300片去磷硅玻璃清洗机方案

1常州顺风光电科技有限公司全自动扩散后去磷硅玻璃清洗机1.概述1.1设备概要本设备主要功能是对Si扩散后的去磷硅玻璃处理。最大产量：每工位处理300片，每小时处理12框（3600片）外板用瓷白色PP板制作，槽体采用本色PP板制作。1.2设备组成此清洗装置主要由通过式清洗主体、移载机械手、抽风系统、电控及操作盘等部分组成。设备走向：根据设备场地布置的要求，设备走向统一采用“左进右出”方式。工件由作业员左手边上料工位人工上料，经清洗后，经作业员右手边下料工位人工出料。1.3设备描述此装置是一个全自动的处理设备。清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。操作员通过10.4英寸彩色触摸屏控制生产工件由机械手移载，经去HF/清洗等工序。清洗作业员将装满工件的工件框放置在进料台上，由自动机械手将工件框平移依次送到各处理工位，对工件进行腐蚀、清洗的全过程，工件最后由机械手移到出料台上，由作业员将工件框取出。1.4设备基本动作分析：→将欲处理工件放于上料传输线上2由移栽机械手依次将工件送到各处理工位→将已经处理过的工件人工转移32.工艺流程2.1被清洗物Si片125X125X0.28mm（3600PCS/Hr）156X156X0.28mm（3600PCS/Hr）2.2工艺流程：→上料→1#HF酸洗→2#纯水漂洗→3#纯水漂洗→4#纯水漂洗→下料2.3工艺细节：工序辅助处理液时间温度材质自动盖浓度抽风1酸洗鼓泡HF4minRTPP/10%有2漂洗鼓泡DI水4minRTPP///3漂洗鼓泡DI水4minRTPP///4漂洗鼓泡DI水4min40~700CPP///43.设备技术参数3.1清洗工件要求3.1.1名称Si片3.1.2尺寸125X125X0.28mm156X156X0.28mm3.1.3清洗节拍5min/篮3.1.4清洗篮装载量300片/篮3.1.5片盒外型尺寸可兼容25片片盒与100片片盒3.1.6清洗篮负荷重量max40kg3.2设备基本要求3.2.1设备形式：室内放置型5KW3.2.2机械手设定速度：2000-5400mm/min（变频调速）3.2.2电源：三相380±10%，50Hz（5线制）,操作控制回路：DC24V，SOL：AC220V3.2.3能力设计：三班制（注：一天工作23H/天，330天/年）3.2.4电气性能：E级，并有良好的接地，抵抗500MΩ以上3.2.5会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩，有人员作业岗位使用双开关启动作业，易对人造成伤害部分设置光电安全门3.2.6非常停止开关设置：在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关，作业岗位操作开关旁须明显设置有非常停止开关3.2.7工水：压力2-3kg/cm2，流量2m3/hr3.2.8DI水：压力3-5kg/cm2，流量2X1-2m3/hr（max）电阻率18MΩ3.2.9压缩空气/氮气：压力0.5-0.7MPa/cm2，流量20m3/hr3.2.10环境要求：空气温度：5-40℃相对湿度：﹤90%3.2.11蒸气源：/3.2.12主铭板包括：设备名称，型号，厂家，出厂编号，出厂日期，简要电气参数等3.2.13控制面板铭板包括：装置名称，各开关动作标注等3.2.14部件标注铭板包括：各部件的名称，气体及液体流动方向等3.2.15涂装要求：各部分使用耐油性涂料涂2回以上，表面涂装光洁无凸点等53.3控制系统主要功能3.3.1三菱FX系列PLC控制，彩色触摸屏操作3.3.2报警、设备各项参数检测3.3.3具备低水位保护功能3.3.4自动手动转换开关3.3.5加热器、马达等开关3.3.6清洗时间、温度、传动速度调节器3.3.7紧急停止开关3.3.8设备状态指示灯：设备要有明确的指示灯显示设备运转状态3.4设备特征3.4.1此清洗装置是一个全自动的处理设备，清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。移载机械臂清洗本体总控制电柜等部分构成3.4.2移载机械臂移载机械臂实现硅片承载架按工艺流程顺序移动提篮设计简洁，减少残留液体机械臂采用平稳控制方式，提篮不会晃动可以对各槽处理时间单独设置，可以取消某槽处理工艺，实现柔性管理，可以自动和手动转换并继续原程序运行每次只能钩取一个硅片承载篮，挂钩与机械手采用螺纹连接，方便调整机械手定位以光电开关为准，在各槽的减速/停止点设置有方便调整的光电开关提升总质量不大于40kg机械臂的定位准确度±2mm上下动作调速马达TECO6功率200W调速形式变频调速变频器ALT升降传动滚珠丝杆升降导轨直线轴承+导轴平移动作变频马达CPG功率200W调速形式变频调速变频器ALT传动方式齿轮齿条传动专用铝质导轨40*40承载导向滚轮滚轮材质POM安全保护：正常上下位光电开关（光电开关属于非接触式检测）上下极限位行程开关（行程开关属于接触式检测）3.4.3清洗本体1#HF酸洗工位位置1#槽时间0-5min处理液HF溶液5-10%处理液来源纯水采用自动注入，HF均采用人工加注材质进口10mm厚PP板处理液DI水+HCL7处理温度常温时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒氮气鼓泡设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控其它手动自动组合排水2#常温DI水漂洗槽位置2#槽时间0-5min处理液来源纯水采用自动注入设备正常使用中3#溢流的水进入2#槽使用材质进口10mm厚PP板处理液DI水处理温度常温时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒氮气鼓泡设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控其它手动自动组合排水3#常温DI水漂洗槽位置4#槽时间0-5min处理液来源纯水采用自动注入设备正常使用中4#溢流的水进入3#槽使用材质进口10mm厚PP板处理液DI水处理温度常温8时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒氮气鼓泡设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控其它手动自动组合排水4#热DI水漂洗槽位置4#槽时间0-8min处理液来源纯水采用自动注入设备正常使用中由PP预热副槽向4#槽补液材质进口10mm厚PP板处理液DI水处理温度40~500C加热方式PTFE加热器直接加热加热功率3.5KWX4=14KW加热电压220V时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒温度管理有触摸屏直接管理温度功能包括显示温度/报警/自动恒温温度控制范围+20C氮气鼓泡设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控自动换液设置PP副槽100L，每间隔一定时间，向4#主槽自动注入60-80L热纯水，用于更新主槽纯水。其它手动自动组合排水3.4.3上下料台9位置设备进出口外形尺寸L1900*W820*H252驱动90W牙箱马达/TL传送3/4”白色胶链条位置控制行程开关/感应开关3.4.4总控制电柜等部分构成三菱FX系列PLC控制E-VIEW10.4英寸大型触摸屏显示/检测/操作报警、设备各项参数检测具备低水位保护功能自动手动转换开关清洗时间、温度、传动速度调节紧急停止开关设备状态指示灯：设备要有明确的指示灯显示设备运转状态绿灯：设备正常运转中黄灯：设备休止或其它红灯：设备异常或故障