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理论考试试题汇总1、硅的熔点是多少?液态、固态密度各是多少?1418±2℃2.53g/cm32.33g/cm32、DSS炉运行过程中有几个正常报警,分别是哪个阶段及步骤?3meltendcentergrowthendcornergrowthend.分别为m3,g7,g8.3、H阶段跳转入M阶段的温度是多少?1500℃4、DSS炉绝缘电阻达到多少才可以运行?加热板与隔热板、加热板与顶板、加热板与炉腔电阻大于5千欧5、DSS的中文含义是什么?变压器输出的电压是多少?定向凝固系统。25v6、炉子的最大温度是多少?温度误差是多少?1575℃40℃7、DSS炉要暂停模式下,多久后会出现报警?30min8、当高温计不在原始位置,多久后会出现报警?10min9、炉子共有几路冷却水?其冷却的位置及断电极值各是多少?8路F1-F3(6.5/5)三对加热电极,F4(7/5)炉腔上部及顶盖,F5(5/4)上炉腔主要部分,F6(20/15)下炉腔上部分,F7(17.5/15)下炉腔下部分,F8(4/2)真空泵系统。10、炉子共有几个热电偶?各自的作用是什么?3个,TC1:隔热板上方温度,反馈于系统控制温度制度。TC2:测ds-block块中心温度,提供H阶段温降,当达到参数是能由C4跳至C5。TCOT:超高温报警,测炉腔温度。11、隔热笼的最大和最小开度各是多少?哪些阶段打开工关闭?38.5cm0cm打开:G1—G8,C1—C5。其余为关闭。12、断电后各阶段允许的温降是多少度?低于这个值会如何?H:5℃(TC2)M:120℃(TC1)G:50℃(TC1)A:120℃(TC1)H阶段会自动终止自动循环。M、G、A阶段会进入紧急冷却。13、氩气流量误差是多少?M、G、A阶段各设的是多少?10%。M:65%G:(G1-G5:60%,G6:30%,G7-G8:20%)A:20%14、若G7剩余30分钟仍没有中心长晶报警该怎么做?Pause至透顶完成。15、跳转至冷却结束时的温度是多少?依据的是哪个热电偶?460℃。TC216、炉子的压力误差是多少?多少压力会自动断电?气体阶段为220℃,达到900℃30S仍高于此值会断电。17、炉子共有多少个压力计?分别量程是多少?精真空计,粗真空计分别为0-1mbar0-1000mbar18、硅液溢流该如何判断真假?各如何处理?1:处于的阶段步骤,H,A,C为假报警。2:温度曲线,高温计曲线明显波动3:溢流线电阻是否在合适范围内(2.5-3.8ohm)TC2--.19、单台DSS炉断水如何处理?当出现断水红色报警时,进入ALARM视窗消警,接着返回浏览窗口记下TC1温度,接着摘下报警灯以免影响别人作业,20秒断电出现后,可记下掉电功率设定百分比:(1)如果发现有水而叶轮转动缓慢,则说明是铁屑或杂物阻塞叶轮或水道,我们可清洗叶轮或用吹风吹水道的办法处理,让水源恢复;(2)和(3)如果发现有水而叶轮转动正常,则可能为水流量计本身出了故障或水流模块故障,采用更换配件即可。如果更换水流量计时间太长的话,我们也可在控制柜里将其它正常水流信号引入过来,让水源恢复,等出炉后再更换水流量计也可;(4)可以通过手拂动水管或改主参数值即可。当水流恢复后接通电源然后进入REALVALUE:如果是P模式,输入掉电时功率百分比即可;如果是T模式(系统会自动将T转P),输入掉电时功率百分比+5~10%,等温度上升到掉电时的温度后检查REALVALUE与RECIPE有无不一样,不一样改过来即可,最后再将P转T恢复运行20、在投炉运行前操作人员应该做哪些检查?油位(1/3-2/3)加热板,加热板螺帽,电阻,溢流线,溢流棉,支撑柱,报警灯,报警器,配方,隔热笼在38cm处。21、DSS操作员在投炉、出锭、脱模过程中应做好哪些防护措施?口罩,手套,防护衣,劳保鞋,出锭时带防护眼镜。22、DSS炉冷却水进出水压差要求是多少?进水温度要求是多少?37psi以上,21-30℃本车间要求24±1℃23、DSS炉在自动运行过程中,操作员应关注哪些问题?气温水笼功率24、机械泵油位应保持在什么位置最佳?1/2处25、DSS炉在哪些情况下会自动切断加热电源?答:(1)掉电后立即触发此报警;(2)最大温度报警发生后120秒如果温度还在1575以上时,DSS炉自动断电,触发此报警!(3)最大压力报警发生后30秒如果压力还在900MBR时,DSS炉自动断电,触发此报警!(4)水流极值报警后20秒如果极值还没有解决,DSS炉便会自动断电,触发此报警!(5)进水温度报警后30秒如果温度还45度以上时,DSS自动断电,触发此报警26、DSS炉在运行过程中哪些阶段处于P控制,哪些处于T控制?H1-H11A3C1C2。MGA1A2。27、在运行完后﹙C5结束报警﹚,操作人员应该怎么做?完善运行记录,回充气体至980mbar,查看下次装炉时间决定是否关闭机械泵,等TC2小于400℃气压大于980Mbar准备出炉。28、在M或G阶段由于特殊原因进入E-COOL,该关注些什么?气压是否回充至850mbar,隔热笼是否升至8cm,水温是否正常。29、DSS炉运行中出现最大功率报警该怎么处理?消音,复位scr的sw1,若仍不稳定进行断开ps接触器再连接或断电后再进行连接。如果仍不见效,若在H阶段,TC1温度还未高于1000℃直接停炉维修。30、在抽真空时,压力一般达到多少才可以运行?0.008mbar31、DSS的正常运行需要哪些外围设施保证?CDAAr冷却水备用水电适宜的工作温度(24℃左右)32、当压力达到950mbar时打开炉腔会有异响,原因是什么?炉腔压力低于大气压太多。33、简述自动抽气时各阀门的开关秩序?V3中抽阀(100)V(20)按自动抽(5)750//200//50//0.134、V1阀自动打开的条件是什么?罗茨泵的开启条件是什么?压力达到200mbar,温度在40-65℃.压力抽至50mbar,温度在40-65℃之间且为V模式。35、炉子的最大功率是多少?运行过程中平均功率是多少?100%。-----------------------------------------------------------36、什么情况下DSS炉需要暂停处理?H11时间剩30分钟离1500℃还差加大,M3离走完30min尚未报警,G7离走完30min尚未报警,进入维护窗口,断电等温度恢复期间,温度偏差较大。37、你认为在哪些情况下会出现紧急报警?﹙请例举5种以上﹚气压大于900mbar,水流低于极限值,TC1达到最大温度设定值,发现硅业溢流,进水温度超过45℃,TCOT达到极限设定值。38、压力抽至0.5mbar后无法抽下,原因有哪些?如何处理?漏气(检查漏气部位,回充维护),真空泵出现故障(停抽维护),压力计故障(压力计调零,校正),39、DSS炉中氩气的作用是什么?CDA的作用是什么?保护加热板防止空气氧化,带走炉腔内杂质,保护硅料,均匀炉腔温度,降低硅液沸点。CDA:压缩空气开关,控制气体阀门的开关。40、DSS炉三个的报警灯的作用是什么?各代表什么含意?报警提示。绿色:炉子正常运行,黄色:警告报警,红色:紧急报警。41、隔热笼哪些阶段是打开的?为什么M段要关闭,G段要打开?GC。M阶段关闭减少散热,加快硅料熔化,G阶段打开从下部散热形成温度梯度定向长晶。42、电脑右上角红色按钮的作用是什么?什么情况下会使用?急停按钮,特殊境况需迅速停炉时应用。43、A阶段的作用是什么?温度设定是多少?均衡上下温差,祛除内应力,隐裂,位错。1370℃44、工艺中要求硅的纯度是多少?请简述硅锭的长晶原理?--------------------------------------45、简述铸锭炉区生产工艺流程?从装料区拉回装好的料,带好劳保用品,打开下炉体,检查炉子及辅助设备状况,装炉,抽真空,加热,熔化,长晶,退火,冷却,出炉称重入半成品库。46、简述熔化结束报警处理方法?高温计上升后稳定,设定功率降至40%以下,TC2明显迅速上升,到炉顶观察5min无固体出现,同意通过并记录。47、简述中心长晶结束报警处理方法?消音,记录报警时间及剩余时间,曲线稳定,TC2明显上升,----48、简述边角长晶结束报警处理方法?消音,记录报警时间及剩余时间,若料不太多走完剩余时间并记录即可!料较多时适当延时30min即可!49、简述TC1、TC2失效的处理办法?TC1:可复位:则复位,记得P./T转换,检查参数是否与配方一致。不可复位:调用以前相同配方相同重量的正常功率曲线控制,并注意压力(温度)变化。如压力升高,可能存在泄露(改造后泄露的可能性小得多)。如温度高于1575度可能会自动关闭加热器,我们可以拔掉TC1运行。如曲线不同步时可先重新调用新的相同配方相同重量正常的功率曲线,若还不行可往下跳一步试试,如再不行我们可以重启LCM4TC2:能复位进行复位操作,不能则拔掉TC2,多注意F7水温,再C4阶段到达设定跳转温度时不会自动进行跳转,可手动进行跳步到C5以减短周期!50、请画出DSS炉正常运行情况中的功率曲线图?51、为什么要每天提前十五分钟上班,起到什么作用?了解炉子运行状况,方便当天工作!52、作为一名合格的DSS炉操作人员,应该具备哪些条件?请给自己的能力水平打出一个分数?﹙合格为60分﹚
本文标题:铸锭炉区理论试题汇总
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