硅太阳能电池生产线废水处理及回用工艺浅析

SOUTHWESTWATER&WASTEWATERVol.33No.420111，，、，。、，。。2、KOH、IPA、、HF、HCl、H2SO4，IPA、。：：。：HNO3、HF、H2SO4，。：。、PSG：HF，PN。PSG。(PECVD)：PECVD。：。1（，214071），，，。IPA1HF15ppmHNO3，KOH,IPA100ppm4，179HF20ppm1000ppm5，615IPA15%200ppm251HNO3，HCl1%20%13.5(l/hr)HF(l/hr)IPA(l/hr)(l/hr)HF，HNO3HCl1%20%100HF(l/hr)(l/hr)KOH5%30%10!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!12，PSGHF、HNO3、KOH、、KOH、HCl、H2SO4PECVD、HFHF25··SOUTHWESTWATER&WASTEWATERVol.33No.42011：，。、、：，。1。PSG、HF。，，：，。3，、。2。，。，IPA。3.1。，，。10~20mg/L。，、、、，，，，。、。、、、，Ca(OH)2，，。25℃，CaF216.5mg/L，F－8.03mg/L。CaF2，10mg/L。Ca(OH)22（、）NaOHCa(OH)2CaCl2Ca(OH)2pHpHROpHpHCa(OH)2pHpHpHpHDOpHpHCa(OH)2CaCl2Ca(OH)2CaCl226··SOUTHWESTWATER&WASTEWATERVol.33No.42011，，10mg/L。pH、、，。NaOHpH，CaCl2，NaOHpH，，。+。Ca(OH)2，CaCl2。Ca(OH)2pH，pH8.0～8.5[1]，，CaCl2，2～3。，。，。、、，。，，。CaF2，，，，、,。，。3.2IPAIPAIPA。（IPA）。BOD5/CODCr0.6，COD。IPA25000mg/L，COD50000mg/L。IPAIPA1000mg/L，COD3000mg/L。，COD5000mg/L。IPA，。[2]、、，17～20℃，，98.5%，0.5%，82.2%，。，。IPAIPA，IPA，IPA，。IPA，，。BOD5／COD0.40，COD3000mg／L，。[3]，BOD5／COD0.50，COD2000～3000mg／L，-，COD90%，BOD595%。IPA。，（UASB）；、，，，，IPACOD70%，IPA。，[4]。，，。，IPA，，，，，，，，。3~5。3.3、、、；、，，。，，、、27··SOUTHWESTWATER&WASTEWATERVol.33No.42011。，3-2。、，pH，。。。pH2～3，，NaOHCa(OH)2pH7～8，Cr(OH)3，，Cr(OH)3。，NaOHCa(OH)2pH7～8，Cr(OH)3，Cr(OH)3。。。PAC、PFC，，。，[5]。3.4IPA、HF、HCl、NaOH。≤800mg/L，COD≤1000mg/L，，，。3.5，IPA，，，，，，，。。()、。，JR，，，，。，，，。70％～75％，，。，、、RO，70％。，。75％，75％×70％＝52.5％，，50％，。：→→→→→→→→→→→。4：（1），，。（2），3H2SO4NaHSO3NaOHpH1pH228··SOUTHWESTWATER&WASTEWATERVol.33No.42011，，。，，。（3），，，，。（4），。，，。，，、，，，，。5，。，。1,,..[J].2008，24（6）：28~30.2,..[J].2009，48（6）:422-423.3,,.[J]..2000,20（6）：3~6.4,.[J]..200935（4）：116~119.5,,..[J].2004,37（9）：42-43.—————————————△：214017730：13771118293E－mail：[e-mail]△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△△0（），，700（1000）。，1995，1。190，（，065000），、、，；，（）、、。，++，，。＋（）29··