原子力显微镜 (1)

机械制造及其自动化哈尔滨工业大学机电工程学院航空宇航制造工程系机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜第三章原子力显微镜3.1原子力显微镜简介1.原子力显微镜的发明和扫描力显微镜的发展2.原子力显微镜的基本工作原理试件微悬臂和探针压电扫描器显示器计算机及控制器激光探测器STM探针AFM探针STM驱动AFM扫描驱动试件微悬臂机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜立式AFM(Hansma等,1988)原子力显微镜后来又经过多次改进，现代的AFM不仅有原子级的分辨率(纵向0.01nm，横向0.1nm)，针尖对试件的作用力极小，基本不划伤试件，能测量软质试件，而且具有多项新的测量功能机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.原子力显微镜的总体结构组成机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.2原子力显微镜的测量和扫描模式1.AFM检测的要求探针尖和试件表面非常接近时，二者间的作用力极为复杂，有原子(分子、离子)间的排斥力(库仑力)、吸引力(范德华力)、磁力、静电力、摩擦力(接触时)、粘附力、毛细力等。AFM的检测成像用的是原子(分子、离子)间的排斥力(接触测量)或吸引力(非接触测量)，而其他各种作用力对AFM的检测成像并无帮助，而只是起干扰影响作用。2.作用力的检测模式1)恒力测量模式；2)测量微悬臂形变量的测量模式；3)恒力梯度测量模式：ω1∝(k―F’)1/24)力梯度测量模式。（Q值通常指谐振器的品质因数.一个较高的Q值可以使器件对外部阻尼运动非常敏感）机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜AFM的三种扫描成像模式3.AFM检测时的扫描成像模式AFM检测试件表面微观形貌时，现在采用三种不同的扫描成像模式：1)接触扫描成像模式(contactmode)，2)非接触扫描成像模式或抬高扫描成像模式(non-contactmode或liftmode),3)轻敲扫描成像模式(tappingmode)机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜1）接触扫描成像模式该方式所感知的力是接触原子的外层电子相互排斥的库仑力，这相互排斥的库仑力大小在10－8～10－11N。该方式可以稳定地获得高分辨率试件表面微观形貌图像，有可能达到原子级的测量分辨率。其缺点如下：（1）检测弹性模量低的软质试件时，试件表层在针尖力的作用下会产生变形，甚至划伤，这将使测出的表面形貌图像出现假象。（2）在大气条件下，多数试件表面都吸附着覆盖层（凝集水蒸气，有机污染物，氧化层等），厚度一般为几nm。当探针尖接触这吸附层时，毛细现象会使吸附层下凹，或粘附到针尖上，引起额外的粘附力，增加了总的作用力，造成了检测成像的畸变。（3）针尖和试件接触并滑行，容易使探针尖磨损甚至损坏。2）非接触扫描成像模式非接触扫描模式测量时，测量的作用力是以范德华力为主的吸引力，针尖－试件间距离大致在5～20nm。非接触扫描测量模式的主要优点,是探针和试件不接触，针尖测量时不会使试件表面变形，适用于弹性模量低的试件，此外因针尖和试件不接触，测量不受毛细力的影响，同时针尖也不易磨损。但非接触扫描测量模式测量灵敏度要低些。机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜AFM轻敲扫描针尖振荡示意图3）轻敲扫描成像模式机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.3探针与试件间的作用力1.探针与试件间的各种作用力1）各种长程力和短程力作用力举例相互作用距离长程力磁力生物铁磁体~0.1m磁畴~10－7m静电力针类—试件间电容~10－7m毛细力玻璃上水膜~10－3m针尖和试件间凹面~10－9m液固界面力~10－7m范德华力针尖一试件间（RZ）~10－8m短程力粘附力跳跃接触~10－9m排斥力针尖试件接触~10－10m弱相互作用力~10－15m强相互作用力~10－15m机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜探针－试件间距离在10μm左右时，空气阻尼力探针－试件间距离在100～1000nm时，主要静电力和磁力相互作用探针－试件间距离在10～100nm处，吸附水膜产生几百nN吸引力的毛细力针尖－试件距离到达10nm左右时，原子(分子、离子)间吸引的范德华力针尖－试件间距离小到1nm以内时，原子间相互排斥的厍仑力开始起作用2）探针尖接近试件过程中发生作用的各种力3）AFM测量时利用的相互作用力在接触测量时，检测的是它们间的相互排斥力；在非接触测量时，检测的是它们间的相互吸引力4）针尖－试件间其他作用力及其应用于各种扫描力显微镜针尖－试件间相互作用的磁力，可制成检测材料磁性能的磁力显微镜(MFM)；针尖－试件间相互作用的静电力，可制成检测材料表面电场的电势的静电力显微镜(EFM)；探针－试件接触滑行时的摩擦力，可制成研究材料摩擦磨损行为的摩擦力显微镜(FFM)；机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜2.AFM工作时针尖－试件间的相互作用力石墨H位上的两种电荷密度分布1）相互排斥的库仑力和相互吸引的范德华力（1）原子间的排斥力原子（分子）间的排斥力是由于原子外面的电子云相互排斥而产生的，原子间的排斥力是很强的，在AFM测量时排斥力在10－8～10－11N数量级，是短程的相互作用力，作用距离在10－10m，随距离增加排斥力迅速衰减。（2）原子间的相互吸引力原子(分子)间相互吸引的范德华力,是原子或分子靠近时产生相互极化而产生的微弱引力。属长程力，作用距离可达10－8m以上。机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜范德华力，由三部分组成：(1)偶极－偶极相互作用力，即两个偶极子之间的作用力；(2)偶极－感应偶极间的相互作用力,同被它感应的偶极子间的相互作用力；(3)色散力，它存于中性的原子或分子间。这些中性的原子或分子的时间平均偶极矩为零，但是由于电子不断围绕原子核运动，在某一瞬间可能产生一定的偶极矩，使得中性原子或分子之间产生瞬时间偶极矩作用，从而产生了色散力。Fv=216zARHamaker常数A是决定范德华作用能大小的关键性参数机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜2）针尖－试件原子间作用力和距离的关系针尖－试件原子间作用力和距离的关系Al针尖和Al试件距离不同时相互作用力机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3）针尖和试件“接触”的概念当两物体逐渐接近到二者之间的相互作用合力为’零’的临界点时，这两物体被认为开始’接触’。即两物体之间相互作用的合力是排斥力时，这两物体是被认为相互接触的;两物体之间相互作用的合力是吸引力时，这两物体是被认为相互不接触的。4）AFM的接触测量和不接触测量不易用于测量机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.悬臂－针尖－试件相互作用的动力学分析1）针尖－试件相互作用的势能)(4)(661212rrrur－两原子间距离ε－两原子间作用能的系数σ－在u(r)=0时的两原子间距离]2101[32)(775212zzRzu针尖－试件间距离为z的总势能]301[32)()(88224212zzRzzuzF]152[43)()(99333212zzRzzFzF机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜k(z-zA)=F(z)]30[3288224212zzR]30[)(88220zzFzzkA]30[88220zzkFzzA]210[)(217702zzFzzkuAT系统的总能量uT，应是针尖－试件相互作用能与悬臂弯曲势能之和ZAZ机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.4毛细力和AFM在液体中测量1.试件表面的吸附层物理吸附化学吸附亲水疏水机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜2.毛细力及其对AFM测量的影响rRhFa/2在R=50～100nm，相对湿度在40～80％时，毛细力大约在几十nN数量级。3.液体中针尖－试件间的相互作用力探针和试件都浸入液体内进行测量时，可以完全消除毛细现象，因此可不受毛细力的干扰，使测量时的作用力大大减小，而且可以：1)检测软质试件；2)可以观察检测活的生物细胞；3)可以观察研究“固液界面”。机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜现在还不能完全控制AFM在液体中不同条件时的针尖－试件间的相互作用力，作用机理也不完全清楚。但AFM在液体中测量，因消除了毛细力，可以使针尖－试件间的作用力，比在真空中测量降低两个数量级。这对检测柔软生物细胞，低弹性模数的软质材料极为重要。4.在液体中AFM的检测机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜水下Au111)的AFM图像(Manne,1990)原子分辨率的起伏幅度约1Å。DNA的AFM图像(DigitalInstruments)机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.5影响AFM测量精度的若干问题分析1.探针作用力引起的试件表面变形2.微悬臂对测量结果的影响1]1111[sgtckkkkk1]111[sgtikkkkhkkkizic机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜1)在AFM采用接触测量时，ki0，实测高度Δz将小于试件表面真实的起伏。2)在AFM采用恒力测量模式时，针尖一试件间的相互作用力需保持不变。当检测中作用力发生变化kiΔh时，反馈系统通过改变Δz,使悬臂的变形力产生变化,而达到平衡：kc(Δz–Δh)=kiΔhhkkzci13)在AFM测量时,针尖的预置力越大，纵向测量结果的放大作用也越大，即纵向畸变也增大。为减小测量误差，应尽量采用小的针尖预置力。4)AFM测量结果的纵向放大量（畸变）和微悬臂的刚度有关。在采用等间隙测量模式时，从式中可看，采用刚度kc较低的微悬臂较为有利，可以减小纵向测量误差。但如采用恒力测量模式时，从式(4-22)看，为减小纵向测量误差,应采用刚度较高的微悬臂，和采用等间隙测量模式时正好相矛盾。因此可知，微悬臂刚度的选择和AFM的测量模式有关。故在恒力测量模式时，测出的试件廓形高低,大于真实的高低，即测量结果在垂直方向有放大作用，造成测量廓形的误差机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.探针尖曲率半径对测量结果的影响使用商品的Si3N4四棱锥探针尖检测所获得的聚酰亚胺薄膜AFM图像使用ZnO晶须作探针尖检测，所获的聚酰亚胺薄膜AFM图像机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜4.试件表面廓形高低起伏不平对测量结果的影响1)纯几何的测量误差,即针尖和试件表面接触点改变，造成的测量误差。；2)针尖–试件间的横向作用力,使探针弯曲,造成测量误差。3)针尖–试件间作用力和距离变化的非线性，造成测量误差。纯几何的测量误差机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜作用力倾斜引起的测量误差作用力非线性引起的测量误差a/ÅU/eVa)b)c)d)作用力非线性引起的测量误差示意图机械制造及自动化系纳米科学与技术第3章原子力显微镜3.6AFM的微悬臂和针尖1.对微悬臂和针尖性能的要求针尖尖锐程度,直接决定AFM测量的横向分辨率。理想针尖的尖端是单原子，现在的商品针尖端曲率半径在100～50nm，正努力希望能达到曲率半径R=10nm或更小。微悬臂应该对垂直于试件表面,作用于针尖的Z向微弱力极为敏感，应该可以检测到几nN力的变化，因此微悬臂在Z向的弹簧常数k必须很小。在扫描过程中,针尖受摩擦力和横向力作用，因此要求悬臂有很高的横向刚度以减少测量误差。微悬臂的自振频率须足够高，以便在扫描检测时,针尖能跟踪试件表面的起伏。在典型测量中，扫描时轮廓起伏信号的频率可以达到几kH,因此微悬臂的固有频率必须高于10kHz,这样才能测出正确的试件表面微观形貌。