七星电子流量计CS200产品使用手册(E,G)(su)

REV.2.3CS系列200-E,G型气体质量流量控制器/质量流量计使用手册2012.07目录第一部分产品说明3.2控制方式..............................................161.1声明...................................................13.3调零......................................................161.2使用须知............................................23.4软启动..................................................171.3安全注意事项....................................23.5延迟......................................................171.4概述...................................................33.6阀控制..................................................171.5技术指标...........................................43.7阀类型..................................................171.6标定...................................................53.8多气体多量程......................................171.6.1标准状况........................................53.9累积流量..............................................181.6.2制造环境........................................53.10报警....................................................181.6.3精度调节........................................53.11LED指示灯........................................18第二部分安装第四部分维护2.1概述...................................................64.1概述......................................................192.2打开包装...........................................64.2注意事项..............................................192.3机械安装...........................................64.2.1介质使用要求....................................192.3.1概述................................................64.2.2阀口密封问题...................................192.3.2安装................................................10第五部分故障诊断2.3.2.11/4″VCR接头安装方法............105.1初步检查..............................................192.3.2.2双卡套接头的安装方法.............115.2故障检查..............................................192.4电气安装...........................................11第六部分保证和服务2.4.1概述................................................116.1七星电子有限保证..............................212.4.2连接................................................126.2产品保证..............................................212.4.3电缆线选型表以及连接示例........136.3服务......................................................222.5工作检查...........................................166.4免责声明..............................................22第三部分功能介绍附录Ⅰ.........................................................233.1概述...................................................16附录Ⅱ.........................................................26MASSFLOWCONTROLLER&MASSFLOWMETER第1页共27页气体质量流量控制器和质量流量计使用手册第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。如无七星电子的书面许可，不得部分或全部影印本使用手册。本手册已经严格审校，但不保证手册中不含错误与遗漏，出版商不承担任何由于错误或遗漏的责任，亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任。北京七星华创电子股份有限公司第2页共27页1.2使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的CS系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。1.3安全注意事项下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司不予承担。a）请勿替换产品零部件或者改动产品不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或维修的时候必须保证安全标签完好无损。b）请联络专业工作人员为您服务使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服务。c）使用危险气体时请特别注意如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿，须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。d）吹洗仪器时特别注意在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道内剩余气体的残渣。e）请遵照合适的步骤吹洗产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。f）请勿在爆炸性环境下使用本产品为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证。g）请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。h）请检查产品接头处是否漏气请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。第3页共27页i）请使产品在安全入口压力下工作请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力（请参阅产品说明书中的最大工作压力）j）请使整个系统远离污染系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻璃碎片或者铁屑等。k）请预热仪器后再使用请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用绝对关闭的阀以确保在预热过程中不会有错误的流量通过。1.4概述质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延炉、扩散、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。CS200-E,G型MFC/MFM是北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0～10V模拟信号，4～20mA模拟信号，可以使用双电源（±8～±16VDC）或单电源（+14～+28VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件DigitalMFC。CS200-E,GMFC默认配置为：MAC地址：32；RS485通信波特率:19200；控制方式：0～10V电压控制。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS系列MFC通讯协议”。第4页共27页1.5技术指标CS200型号CS200ECS200G24V截止阀无有阀类型常闭阀,常开阀(流量规格≤30SLM)流量规格(N2)(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30，50)SLM准确度±1.0%S.P.(≥35%F.S.)±0.35%F.S.(＜35%F.S.)线性±0.5%F.S.重复精度±0.2%F.S.响应时间≤1sec工作压差范围0.05～0.35MPa流量规格≤10SLM0.1～0.35MPa10SLM＜流量规格≤30SLM0.2～0.45MPa30SLM＜流量规格≤50SLM温度系数零点:≤±0.05%F.S/℃；调节时:≤±0.1%F.S/℃流量规格≤30SLM；调节时:≤±0.2%F.S/℃流量规格＞30SLM耐压3MPa1MPa漏率1×10-10Pa·m3/secHe密封材料氟橡胶；氯丁橡胶氟橡胶工作环境温度（5～45）℃输入信号数字:RS485模拟:(0～10)VDC输出信号数字:RS485模拟:(0～10)VDC零漂在没有零点校正时＜0.6%F.S/年电源±8～±16VDC(双极)或+14～+28VDC(单极)±8～±16VDC(双极)或+14～+28VDC(单极)，24VDC表面化学成分常态表面粗糙度25Ra标准接头形式双卡套φ10mm；双卡套φ6；双卡套1/4´´；双卡套3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；双卡套1/8´´；VCO1/4;电源接头形式D型9针阳接头；D型15针阳接头重量1Kg1.2Kg第5页共27页注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)标准状态规定为:温度——273.15K(0℃);气压——101325Pa(760mmHg)F.S.(FullScale):满量程值；S.P.(SetPiont)：设定点值1.6标定CS200-E,GMFC/MFM可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，则按照标准状况标定。1