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基于声光效应的MEMs加速度传感器敏感元的设计
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本文标题:基于声光效应的MEMs加速度传感器敏感元的设计
链接地址:https://www.777doc.com/doc-3202357 .html
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格式: doc
大小: 2.6 MB
时间: 2020-01-20
本文标题:基于声光效应的MEMs加速度传感器敏感元的设计
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