气体纯化技术

气体纯化技术技术基于：Purification基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、O2、Ar、He、和CAD）可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppb产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。对大量的特气也能纯化。PureGasTechnologies吹扫/柜式纯化器点使用式纯化器区域纯化器大型纯化器BulkGasPurificationTechnologies材料及操作原则杂质去除应用MaterialsGetters:均质金属（无支撑）：球状锆、钒、钛SupportedMetals:支撑性材料、反应金属：球状铜、镍、铂、保护性物质Zeolites：均质金属：球状、分子筛Operation纯化进程1、催化氧化2、物理吸收3、化学吸收催化氧化催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O。方法：催化器+加温+O2保护性物质+铂，300~400℃，富氧环境反应过程：2H2+O2=2H2O2CO+1O2=2CO21CH4+2O2=1CO2+2H2O催化氧化N2/ArO2COH2CH4CO2H2OH2OCO2CO2H2OPdPdOOO2PdO物理吸收分子筛优点：1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2）2、筒室温度可控3、进程在高温下完全可逆缺点：1、常量普通物理吸附N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2H2OH2OH2OCO2化学吸收支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等优点：1、金属能化学吸附O2、CO、H22、金属网格能物理吸附H2O与CO23、筒室温度可控4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O5、局部压力不会造成重大影响化学吸附——支撑性金属N2/ArCOH2H2OCO2NiNiOO2NiOONiNi化学吸收捕获器：锆、钒、钛、等优点：1、化学方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO22、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化3、相对较高的产量4、局部压力不会造成重大影响化学吸附——捕获器He/ArHZrZrOO2ZrNCZrCO2/CON2CH4热扩散表面杂质扩散至大宗气体300-4000CZrCZrNZrO氧气纯化工艺催化床吸附床物理吸附H2OH2CH4CO+O2CO2+H2OCO2PS6装配图仪表气体系统图PS6纯化器人机界面STATUS指示性的显示系统状态TIME为当前进行步骤计时TEMP&PRESSURE指示性的显示当前的压力温度FLOW当前进程气体流量数人机界面按键在任何界面下激活目录条回到主界面在任何界面下进入报警和警告界面关闭报警声提高/减低所需值在多个文档中切换人机界面操作按下后出现的界面：Restart：启动初纯化器，或者在出现报警后取消报警并重启纯化器。Details:深入显示当前系统的控制点参数。Alarms:激活报警界面，显示激活的报警，警告及信息。Events:激活历史事件表，显示最多500条历史事件。人机界面操作按下后的界面人机界面操作人机界面操作故障处理故障报警界面：按下后显示的界面。故障处理当出现故障的时候STATUS信息会从SystemOK变到闪烁的Alarm、Warning信息。ACCEPT:点击确认单个报警信息。ALL：点击确认所有报警信息。ACCEPT后的警报信息会显示为灰色未ACCEPT得警报信息会显示为红色信息代码：A表示AlarmW表示Warning气\FaultReporting.xml结束感谢大家！！！FIN！！vampirctutor