E84 握手流程(中文版)

弊番号OURNo.CGR6-1302△11/19E84PI/OINTERFACE概要解説書中文版配布先-COPY計-SUM承認-APP調査-CHK作成-DRAWN神鋼電機株式会社SHINKOELECTRICCO.,LTD.JAPANCGR6-1302△12/19変更来歴Rev日付内容承認作成000.11.2初版藤原SSG佐野TranslatedbyDonLee/ASTW/TrainingCenter2007/01/20CGR6-1302△13/19目次1背景・目的..............................................................................42E84とE23之不同點......................................................................43限制....................................................................................44機器構成................................................................................45用語說明................................................................................56控制信號之種類..........................................................................67InterlockTimeout..........................................................................88通信程序................................................................................98.1裝載移載............................................................................98.2卸載移載...........................................................................119異常檢測...............................................................................129.1移載動作開始前之異常...............................................................129.2移載動作中之異常...................................................................139.3異常移載動作後之異常...............................................................149.4GO信號⇒OFF變化...................................................................159.5異常之復舊.........................................................................1510注意事項...............................................................................1511Connector及各信號之分配.................................................................1612電路圖・SensorUnit尺寸.................................................................18CGR6-1302△14/191背景・目的半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統（AMHS）的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV（台車）藉由使用PhotoI/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規格的通信控制。SEMI規格中、雖定義E23作為上述PhotoI/O通信規格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規格之概要。又，本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。2E84とE23之不同點追加/變更於E84之項目如下。・連續HandoffSequence・同時HandoffSequence・追加HO_AVBL信號、ES信號・Timer之規定・改訂Connectorpin之分配3限制本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。・連續Handoff/同時HandoffSequence・使用於連續Handoff之Timer4機器構成圖4.1顯示本規格之E84I/OInterface的適用例。図4.1E84I/O介面例AMHS控制裝置主機OHVAGV/RGV半導體製造裝置（側面）E84I/O介面載體LoadPort※I/O裝置※E84中並無規定Device種類･安裝位置※I/O裝置CGR6-1302△15/195用語説明表5.1顯示本書使用之用語。表5.1用語説明用語解説Active裝置具備移載機構之裝置。［遵循SEMIE23規格］（OHT系統中、OHV屬於Active裝置。）Passive裝置藉由Active裝置來進行移載之裝置。[遵循SEMIE23規格]Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。AMHS裝置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。RGV:RailGuidedVehicles/AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransportsなど。AutoAccessModeAMHS裝置以自動方式進行Handoff之模式。ManualAccessModeOperator以手動方式進行Handoff之模式。載體卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。[遵循SEMIE1.9規格]Handoff表示藉由Active裝置對Passive裝置進行裝載及卸載之移載動作。本書中、係與『裝載/卸載移載』同義。Handoff干涉區域Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。Handoff･Interlock異常Handoff中Passive裝置檢測到異常之狀態。Active裝置之載體與Passive裝置之載體、有可能在Handoff干涉區域衝突衝突。無法Handoff利用狀態Passive裝置無法進行Handoff之狀態。Loadport加工裝置/Stocker等之InterfacePort。[遵循SEMIE15規格]Load從Active裝置往Passive裝置之卸載移載。Unload從Passive裝置往Active裝置之裝載移載。CGR6-1302△16/196控制信號之種類使用於E84通信之各信號的種類如表6.1所示。關於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。表6.1信號之名稱及功用信號名稱通信方向信號之說明CS_0(=CarrierStage0)A⇒P指定使用於載體Handoff之Loadport。ON：使用於載體Handoff。OFF：不使用。CS_1(=CarrierStage1)A⇒P指定使用於載體Handoff之Loadport。ON：使用於載體Handoff。OFF：不使用。※OHT系統中、由於各Loadport設置有PhotoI/O（1PhotoI/O／1LoadPort）、因此不使用本信號。VALID(=Indicatesthatthesignaltransitionisactiveandselected.)可以通信A⇒P表示Active裝置⇔Passive裝置間之通信為有效。ON：通信為有效。OFF：通信為無效。Active裝置在使本信號ON之前、需以CS_0信號或CS_1信號（或兩者）來指定移載對象之Loadport。※OHT系統中、僅使用CS_0L_REQ(=LoadRequest)要求裝載P⇒A表示Loadport被指定為載體之裝載（Active裝置之卸載）。ON：Loadport被指定為載體之裝載OFF：Loadport未被指定為載體之裝載。由Active裝置以CS_0信號指定Loadport、當VALID=ON時、Passive裝置使本信號ON。當Passive裝置確認到載體被放置到正確位置之後、即將本信號OFF。U_REQ(=UnloadRequest)要求卸載P⇒A表示Loadport被指定為載體之卸載（Active裝置之裝載）。ON：Loadport被指定為載體之卸載OFF：Loadport未被指定為載體之卸載。由Active裝置以CS_0信號指定Loadport、當VALID=ON時、Passive裝置即將本信號ON。Passive裝置在載體被完全取走後、即將本信號OFF。TR_REQ(=TransferRequest)要求HandoffA⇒P對Passive裝置要求Handoff。ON：已提出Handoff要求。OFF：未已提出Handoff要求。當BUSY信號OFF時、本信號亦OFF。READY(=ReadyforTransfer)準備HandoffP⇒A表示Passive裝置、已從Active裝置收到TR_REQ信號。ON：Passive裝置已做好Handoff之準備。OFF：Passive裝置尚未做好Handoff之準備。當確認到Active裝置之TR_REQ=ON後、Passive裝置即將本信號ON。當確認到Handoff結束且Active裝置之COMPT=ON後、Passive裝置即將本信號OFF。CGR6-1302△17/19BUSY(=BusyforTransfer)Handoff進行中A⇒P表示Active裝置、正進行Handoff中。ON：正進行Handoff中。OFF：非進行Handoff中。Passive裝置在READY=ON狀態、可開始進行Handoff時、Active裝置將使本信號ON。Handoff中Passive裝置不可進行任何物理性動作。當Passive裝置將L_REQ（或U_REQ）信號OFF、結束Handoff時、Active裝置即將本信號OFF。（此時、把持裝置需退出至干涉區域之外）COMPT(=CompleteTransfer)Handoff結束A⇒P表示Active裝置已結束Handoff操作。ON：已結束Handoff。OFF：尚未結束Handoff。當結束Handoff操作時（Active裝置將BUSY信號OFF）、Active裝置即將本信號ON。Passive裝置在確認到READY=OFF後、Active裝置即將本信號OFF。CONT(=ContinuousHandoff)連續HandoffA⇒P表示有連續Handoff。ON：表示連續Handoff持續中。OFF：無連續Handoff。當有連續Ha