总产品型录

總產品型錄光學尺長度規角度編碼器旋轉編碼器輪廓控制器3-D接觸式探針數值顯示器2008年十月DR.JOHANNESHEIDENHAINGmbH研發並製造線性與角度編碼器、旋轉編碼器、數值顯示器以及數值控制，海德漢供應其產品給工具機製造商以及自動加工與系統的製造商，尤其是半導體與電子製造業。海德漢足跡遍佈49個國家—大多數都為獨資的子公司。業務工程師與服務技師可現場提供技術資訊與服務給使用者。這本總產品型錄讓您對海德漢產品程式有簡略的瞭解。您可在特定產品文件中(請參閱第52頁)或網址為的網際網路上找到更多產品與進一步資訊，我們的業務人員將竭誠為您服務。有關地址與電話號碼，請參閱第54頁。目錄原理與製程4精準的刻度—高精確度長度量測的基礎5長度量測6密封型光學尺開放型光學尺長度規角度量測20角度編碼器旋轉編碼器工具機控制36銑床與加工中心機的輪廓控制器程式編輯站刀具和工件設定與量測44刀具接觸式探針工件接觸式探針測量值獲取與顯示46位置顯示單元介面轉換器有關更多資訊52服務與支援544原理與製程高品質的海德漢產品依賴於特殊生產設施以及量測設備。大量生產的光罩母片與光罩子片都在無塵室內使用穩定溫度以及隔絕震動的特殊措施來產生。海德漢大量研發與生產用於製造與量測直線與圓形刻度所需之複製機器。我們在直線與角度度量衡方面的能力廣為大多數解決方案使用者所肯定，在安裝啟用設備中，包含專為標準實驗室研發與生產的量測與檢驗裝置，以及望遠鏡計畫和衛星接收天線的角度編碼器。而標準海德漢產品計畫內的產品當然得利於所獲得的知識。直線光學尺的量測機直線光學尺檢驗台角度比對儀，量測解析度大約0.001超大型望遠鏡(VLT)，智利Paranal(歐洲南方天文台拍攝)5精準的刻度—高精確度長度量測的基礎海德漢編碼器的心臟為其量測標準，通常為一般線寬0.25µm至10µm的方格形式。這些精準的刻度利用海德漢所發明製程來量測(例如DIADUR或AURODUR)，並且是編碼器製程與精確度中的決定因素。刻度由位於預定間距上偏差非常小的線與間隔所構成，形成邊界非常清晰的結構。這些刻度非常耐機械磨損與化學侵蝕影響，也非常耐震，同時具有預定的熱行為。大約0.25µm蝕刻高度的相位蝕刻DIADURDIADUR精準刻度由載體(通常是玻璃或玻璃陶瓷)上極薄的鉻層所構成。刻度結構的精確度位於微米與次微米(奈米)範圍內。AURODURAURODUR刻度由高反射率金線以及去光蝕刻間隙所構成，AURODUR刻度通常位於鋼質載體上。METALLUR因其特殊的黃金反射層結構，METALLUR刻度顯現類似平面結構。尤其對於光學尺污染的容忍度非常高。相位蝕刻特殊量測製程使其可產生三維刻度結構，展現出特殊光學特性。結構寬度位於幾微米至四分之一微米的範圍內。SUPRADUR運用SUPRADUR製程製作的刻度在光學上作用起來像是三維相位蝕刻，但是其具有平面結構，因此對污染物特別不敏感。MAGNODUR微米厚度內的薄磁化層構成非常精確的磁性刻度。DIADUR與AURODUR刻度在許多載體材質上。6長度量測密封型光學尺具備標準型外殼• –適用於高振動額定–適用於量測最長三十米薄型外殼• –適用於有限的安裝空間–量測長度最長1240mm，有安裝背板，量測長度最長2040mm海德漢密封型光學尺的鋁製外殼可保護光學尺、讀頭及其軌道，避免遭受碎片、灰塵和流體侵害，往下的彈性膠片將外殼密封起來。讀頭在光學尺單元內的低摩擦導軌內移動，其利用連接裝置連接至外部固定塊，用於補正光學尺與機械軌道之間無可避免的失準。讀頭DIADUR光學尺光源密封膠片固定塊電子掃描開放型光學尺海德漢開放型光學尺於操作上在掃描頭與光學尺或光學尺帶之間並無機械接觸。這些編碼器的應用範圍包含直線度量衡當中的量測機、比對儀以及其他精準裝置，還有生產與量測設備，例如在半導體工業當中之設備。精確等級±0.5µm以上• 量測解析度小至0.001µm• (1nm)量測長度至30m• 掃描頭與光學尺之間無摩擦• 尺寸小並且重量輕• 高移動速度• 密封型光學尺海德漢密封型光學尺可免受灰塵、碎片以及噴濺的流體之侵害，最適合用在工具機上。精確等級細至±2µm• 量測解析度小至0.005µm• (5nm)量測長度至30m• 固定簡單迅速• 固定公差大• 高加速負載容量• 保護避免污染• 7長度規海德漢長度規具備推進器使用的整合式軌道。在工業測量當中使用該規來監視量測設備，並也當成位置編碼器。精確等級細至±0.1µm• 量測解析度小至0.005µm• (5nm)量測長度至100mm• 高量測精確度• 可搭配自動推進器驅動器• 簡單固定• 在使用增量式光學尺時，利用從原點開始計算量測解析度，或利用細分並計算信號週期，來決定目前位置。海德漢增量式編碼器具備參考點，此標記必須在開機之後掃描來建立原點。此製程運用距離編碼的參考點時尤其簡單並且迅速，在移動不超過20mm(LS,LF)或80mm(LB)之後，顯示值相對於最後定義的原點。在海德漢絕對式光學尺並不需要事先移動來提供目前的位置值。編碼器透過EnDat介面或其他序列介面傳送絕對值。量測解析度表內所列的建議量測解析度主要為位置量測，經由較高的分割倍率而得到更小的量測解析度，在轉速控制應用當中非常有用，例如:直接驅動的線性馬達。密封型光學尺系列頁碼具備標準型外殼絕對式位置量測增量式位置量測重複精度非常高通常用於手動加工機大量測長度LC100LS100LF100LS600LB3008具備薄型外殼絕對式位置量測增量式位置量測重複精度非常高通常用於手動加工機LC400LS400LF400LS30010開放型光學尺精確等級優於±1µm雙座標編碼器精確等級至±3µmLIP,LIFPPLIDA121314長度規精確度±0.1µm精確度±0.2µm精確度±0.5µm精確度±1µmHEIDENHAIN-CERTOHEIDENHAIN-METROHEIDENHAIN-METROHEIDENHAIN-SPECTO161718198LC、LF、LS、LB密封型光學尺具備標準型外殼具備標準型外殼的光學尺特別能夠容忍劇烈震動。LC100絕對式光學尺系列並不需事先移動就可提供絕對位置值，也可提供增量式信號。其可固定至和LS100系列的增量式光學尺相同之裝配尺寸上，並且具備相同的機械設計。而因為其高精確度和已定義的熱行為，LC100和LS100系列光學尺特別適用於數值控制工具機上。LF類型的增量式編碼器具備相當細微柵格週期的量測標準，這讓其特別適用於需要非常高重複精度的應用。LS600系列增量式光學尺用於簡單定位作業，例如:在手動工具機上。LB類型增量式光學尺可以進行長達30公尺的量測。其量測標準—具有AURODUR刻度的鋼帶—為單一件，並且在已經固定外殼部分之後拉入外殼內、拉至預定張力並將兩端固定至工具機鑄件。LF183重複精度非常高• 熱行為類似於鋼或鑄件• 高震動率• 兩種安裝方式• 單場掃描• LC100系列絕對位置量測• 已定義的熱行為• 高震動率• 兩種安裝方式• 單場掃描• LS187增量式位置量測• 已定義的熱行為• 高震動率• 兩種安裝方式• 單場掃描• LS600系列通常用於手動工具機• 簡單安裝• LB382適用於長達• 30公尺的量測長度已定義的熱行為• 高震動率• 兩種安裝方式• 單場掃描• 9絕對式增量式LC183LC193F/MLF183LS187LS177LS688CLS628CLB382量測標準DIADUR玻璃光學尺鋼材上的DIADUR相位蝕刻DIADUR玻璃光學尺DIADUR玻璃光學尺AURODUR鋼質光學尺帶增量式信號LC183的選配»1VPPLS187:»1VPPLS177:«TTLLS688C:»1VPPLS628C:«TTL»1VPP信號週期20µm4µm20µmLS177:4µm/2µm20µm40µm絕對式位置值EnDat2.2–Fanuc/Mitsubishi精度等級±5µm,±3µm±3µm,±2µm±5µm,±3µm±10µm±5µm推薦的量測解析度0.05至0.005µm1)1至0.1µm1至0.1µmLS688C:至1µmLS628C:5µm10至0.1µm量測長度(ML)140至4240mm(±3µm至3040mm)140至3040mm170至3040mm440至30040mm參考點–單一或距離編碼；LS6xxC:距離編碼1)絕對式位置值10LC、LF、LS密封型光學尺具備薄型外殼具備薄型外殼的密封型光學尺主要用於安裝空間受限之處。LC400絕對式光學尺系列並不需事先移動就可提供絕對位置值，也可提供增量式信號。類似於LS400系列增量式光學尺，其高精確度以及已定義的熱行為讓其特別適用於數值控制工具機。LF類型的增量式編碼器具備相當細微柵格週期的量測標準，這讓其特別適用於需要非常高重複精度的應用。LS300系列增量式光學尺用於簡單定位作業，例如在手動工具機上。使用安裝背板簡單安裝當固定薄型光學尺時，使用安裝背板會非常方便，其零件可固定當成加工組裝製程的一部分。然後在最後固定時簡單夾住光學尺。容易更換也可幫助維修。LF481重複精度非常高• 熱行為類似於鋼或鑄件• 單場掃描• LC400系列絕對位置量測• 已定義的熱行為• 單場掃描• LS487增量式位置量測• 已定義的熱行為• 單場掃描• LS300系列通常用於手動工具機• 夾持彈簧光學尺外殼讀頭安裝背板承靠������������������������������������������������������11絕對式增量式LC483LC493F/MLF481LS487LS477LS388CLS328C量測標準DIADUR玻璃光學尺DIADUR相位蝕刻於鋼材上DIADUR玻璃光學尺DIADUR玻璃光學尺增量式信號LC483的選配»1VPPLS487:»1VPPLS477:«TTLLS388C:»1VPPLS328C:«TTL信號週期20µm4µm20µmLS477:4µm/2µm20µm絕對式位置值EnDat2.2–Fanuc/Mitsubishi精度等級±5µm,±3µm±3µm,±2µm±10µm推薦的量測解析度0.05至0.005µm1)1至0.1µm1至0.1µmLS388C:至1µmLS328C:5µm量測長度(ML)70至2040mm2)50至1220mm70至2040mm2)70至1240mm參考點–單一或距離編碼距離編碼1)絕對式位置值2)只有使用安裝背板或張緊元件才會超過ML1240mm12LIP,LIF開放型光學尺精確等級優於±3µmLIP與LIF類型開放型光學尺之特徵在於小量測解析度加上高精確度。量測標準為套用至載體玻璃或玻璃陶瓷載體的相位蝕刻。LIP與LIF光學尺常用於：量測機與比對儀• 量測顯微鏡• 超精準工具機像是光學零件的鑽• 石車床、磁性儲存碟片的表面車床以及氧化磁鐵零件的磨床半導體工業內的量測與生產設備• 電子工業內的量測與生產設備• LIP300系列解析度非常高• ，量測解析度小至1奈米在極細信號週期之中重複精度非常• 高由於Zerodur• ®玻璃陶瓷上的量測標準定義熱行為。LIP400系列小尺寸• 量測解析度小至0.005µm• 光學尺可具有不同的熱膨脹係數• LIP500系列量測長度至1440mm• 量測解析度小至0.05µm• ML=70mm增量式LIP382LIP372LIP481LIP471LIP581LIP571LIF481LIF471量測標準熱膨脹係數玻璃上的DIADUR相位蝕刻Þtherm0×10–6K–1DIADUR相位蝕刻於玻璃或Zerodur®玻璃陶瓷Þtherm8×10–6K–1(玻璃)Þtherm(0±0.1)×10–6K–1(Zerodur)DIADUR相位蝕刻於玻璃Þtherm8×10–6K–1SUPRADUR相位蝕刻於玻璃Þtherm8×10–6K–1增量式信號LIP382：»1VPPLIP372:«TTLLIP4