中科科仪氦简陋仪使用手册

ZQJ-530氦质谱检漏仪KYKYZQJ-530氦质谱检漏仪本手册使用的提示符号表示操作人员一定要遵循该信息的内容，否则有可能会导致重大的人身伤害或机器故障。表示如果不遵守该信息有可能对仪器造成损害。表示操作者可以得到重要的信息提示。危险及安全信息首次开机之前，必须取下机械泵出气口保护盖，否则会导致机械泵严重故障。在维护该设备时，如果需要分离设备的任何部分，首先要确保关机，并拔下检漏仪供电插头。所有检漏仪的真空机械部件应该使用丙酮、汽油或无水酒精等有机溶剂清洗。当这些溶剂被加热或喷射到较高温度的设备时会导致燃烧或爆炸。大量的通过呼吸道吸入或皮肤接触吸收会对身体产生一定的负面效应。故在使用该类型有机溶剂时要远离高温源，且工作场所要通风良好。该检漏仪在运输过程机械泵出气口需要加上保护盖，防止机械泵油溢出；在运输过程中该仪器切勿倒置。该仪器的性能只能在设备要求的环境下才能得到保证。IKYKYZQJ-530氦质谱检漏仪II用手取下真空连接部分的O圈，千万不要使用金属工具完成此项工作，否则会损伤密封面。在O圈上轻抹少量真空脂，至发亮即可。过多的真空脂会对真空系统造成污染。由于质谱室在高真空状态下工作，在对质谱室维护时要先对其放大气（在确保分子泵停止转动的情况下，通常打开分子泵前级，图3-18）。避免在没放大气时强行取下质谱室或离子源等部件。KYKY服务支持单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司地址：北京市海淀区中关村北二条十三号100190电话：[phone]+86-10-62565522+86-10-82548198+86-10-82548998客服中心：800-810-62617951010-62565812传真：[phone]邮箱：[e-mail]网址：超高压检漏（20Pa）...........................2-42.4.4吸枪检漏...........................................2-42.5停机....................................................2-52.5.1维持备用..........................................2-62.5.2完全停机.........................................2-6第三部分维护.......................................3-13.1日常检查...............................................3-13.2真空维护与清洗.........................................3-1目录IIIKYKYZQJ-530氦质谱检漏仪3.2.1机械泵油面观测.....................................3-13.2.2更换机械泵油.......................................3-13.2.3分子泵加注润滑油...................................3-23.2.4清洗分子泵.........................................3-23.2.5清洗质谱室.........................................3-23.2.6更换离子源........................................3-103.2.7清洗组合阀........................................3-113.3仪器泄漏自检...........................................3-11第四部分常见故障及处理.............................4-1附录AZQJ-530氦质谱检漏仪的工作原理................A-1A.1质谱原理.................................................A-1A.2真空系统原理.............................................A-2A.3电子学线路的原理.........................................A-4附录B氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1B.1检漏方式................................................B-1B.2检漏方法................................................B-2B.2.1喷吹法－－确定漏孔位置..............................B-2B.2.2吸入法——确定漏孔位置..............................B-2B.2.3钟罩法——测总漏率..................................B-3B.2.4背压法——测总漏率..................................B-3附录C压强和漏率单位换算.................................C-1目录IVKYKYZQJ-530氦质谱检漏仪第一部分仪器介绍ZQJ－530型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。1.1外观尺寸仪器的外观尺寸如下：图1-1外观尺寸（带小车）第一部分仪器介绍1-1KYKYZQJ-530氦质谱检漏仪图1-2机身尺寸（不带小车）1.2仪器结构ZQJ－530型氦质谱检漏仪由真空系统、质谱室、电气系统、机架、外壳和小车五部分组成。其中，真空系统包括涡轮分子泵、机械泵和组合阀体。小车底部有四个轮子，可移动；机械泵在小车的底部，机身在小车的上部，中间通过加强管相连，分子泵、组合阀和质谱室装在架子内；分子泵电源在机架的底板上；电子部件集中在机架的前侧和右侧；检漏口朝上，位于机身的左前侧。1.2.1质谱室质谱室（图1-3、图1-4）是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁分析器、接收极、前置放大器、全离子检测极和壳体等部分。其中每个部件都有不可替代的功能。质谱室图1-3质谱室第一部分仪器介绍1-2KYKYZQJ-530氦质谱检漏仪图1-4质谱室剖面图1.2.1.1离子源离子源（图1-4、图1-5）的作用是由灯丝产生的电子轰击气体分子，再通过电场加速、聚焦形成离子束。接收极与前置放大器全离子检测极离子源图1-5质谱室中的若干部件1.2.1.2磁分析器磁分析器（图1-6）包括磁钢组件、偏转极靴、小极靴和偏心极靴。他们组成特定的磁场。对从离子源引出的带电离子进行偏转，使不同质荷比的离子分离、聚焦。第一部分仪器介绍1-3KYKYZQJ-530氦质谱检漏仪磁钢组件偏心极靴小极靴离子偏转极靴图1-6磁分析器1.2.1.3接收极与前置放大器接收极与前置放大器（图1-5）则是接收磁铁组件分离的离子，并将该离子产生的信号放大。1.2.1.4全离子检测极全离子检测极（图1-4）主要是接收质荷比较大的离子，以此判断质谱室真空度。质谱室详细的工作原理参见附录A。1.2.2真空系统真空系统的作用是获得质谱室正常工作所需真空、抽除检漏后残存在系统中的氦气以及对被检件抽真空。真空系统（图1－7）由机械泵、涡轮分子泵、组合阀及真空测量等主要部分组成。1.2.2.1机械泵采用旋