fse蒸镀机操作手册

目录目录：第一章．主画面说明．．．．．．．．．．．．．．１－１模式选择．．．．．．．．．．．．．．．１－２功能选择．．．．．．．．．．．．．．．１－３第二章．冷冻帮浦．．．．．．．．．．．．．．．２－１帮浦暖机．．．．．．．．．．．．．．．２－１帮浦再生．．．．．．．．．．．．．．．２－２预约暖机．．．．．．．．．．．．．．．２－２第三章．半自动模式．．．．．．．．．．．．．．３－１抽真空、破真空．．．．．．．．．．．．３－３腔体烘烤．．．．．．．．．．．．．．．３－４第四章．自动镀膜．．．．．．．．．．．．．．．４－１画面说明．．．．．．．．．．．．．．．４－１镀膜参数选择．．．．．．．．．．．．．４－２第五章．手动模式．．．．．．．．．．．．．．．５－１手动镀膜．．．．．．．．．．．．．．．５－３第六章．系统值设定画面说明．．．．．．．．．．６－１半自动模式选择．．．．．．．．．．．．６－１自动镀膜模式选择．．．．．．．．．．．６－２冷冻帮浦模式．．．．．．．．．．．．．６－３日期、时间设定．．．．．．．．．．．．６－４第七章．镀膜参数组画面说明．．．．．．．．．．７－１第八章．密码设定和警报讯息．．．．．．．．．．８－１密码设定．．．．．．．．．．．．．．．８－１警报讯息．．．．．．．．．．．．．．．８－３异常处理．．．．．．．．．．．．．．．８－４第九章．控制面板说明．．．．．．．．．．．．．９－１第十章．设备维护．．．．．．．．．．．．．．１０－１富临科技工程-蒸镀机操作手册安全说明1富临科技工程-蒸镀机操作手册安全警示标示说明标示说明注意高温请勿触摸注意作业人员维修前请先关闭电源，避免夹手注意高压电危险，作业人员注意安全(存在场所:高压电极导入部份与AC220V部份)注意机械危险，请将手远离机械装置注意保持通风顺畅注意高压电，维修前请先关闭电源安全说明2富临科技工程-蒸镀机操作手册所有使用者在开始操作系统之前，应该熟读本使用手册，以及内附的各项仪器手册中所提到的安全注意事项，以帮助使用者能够确实了解本系统，进而避免系统损坏或人员伤害，也才能避免不可预期的操作失误状况。安全只是阅读本手册的好处之一。除了安全外，还可避免于安装及操作本系统时发生挫折，并可学习操作诀窍，节省摸索测试的时间。安全协定本公司建议系统操作者，应该预先受过适当的制程控制原理重要安全提示1.在系统有害的区域中装置硬件和软件安全连锁、有害警告标志或各种安全保护装置以保护人员在操作或维修中受到伤害。机器使用手册提供完善的安全操作维护的必要程序与资料，此手册并包含有可能发生的可视有害状况以警告个人免受伤害。2.警告:改装此机器设备、修改或使安全连锁装置失效或没有按照建议的操作维护程序工作将造成使用人员或设备上之损害。安全说明3富临科技工程-蒸镀机操作手册3.只有受过完整训练的个人及熟悉本设备之人员可以操作或维护本设备，其余人员则严禁操作或变更本设备,否则会造成人员或设备之损伤,而造成严重的后果。4.建议至少两位训练合格的人员一起在场才可执行维修的工作，请勿一人独立工作。执行任务中一位人员必须监控控制和指示号志，另一位执行维修工作。维修中请关闭电源。当内部元件或线路暴露在外时必须小心谨慎，在维修前请尽可能的关闭电源并锁住标示。除了维修手册允许的程序，勿修改或使安全连锁装置失效。假如维修中需要打开电源，请遵循维修手册指示，一切维修工作均需合格训练的人员执行。5.蒸镀电源电子束蒸镀电源产生高达10,000伏特高电压之电源，此电源将出现在电源供应器、蒸镀源电子枪、制程腔体传输线和内部连接线等部份，操作时均须有外壳保护，请勿更改或移除任何安全连锁装置.。不然将造成电击或严重的烧伤。安全说明4富临科技工程-蒸镀机操作手册6.热源正常操作下，一些元件将产生热，操作或维修中请勿接触，否则可能导致烫伤。移动元件前请注意让其冷却到室温。z腔体内温度正常无加热下,腔体内部温度为一般常温.加热环境下:本设备于制程腔内可进行加热制程,最高温度可加热350℃,若需打开腔体作维修动作或PM时请注意腔体之温度,避免发生人员烧烫伤.△腔体外温度正常操作下腔体外部温度约可能高达80-90℃。△热元件处理如果无法确认欲处理元件的温度，请配戴手套工作。7.毒性及有害物质此系统所产生之气体可能包含各种有毒有害易燃或腐蚀气体，搬移处理时需小心谨慎。使用前请阅读化学品供应商的注意事项及物质安全资料(MSDS)。在特定情形执行维修工作时，可能需要特定保护设备，请咨询厂务安全部门。安全说明5富临科技工程-蒸镀机操作手册8.气体处理使用系统使用之气体需小心处理，使用务必遵循此说明书所列之注事项，以避免对机器设备与人员造成伤害。9.安全操作禁止将手指、手部或身体任何部位深入移动的机构内，工作人员禁止穿宽松的衣服及配戴首饰如手表戒指或手环。10.系统保护设施移动机构可能对人员造成伤害此系统设计的保护措施包含腔体上盖的安全支撑、卡匣停电锁死阀等。.11.微小伤害预防操作或维护本系统可能会受到微小伤害如刺伤、刮伤或撞伤，工作中请小心。12.高重量部品维修中如需搬运处理高重量或需加注意之部品，务必请另一位人员协助及使用规定的特殊工具。小心预防伤害人体背部或让重物压伤手或脚部。操作时务必遵照手册规定之程序。安全说明6富临科技工程-蒸镀机操作手册一般安全提示本公司强力要求遵守前述之安全规定及以下的安全提示: 禁止在通电情况下单独工作，在可视或可听到的距离内有另外的工作人员在场，此人员必须具备以下条件¾知道如何切断设备电源¾熟悉紧急处理程序、最近救护站及消防设施。 维修前必须关闭、锁定并标示任何有害源如电源、气压、机械重力。 在电流流通的环境下工作，禁止配戴戒指、手表或各种首饰于手或手臂。 在电流流通的环境下，请配戴安全眼镜禁止配戴隐形眼镜，及良好的避免感电设施。 在完成各种设定及维修工作，请务必将安全防护屏蔽安装回原来的位置。 遇任何不安全的状况，立即向主管人员报告。 遵守政府规定的废弃物处理程序，废弃物的处理必须避免水或空气污染，及人员动物或蔬菜暴露于有害物质中。 工作区禁止抽烟或进用食物。安全说明7富临科技工程-蒸镀机操作手册 小心安置电源线或线路于不受人员拉扯绊倒机会的地方，以避免受到拉扯而脱离接头。 确认紧急情况发生时，每一位工作人员均知道电源开关的地方。 操作人员禁止移动设备之外盖或面板任何零件，更换或内部调整必须由合格之维修人员执行。禁止在电源线移除前更换任何零件，在一些情况下虽然电源线已移除，但危险电压仍旧存在于系统中。为了避免受到伤害，务必在接触前关闭、锁住、标示电源，并执行放电的动作。 在无他人协助之下执行内部维护及调整的工作,务必注意安全。 禁止在未经核准授权的情况下，任意于设备中安装替代零件或对设备作任何的修改，不然将有造成额外伤害的危险。如有任何需要，请与富临科技工程客服部门联系。主画面说明富临科技工程-蒸镀机操作手册1-1-1-1-1111第一章主画面说明:操作模式选择按键跳至制程镀膜参数组设定画面跳至操作参数设定画面跳至镀膜纪录画面跳至警报视窗画面跳至密码设定画面跳至系统操作简介画面打开控制电源后，人机画面会出现如上图之主画面，画面中为设备之示意图，所有控制的阀门及泵状态在实际动作时，将会改变为红色，以提示操作者。画面下方为功能选单，除橙色部分需密码输入才可进入外，其余皆可供操作者选择进入操作，操作者也可自行设定何项功能需密码保护。参考密码设定画面。1.1.1.1.不同机型设备装置略有不同，画面将依订购规格作增修。2.本画面己包含大部份之动作要求。主画面说明富临科技工程-蒸镀机操作手册1-1-1-1-2222不同机型主画面的腔内配置图略有不同。EB+RH型EB型RH型模式选择：画面右方有操作模式选择按键可供操作者选择执行。[半自动]、[自动镀膜]、[冷冻帮浦]、[手动]，每次祗能选择其中一项，例如：[半自动]模式状态下欲切换至[自动镀膜]模式，必须先将[半自动]模式停止后，再启动[自动镀膜]模式。一 ：自动执行[腔体抽真空]、[腔体破真空]、[腔体烘烤]，三项功能。二．：自动镀膜操作模式，自动由腔体抽真空开始，到镀膜完成后结束。三．：可供操作者操作冷冻帮浦自动启动流程（暖机、预约暖机、再生）。四．：可执行各单体之操作，启动或关闭帮浦和各电磁阀。主画面说明富临科技工程-蒸镀机操作手册1-1-1-1-3333功能选择：功能钮位于主画面最下方位置，按压功能钮后将会进行功能页面；包含[镀膜参数组]、[系统设定值]、[镀膜记录表]、[警报讯息]、[密码设定]。一．镀膜参数组：设定自动镀膜时必须执行之参数。二．系统设定值：包含半自动模式和自动镀膜的设定点。三．镀膜记录表：可查询自动镀膜的资料。四．警报讯息：查询当前的异常问题，和异常的解决方式。五．密码设定：设定模式选择和镀膜参数的使用权限。画面部件说明：不同机型设备装置不同，画面将依订购规格作增修。一．机械帮浦：抽真空时作粗抽用．启动后画面变成红色二．冷冻帮浦：必须暖机完成后才可执行抽真空、加热、镀膜动作。包含：前端阀、再生阀。启动后画面变成红色三．HOLDER旋转马达：基材旋转用，马达转动同时显示转速。主画面说明富临科技工程-蒸镀机操作手册1-1-1-1-4444启动后画面变成红色四．加热器：腔体烘烤和基材加热时使用．启动后画面变成红色五．蒸镀源：E/B坩锅：坩锅位置：Thermal：六．真空阀件：包含细抽、粗抽、主阀；破真空阀（Vent）半开阀：有通入制程气体的机型才有安装。七．制程气体阀件Vf：气体前端阀。Vb：气体后阀。MFC：气体流量控制器，显示实际流量。冷冻帮浦富临科技工程-蒸镀机操作手册2-12-12-12-1第二章冷冻帮浦：当按下操作模式选择，[冷冻帮浦]按键后，主画面将出现冷冻帮浦选单画面，如下图：本功能选单有四个功能键可选择启动：[[[[冷冻帮浦暖机]]]]：启动冷冻帮浦至暖机完成。１．冷冻帮浦启动前，请先确认帮浦压缩机之冷却水流量必须充足，若未有充足之冷却水，压缩机将异常停止。（压缩机之冷却水路未装设水流量计）２．暖机动作流程：按＞＞＞＞机械帮浦启动＞＞前端阀开启＞＞冷冻帮浦真空压力达设定点（注1）＞＞前端阀关闭＞＞冷冻帮浦作300秒压力上升测试（注2）＞＞压升测试完成＞＞机械帮浦停止＞＞启动冷冻帮浦。３．若压力上升测试失败：前端阀再次开启＞＞冷冻帮浦真空设定点到达＞＞前端阀关闭＞＞冷冻帮浦作300秒压力上升测试，若再失败，则重覆作至成功为止。４．冷冻帮浦启动后，冷冻帮浦温度计将会下降，当温度低于20度K，人机画面灯亮起(红色)，表示暖机已完成。CRYOPUMP温度表冷冻帮浦富临科技工程-蒸镀机操作手册2-2-2-2-2222[[[[冷冻帮浦关机]]]]：真空腔体先抽真空后再关闭冷冻帮浦。１．执行冷冻帮浦关机动作流程：自动执行真空腔体抽真空＞＞高真空设定点到达（注3）＞＞真空腔抽真空三分钟＞＞主阀关闭＞＞冷冻帮浦停止。２．若要快速作冷冻帮浦停机，操作方法：冷冻帮浦＞＞暖机＞＞停止。[[[[冷冻帮浦再生]]]]：使用氮气执行冷冻帮浦再生。１．执行冷冻帮浦再生，必须先停止冷冻帮浦暖机；操作方法：冷冻帮浦＞＞暖机＞＞停止。２．停止冷冻帮浦后，若能使帮浦内部温度高于室温，将可达到较高之再生效果。３．执行＞＞，冷冻帮浦的N2IN阀开启，待冷冻帮浦的ATM（大气确认器）指示灯亮，N2OUT阀开启，再生时间开始计数，直至操作者设定时间到达，关闭N2IN和N2OUT阀。４．再生时间设定请至”系统参数值”画面中设定，或可参考[[[[预约暖机]]]]的图示。５．执行再生时，氮气压力由系统侧电控模板上的N2调压阀作调整。６．再生时机：A.．当高真空抽气时间变长时。B．冷冻帮浦温度回升高于20度K时。★当冷冻帮浦温度高于20度K时冷冻帮浦将OFF。[[[[预约暖机]]]]：预约冷冻帮浦启动的时间，时间范围为一周。１．操作者需先于“系统参数值＂中设定预约暖机之日期和时间。如下图，设定为周一，上午８点。冷冻帮浦富临科技工程-蒸镀机操作手册2