真空泵的维修保养.

Page1Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved真空技术交流会《真空泵故障分析及维修保养》宁波爱发科真空技术有限公司技术部14.06.04Page2Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved目录1、真空泵的维护和保养2、各型号真空泵的常见故障及维修方法VSVDGLDPVDNBNRLNWSDOPPage3Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved极限压力不良45%异常音14%电机不良8%泵卡死9%漏油6%保养其它18%维修泵主要不良现象及原因统计①密封件老化②吸入水分、异物③油变质①吸入水分、异物②发热、叶片膨胀③油变质①电机品质不良②使用方法错误①密封件老化①吸入水分、异物GLD系列227VD系列228VS系列31PVD系列163NB系列26机组52013年各种泵维修数量统计（台）真空泵不良主要原因为：①密封件老化定期保养更换②吸入水分、异物设置过滤器、干燥器、油水分离器③油变质定期换油，使用油净化装置CS真空泵维修原因统计Page4Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved检查周期检查对象检查内容对应措施3天一次泵油油量能否达到规定标准将油加到指定位置油的颜色是否正常，红褐色，白色属异常做气镇或换油声音是否出现异常音判断声音再处理震动是否发生不同于平时的震动调节减震垫电流值是否和正常值有较大偏差检查供电每周一次表面温度表面温度是否正常太高请检查漏油油封与橡胶圈是否漏油更换密封件6个月或3千小时一次吸气口滤网是否已沾满灰尘清理干净泵油即使无异常情况也需要检查更换泵油油过滤器是否结满油渣清理或更换滤芯联轴器橡胶块是否出现破损或不全更换橡胶块定期检查项目Page5Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved气镇气镇阀及时排除蒸汽Page6Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved真空泵油色样对比危险度0能正常运转危险度1危险度2需要更换泵油极限压力是否稍低于规定值！还能使用一段时间！可能发生故障！危险度3危险度4可能发生重大故障！请定期更换泵油！油的色样Page7Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved2.泵的吸气口向大气开放，空转5秒,缸体内的剩余泵油容易被排出。3.打开加油口，再打开放油阀，然后排出泵油。4.关闭放油阀，把指定的新油按规定量从加油口注入。5.如果泵油污染严重，请加上少量新的泵油，通过几分钟的运转使其清洗。6.换上新泵油后，让泵开始运转，等温度升高后再确认其极限压力。7.如果污染极为严重，泵底部油渣堆积很多，这种情况需要进行分解清理。旋片泵油的更换过程当泵油变质（颜色变深、乳化），气镇无法净化油质，正常使用中突发性压力不良或排气时间过长，泵中混入杂质等，换油是最快速、最有效的解决方案1.打开加油口，再打开放油阀，泵内的大部分泵油可以排出；然后关闭加油口和放油阀。Page8Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved非泵本身原因的故障压力不良泵对容器的排量太小重新选型真空计示数不准确校准真空计管道过细或过长重新设计管道吸气口网堵塞清理过滤网管道存在泄漏用检漏仪查找位置并堵漏油回收装置不适合根据泵的工作要求选用油回收方式泵不转过载保护设置过低以电机最大电流设置环境温度过低提高泵温改用低粘度泵油Page9Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved目录1、真空泵的维护和保养2、各型号真空泵的常见故障及维修方法VSVDGLDPVDNBNRLNWSDOPPage10Copyright©2014,ULVAC,Inc.AllrightsreservedVS系列真空泵Page11Copyright©2014,ULVAC,Inc.AllrightsreservedVS系列真空泵常见故障异常音高频的咔嗒咔嗒声调节节流阀分解维修连续的沙沙声油位过低加泵油分解维修泵不转电源接法不正常使用可靠的接线头和正确的接法进入异物叶片膨胀清理修磨叶片更换叶片压力不良吸入水分做气镇换油排气阀板断裂更换排气阀板进油不良分解疏通油路修磨油分配阀漏油油封盖处漏油更换油封盖处的油封及O形圈放油螺塞没拧紧拧紧螺塞漏水管接头密封不良拧紧接头或更换接管缸体和油箱盖接缝处渗漏冷却水管O形圈没装到位缸体底部漏水底部受到撞击或冷却水冻裂返油/保压不良排气阀密封不良清理异物更换排气阀板分配阀卡住修磨油分配阀发热冷却水流量不足或水温过高疏通冷却水路，调整进水流量，控制循环水温Page12Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved节流阀调整方法:将节流阀朝逆时针方向转到底，并保持一分钟左右；然后将节流阀朝顺时针方向转到底，待冲撞声出现；冲撞声出来后，节流阀缓慢地朝逆时针方向转动数圈，当冲撞声极小声时拧紧节流阀上的螺母。注意:因为泵体温度很高，请戴棉手套操作。拆下气镇口一侧的侧盖板，调整节流阀节流阀调节法当泵出现高频的咔嗒咔嗒的叶片不规则运动声时，可以使用调节节流阀来消除噪音调节螺母紧固螺母Page13Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved拆下油位视窗喷油孔位置如图示取下油孔螺塞检查螺塞上的油孔如果还不喷油，可以先不装螺塞运行，把油路中的杂物冲出后再装回去喷油孔清理后盖上的喷油孔不喷油时，可能由异物堵塞，需要疏通视频资料Page14Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved客户名称秦皇岛戴卡兴龙真空泵型号VSN2401使用设备检漏仪（UCD）故障现象异噪音1.通电测试，判断噪音叶片不规则运动声2.调节节流阀，能否消除噪音不能消除3.分解真空泵，查找故障所在更换掉磨损严重的零件，消除故障油箱底部有铝屑轴承、轴套均磨损叶片顶部磨损缸体顶部磨损原因：吸入的铝屑，随油路循环，造成零件因润滑不良而磨损建议：检漏前清理轮毂上的铝屑，定期清理检漏仓内的铝屑吸气口有铝屑故障实例Page15Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved客户名称索尼电子（无锡）真空泵型号VSN2401使用设备电子设备故障现象极限压力不良2.分解后发现该泵的故障状况相当恶劣1.客户反映只是真空度达不到要求由于该泵已使用4年，直接分解。泵内的泵油全部冻结排气阀板炭化断裂叶片顶部严重磨损轴承、轴套均磨损原因：没有进行检查维护，出现故障仍在使用，直到无法使用才返修建议：对使用中的设备进行检查，发现问题要及时处理故障实例Page16Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved目录1、真空泵的维护和保养2、各型号真空泵的常见故障及维修方法VSVDGLDPVDNBNRLNWSDOPPage17Copyright©2014,ULVAC,Inc.AllrightsreservedVD系列真空泵Page18Copyright©2014,ULVAC,Inc.AllrightsreservedVD系列真空泵常见故障异常音高频的咔嗒咔嗒声分解维修连续的沙沙声油位过低加泵油分解维修泵不转电源接法不正常使用可靠的接线头和正确的接法进入异物叶片膨胀清理修磨叶片更换叶片压力不良吸入水分做气镇换油排气阀板断裂更换排气阀板进油不良分解疏通油路修磨油分配阀漏油油封盖处漏油更换油封盖处的油封及O形圈放油球阀没拧紧关紧球阀返油/保压不良第一排气阀密封不良清理异物打磨排气平台第二排气阀密封不良清理异物更换排气阀板分配阀卡住修磨油分配阀Page19Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved1.泵停止，泵内压力恢复到大气压后，打开第一排气口螺杆，查看排气口内是否有油密封，若没有即此处密封不良2.打开泵体外壳和第二排气口挡板，查看排气口槽内是否有油密封，若没有即此处密封不良3.拆下油泵盖，确认油分配阀滑动是否能顺畅滑到底部，若不顺畅将油分配阀取出，查看分配阀表面和槽内壁是否有毛刺突起返油/保压不良故障检查方法真空泵出现保压不良，或泵油从吸气口流出进入管道或腔体时，说明该泵存在密封不良Page20Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved拧开泵体外壳螺丝拆下泵体外壳拆下排气阀挡板拆下排气阀拆下排气阀导块更换排气阀板更换排气阀板方法真空泵出现极限压力不良，且在封住吸气口运转时排气口不停的在排气，可以判断为第二排气阀板异常视频资料视频资料Page21Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved故障实例客户名称青岛汉莎天厨食品真空泵型号VDN401使用设备冻干机故障现象极限压力不良1.更换真空泵油放油口放出的泵油含有大量水分。2.进行测试极限压力达不到要求，并有异噪音3.分解后发现该泵内部零件生锈严重，并有强烈的调味品气味转子轴部磨损泵内的零件生锈严重零件上存在大量水分第二叶片膨胀，顶部磨损原因：吸入水分过多，而且是卤水，造成零件生锈，油润滑不良建议：多做气镇排除水分，勤放水换油，有条件可加装油水分离器Page22Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved故障实例客户名称晶科能源真空泵型号VDN901使用设备多晶硅铸锭炉（晶盛）故障现象异噪音1.对泵进行测试，确认噪音有高频咔嗒咔嗒声2.分解后发现油箱内有大量异物，第二叶片磨损断裂油箱里有异物滑动轴承碎裂第二叶片磨损，一片已断原因：吸入粉尘，被泵油吸附，造成润滑不良，长期使用造成故障建议：保持泵内清洁，增加换油频率，有故障及时维修Page23Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved目录1、真空泵的维护和保养2、各型号真空泵的常见故障及维修方法VSVDGLDPVDNBNRLNWSDOPPage24Copyright©2014,ULVAC,Inc.AllrightsreservedGLD系列真空泵Page25Copyright©2014,ULVAC,Inc.AllrightsreservedGLD系列真空泵常见故障异常音高频的咔嗒咔嗒声分解维修连续的沙沙声油位过低加泵油分解维修泵不转电源接法不正常使用可靠的接线头和正确的接法进入异物叶片膨胀清理修磨叶片更换叶片及弹簧压力不良吸入水分做气镇换油排气阀板断裂更换排气阀板进油不良分解疏通油路修磨油分配阀漏油油封盖处漏油更换油封盖处的油封及O形圈放油螺塞/球阀没密封拧紧螺塞/关紧球阀返油/保压不良排气阀密封不良清理异物更换排气阀板和弹簧倒流阻止阀密封不良修磨油分配阀更换阻止阀或弹簧Page26Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved故障实例客户名称爱斯佩克环境仪器真空泵型号GLD-N201使用设备电子设备故障现象极限压力不良1.更换真空泵油，对泵进行测试抽速很慢，最终压力只能到14Pa2.分解后发现油箱、油孔里全是环氧树脂，零件磨损油封盖内有很多树脂零件表面有很多树脂第二中间盖衬套磨损第一叶片磨损原因：吸入环氧树脂，树脂在泵内凝结，造成进油不良建议：由于树脂吸入不可避免，建议加装油净化装置，定期返厂维护Page27Copyright©2014,ULVAC,Inc.Allrightsreserved客户名称延津通达铸钢工业真空泵型号GLD-N051使用设备光谱仪故障现象极限压力不良1.更换真空泵油，进行测试该真空泵通电后转动缓慢原因：电机内灰尘堆积太多，导致电机散热不良，线圈烧毁建议：确保真空泵使用环境清洁，加装热保护开关2.卸下电机进行检查泵体可以用手转动，并无卡住迹象3.更换另一台电机进行测试真空泵性能正常，无异常4.检查更换下来的电机电机内