ3）：实时测量被测物体表面的静电水平。3.16表面阻抗测试仪：测试与产品接触的物品表面阻抗。3.17现场单位：BM-5、IQC、OQC、IPQC、RMA。4.权责:4.1【工程部门】：负责项目推展规划、会议的召开。其中包括教育训练教材、需求等规划的提出。SPC管制项目提出。ESD相关资料的收集。ESD管理规范的系统制订。4.2【品保部门】：负责给予ESD管理项目推展质量系统面的支持；ESD管理项目SPC管制、QPA稽核；ESD量测仪器设备的校验和MSA分析；协力厂的ESD推展及管控。4.3【工务部门】：定期对设备、工作桌和系统接地测试，为ESD小组核心协助单位。4.4【ESD小组】：由各相关单位成员组成，负责统筹全厂ESD管理工作的规划、执行、培训、稽核和系统完善等。4.5【总务课培训组】：负责教育训练课程计划、实施及记录。4.6【FMEA小组】：负责ESD管理系统的失效分析。4.7【现场单位】：负责ESD仪器、设备、人员的点检和异常回馈。5.作业流程:5.1ESD管理作业流程。流程权责单位相关说明相关表单设备系统接地/设备ESD防护设施工程/现场单位设备纳入式样书设备验收Cheklist设备外壳接地/工作桌接地工务/现场单位《ESD管制方案》接地电阻测试记录表《》液晶模组事业部编号：版本：00页数:4/10主题：ESD管理规则人员ESD防护接地工务/现场单位《ESD管制方案》《静电手环点检表》《静电消除器点检表》托盘静电管理表单设备/产品ESD防护工务/现场单位《ESD管制方案》《实装设备静电量测记录表记录规范》《托盘表面阻抗值管理规范》《通箱表面阻抗值量测作业规范》静电消除器效果确认记录表/静电消除器点检表/托盘静电管理表单/通箱表面阻抗值点检表ESD防护SPC管制品保SPC制定异常反馈、处理、确认工务/工程/品保/现场单位《ESD管制方案》《ESD异常处理履历表》5.2ESD推动框架人：ESD管理初级、高级培训，以增强ESD防护意识和技能。机：ESD防护功能必须实施在设备设计、制作、使用中。料：使用之材料必须符合静电防护标准。法：制订有效的ESD防护作业指导书，SPC管制。环：厂房设计、施工中ESD防护系统（设备、人员ESD接地系统、抗静电地板等）厂房ESD防护设计设备ESD防护设计现场设备/工作桌ESD防护人员ESD防护人员教育训练及认证各制程ESD水平评估ESD管理规范文件化制定产品ESD防护设计RSD检测/管制及异常反馈处理ESD管理稽核、系统完善液晶模组事业部编号：版本：00页数:5/10主题：ESD管理规则5.3组织架构：6.内容:6.1ESD培训计划6.1.1ESD管理初级（1）受训对象：事技员（含）以上（生产、工程、品保、工务、总务）。（2）课程概要：静电基本概念、静电防护、静电量测仪器介绍等。6.1.2ESD管理高级（1）受训对象：助工/专（含）以上（生产、工程、品保、工务、RMA）以及ESD小组成员。（2）课程概要：静电管理方案、静电危害原因分析、静电防护、静电检测及标准等。6.2ESD防护规范6.2.1静电防护的基本原则6.2.1.1抑制静电荷的积聚.6.2.1.2迅速、安全、有效地消除已经产生的静电荷。6.2.2接地及接地系统6.2.2.1防静电接地原则：（1）防静电系统必须有独立可靠的接地装置。（2）电源（交流）接地和静电防护接地是分开，即防静电地线不得接在电源零在线。6.2.2.2各系统接地电阻标准值：①并联运行变压器的总容量为100千伏安以上≤4②并联运行变压器的总容量为100千伏安以下≤10对于①≤101千伏以下的低压电力设备重复接地对于②≤30,重复接地不少于3处静电防静电主系统接地R≤4独立避雷针工频接地电阻≤10防雷设备阀型避雷器工频接地电阻≤56.2.2.3接地装置示意图：ESD管理工程部ESD工程师总务工务生产部品保部液晶模组事业部编号：版本：00页数:6/10主题：ESD管理规则厂房ESD防护设计、施工设备ESD防护设计现场设备、工作桌ESD防护人员ESD防护产品ESD防护设计ESD检测、管制及异常回馈、处理。ESD管理规范檔化制订人员教育训练及认证稽核、系统完善各制程ESD水平评估6.2.2.4设备接地方法：（1）实装线用导线将各机台连接起来，汇总于L/D机接地。（2）组立、M检、仓入、包装等输送机，在输送机最前段接地。6.2.2.5工作桌接地方法：（1）靠输送机旁的工作桌用导线连接到输送机上。（2）其它工作桌用导线连接到附近接地干线上。6.2.2.6测试方法：（1）接地电阻测量仪（图一，ZC29B型）操作步骤：图一：接地电阻测试仪（a）被测接地极E使电位控棒P和电池探棒C依直线彼此相距20米，且电位探棒P系在E和C之间。（b）E端钮接5米导线，P端钮接20米导线，C端钮接40米导线。（c）将“倍率标度”置于最大倍率慢仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调整器调节零位。（d）将慢转动发电机的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指标指“0”。（e）当检流计的指标接近平衡时，加快发电机摇柄转速，时其达到每分钟150转。再转动电位器刻度盘，时检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以被率檔即为被测接地电阻数值。（f）当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。（g）当测量小于1Ω的接地电阻时，应将2个E端的联接片打开，分别用导线联接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。（h）当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度过低时可沿探棒注水使其湿润。6.2.2.7钳式接地电阻测试仪（图二：ETCR2000）操作步骤：（1）水平放置仪器，打开电源开关，10秒后仪器自检结束（2）拉接4mm2/1c电缆到附近的接地箱，电缆另一端与被测点连接。（3）用表卡住电缆，直接读取，并记录。液晶模组事业部编号：版本：00页数:7/10主题：ESD管理规则6.2.2.8测试周期：（1）系统接地电阻测试，周期为每半年一次（阻值要求4欧）。（a）外观检查（b）接地系统电阻测量。（2）ESD接地棒的接地阻抗检查，周期为每年一次（阻值要求4欧）（a）外观点检由现场单位每天点检。（b）回路电阻测试（3）设备接地电阻测试，周期为每月一次（阻值要求4欧）。（a）外观检查。（b）回路电阻测量。（4）工作桌防静电接地测试，周期为每月一次（阻值要求10欧）。（a）外观检查。（b）回路电阻测试。6.2.2.9异常处理流程：测试中发现接地阻值大于标准阻值时处理如下：注：工务同仁在检测异常时，无法判定异常点时，必须寻找另一个正常接地点重新将被测物接地，同时需上报单位主管，或联系厂商对策异常点。6.2.3人员静电防护6.2.3.1人员接地要求（1）所有接触ESD敏感物的人员应与接地点或专用接地点相连接。（2）当第三条交流设备接地导线不能用到或不适用时，工作人员应该通过腕带或其它接地系统与静电放电敏感对象的一个导电性组件相连，以保证所有组件在同样电位。6.2.3.2人员ESD防护方法（1）使用防静电地面/防静电工作服/鞋/（静电从脚导到大地）（2）佩戴防静电腕带并接地（静电从手导到大地）（3）使用防静电腕带要求（a）使用腕带操作时不允许断开，否则会失去接地作用。（b）腕带扣得不紧造成人体皮肤与腕带的接触电阻变大确认设备接地线是否松脱开始检测检查接地分线箱至设备接地线是否断路检查接地分线箱中接线端子是否松动检查总接地系统是否正常NN做出相应处理N液晶模组事业部编号：版本：00页数:8/10主题：ESD管理规则检测并记录测量正常YYYYYN确认检测工具是否正常YN(4)人员作业前要先点检手环并保持记录。6.2.3.2人员静电防护测试周期：（1）人员静电手腕带检测，周期为每天一次。（a）外观检查（b）接地电阻范围测量。6.2.4防静电工作区规范6.2.4.1所有SSD及其部件的操作都必须在静电安全工作台上进行。6.2.4.2进入防静电工作区的所有电子元器件都被视为SSD对待。6.2.4.3储存、运输SSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。6.2.4.4拒绝接受未包装在静电防护容器里的SSD。6.2.4.5重要工位上应配备腕带监视器，以随时监视腕带是否处于正常状态。如组立制程。6.2.4.6在装配未采用防静电包装的零件时，应消除静电后再进入防静电工作区。6.2.4.7手拿SSD时，应避免接触其引线，如IC引脚、PanelITO引脚、PWB金手指和组件。6.2.4.8操作时应尽量减少对SSD及其部件的接触次数。6.2.4.9为了更有效的防护ESD对产品的损伤，设备、工作站等需要配备静电消除器。6.2.4.10生产过程中，相关设备和工作站上静电消除器必须处于开启状态。6.2.4.11防静电工作区ESD防护测试周期：（1）台式离子产生器。（a）由现场单位做外观清洁点检，周期1次/日。（b）由现场单位负责除静电效果检测，周期2次/月。（2）设备自带的静电消除棒、静电消除网、静电监视器。（a）由保守对功能性进行保养，周期1次/季。（b）由现场单位做外观清洁点检，周期1次/日（c）由现场单位负责除静电效果检测，周期2次/月（3）运输辅助工具如TRAY盘、通箱的防静电测试。（a）面板Tray盘、模块通箱静电测量有生产实施抽检作业，周期20PCS/次*月。6.2.4.11无尘室为防静电工作区，为了能清晰可见的告知同仁，需要在同仁进入无尘室的入口张贴防静电标志。（1）防静电工作区域标志为黄黑相间或黄白相间的斜条纹，线条宽度为5~10cm（见图）。（2）防静电包装应有防静电标志，且标志应置于明显且不易受到磨损的地方。6.3带电平面监视仪的操作方法：带电平面监视仪（SS