赛迪智库国内外半导体设备产业发展情况报告2019519页

国内外半导体设备产业发展情况报告（简版）中国电子信息产业发展研究院赛迪智库集成电路产业研究所2019年5月前言半导体设备是包括集成电路、新型显示、太阳能光伏、发光二极管产业在内的泛半导体产业的基础，对产业发展起到极大的支撑和引领作用。近年来，在电子信息产业蓬勃发展带动下，我国泛半导体产业发展迅速，多个领域生产规模已经位居全球首位。但国产半导体设备与国外先进水平相比仍有差距，与产业国际领先地位极不相称。此前曾有多个机构或研究人员对半导体设备产业进行过梳理，但大多只局限于某个领域。为全面梳理我国半导体设备产业发展情况，赛迪智库集成电路所充分发挥在集成电路、新型显示、太阳能光伏、LED等领域的研究优势，组织研究人员撰写了《国内外半导体设备产业发展情况报告》。该报告全面介绍了全球半导体设备行业的发展情况，在梳理各个环节主要设备基础上，分别从生产规模、设备进出口、产业发展格局、重点设备等维度介绍了集成电路、新型显示、光伏、LED四大半导体产业领域的设备行业发展情况。最后总结了我国半导体设备存在的主要问题，提出相关对策建议。此文为该报告的简版，若需要完整版报告，请与赛迪智库集成电路产业研究所联系索取。（江华010-68200513/13661246091）赛迪智库集成电路产业研究所2019年5月1一、全球半导体装备行业发展情况（一）产业概况半导体行业是以半导体为基础发展起来的产业，包括集成电路、新型显示、LED、光伏等。而半导体设备是指生产半导体相关产品的专用设备。本报告重点介绍集成电路、新型显示、光伏、LED四类产业所需关键设备的发展情况。2018年，全球半导体设备行业产值达到1007亿美元。其中集成电路设备产值649亿美元，新型显示设备产值280亿美元，光伏设备产值48亿美元，LED设备产值30亿美元。2018年全球前十大半导体设备厂商如下表所示。表12018年全球前十大半导体设备厂商序号国家企业收入（亿美元）研发投入（亿美元）员工人数毛利率1美国应用材料172.520.22100045.3%2荷兰阿斯麦124.017.82324746.0%3日本东京电子117.48.91194642.0%4美国泛林半导体108.712.11095046.3%5日本爱德万测试44.73.1450032.1%6美国科天40.46.1655064.0%7日本斯科半导体33.22.1609927.6%8新加坡先进太平洋科技24.92.11630038.0%9美国泰瑞达213.0490058.1%10日本日立高科14--29594126.5%合计700.976.740143342.6%（平均值）注：*以上收入均为半导体设备业务销售收入，并为自然年收入*按1欧元=1.13美元，1日元=0.009121美元计算*因为无法区分，日立高科和爱德万研发投入和人员为集团2017财年（截至2018年3月）数据数据来源：企业财报，赛迪智库整理，2019.422018年，我国半导体设备行业产值达到344亿元。其中集成电路设备产值56亿元，新型显示设备产值80亿元，光伏设备产值160亿元，LED设备产值48亿元。2018年我国前十大半导体设备厂商如下表所示。图1我国半导体装备产值情况数据来源：赛迪智库集成电路所2019.5表22018年我国前十大半导体设备厂商序号企业2018年收入（亿元）1北方华创25.22晶盛机电22.23欣奕华16.74屹唐半导体16.65中微半导体16.46中电装备15.07捷佳伟创14.98武汉精测13.99大族激光19.010迈为股份7.91统计的其新型显示及半导体设备收入集成电路,16.3%新型显示,23.3%光伏,46.5%LED,14.0%3序号企业2018年收入（亿元）合计157.8数据来源：企业财报，赛迪智库整理，2019.4（二）全球半导体设备贸易表32018年全球主要地区半导体设备及零配件进出口情况国家/地区出口额（亿美元）进口额（亿美元）日本245.663.2中国大陆25.1307.7韩国86.6169.0中国台湾31.3116.9美国182.383.3欧洲46.424.7数据统计：各国海关2019.5二、集成电路设备行业发展情况介绍（一）全球集成电路设备行业发展概述1、产业规模2018年，伴随行业景气度的延续，全球集成电路设备投资金额持续上涨，SEMI数据显示，2018年全球半导体设备市场规模达到649亿美元，其中全球晶圆加工设备市场销售额增长15%，而其他前端设备（包括掩模/掩模版制造，晶圆制造和晶圆厂设备）销售额增长9%，封装设备销售额增长2%，总的测试设备销售额增长了20%。4图2全球半导体设备投资额变化趋势数据来源：SEMI，2019.032、竞争格局全球集成电路设备头部企业经过多年自身发展和对外并购，已经在所在领域占据主导地位。全球前10大半导体设备厂商总市场占有率超过80%，呈现典型的寡头垄断。其中沉积设备前三大厂商市占率超过75%，刻蚀设备前三大企业占领了市场超92%的市场份额，退火设备市场前三大企业市占率达到94%，CMP抛光机市场基本被应用材料、Ebara占据，高端光刻机市场ASML一家独大。（二）我国集成电路设备行业发展概述1、产业规模2018年，我国集成电路设备市场规模达到131.1亿美元，同比增长59.3%，我国成为全球第二大集成电路设备市场，仅次于韩国。43436931837436041056064910%-15%-14%18%-4%14%37%16%-20%-10%0%10%20%30%40%010020030040050060070020112012201320142015201620172018投资额（亿美元）YoY5图3中国半导体设备市场规模趋势数据来源：SEMI，2019.4目前，虽然我国有不少企业从事半导体设备的开发和生产工作，但真正在集成电路领域形成销售并且有一定竞争力的企业并不多，半导体设备企业大部分收入还主要来自于泛半导体领域，我国集成电路设备进口依赖问题仍然较为突出。2018年内资控股品牌集成电路设备销售额约为56亿元人民币，其中国产产品销售额约38亿元人民币，国产产品国内市场自给率仅为5%左右，全球市场占有率约1%。刻蚀机产品已成为我国实现关键集成电路设备突破的“尖刀”，技术能力达到国际先进水平，中微半导体、北方华创等企业刻蚀机产品全球市场占有率约为1%。近几年发生的海外并购对我国集成电路设备行业发展起到了积极作用，使得我国设备厂商在清洗设备、热处理设备等领域取得较大突破，其中重要的海外并购有屹唐半导体收购Mattson、北方华创收购Akrion等。36.52533.743.74964.682.3131.15%-30%31%28%10%28%15%59%-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%02040608010012014020112012201320142015201620172018投资额（亿美元）YoY6表42018年我国前十大集成电路设备厂商排名公司名称营业收入（亿元）1屹唐半导体16.62北方华创7.03中微半导体5.74盛美半导体4.95至纯科技4.46中电装备3.27长川科技2.28芯源微2.19沈阳拓荆1.010华海清科0.7合计47.8数据来源：赛迪智库整理，2019.42、产业格局我国集成电路设备企业分布较为集中。北京、上海作为我国科研基础最好、人才聚集最丰富的地区，是我国集成电路设备企业分布最集中的地区，汇聚了光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备产能。辽宁省作为我国老工业基地，依托工业基础，在外延设备、沉积设备等产品领域具有布局，形成以沈阳为中心的集成电路设备业区域集聚。表5我国主要设备厂商区域分布情况省市重点企业主要产品北京北方华创刻蚀设备、PVD设备、氧化/退火设备、沉积设备、清洗设备、外延设备屹唐半导体退火设备、干法去胶设备、刻蚀设备中科信离子注入设备中电科减薄机、晶圆切割机、倒装键合机华峰测控测试机上海中微半导体刻蚀设备、沉积设备上海微装光刻机、光学薄膜测量设备、圆片键合机7省市重点企业主要产品盛美半导体清洗设备至纯科技清洗设备睿励科学仪器光学薄膜测量设备、光学关键尺寸测量设备、光学图像测量设备中晟光电沉积设备辽宁沈阳科仪外延设备沈阳拓荆沉积设备芯源微匀胶显影设备、湿法去胶设备佳峰股份装片机江苏艾科瑞思装片机苏州美图键合机天津华海清科CMP抛光设备浙江长川科技测试机、分选机、探针台湖南中电科48所氧化/扩散设备湖北华工激光激光划片机安徽文一科技分选机数据来源：赛迪智库整理2019.04三、新型显示设备行业发展情况介绍（一）全球新型显示设备行业发展概述1、产业规模据统计，2018年显示装备市场的营收规模约280亿美元，同比增长11.7%，其中液晶装备营收占比29%，OLED装备占比达到69%。韩国和中国大陆是全球装备市场的主力，其中韩国的产线由新建产线和旧产线改造两类组成，市场占比为25%，中国大陆的投资主要为新产线，市场占比为70%以上。从现有产线建设计划来看，未来3年仍将是新型显示设备装机高峰阶段，预计到2022年，全球新型显示设备支出仍将保持正向增长，年销售额将保持在130亿美元左右。8图42018年全球装备市场结构数据来源：赛迪智库整理2019.012、竞争格局目前，新型显示设备企业的竞争格局与集成电路类似，排名靠前的设备企业总市场占有率超过85%，呈现典型的寡头垄断。其中曝光机由佳能和尼康两家独占，沉积设备全球前三家市占率共计70%左右，蒸镀机由佳能Tokki一家独占。退火设备、刻蚀设备、激光剥离的前两家市占率总和分别为85%、75%和90%。表6新型显示产业关键设备垄断情况设备类型国别主要企业2018年市场占有率曝光机日本佳能、尼康90%薄膜沉积设备日本、美国爱发科、佳能Anelva、应用材料70%OLED蒸镀设备日本佳能Tokki90%AOI设备以色列奥宝科技50%赛迪智库整理2019.01（二）我国新型显示设备行业发展概述29%69%2%TFT-LCDAMOLED其它91、产业规模随着中国大陆大规模投建高世代TFT-LCD液晶生产线，中国大陆新型显示产业规模超过3000亿元。2018年中国大陆设备企业营收规模为80亿元人民币。其中主要种类包括光学膜设备、清洗/焊接/热压设备、激光设备等都有了长足的发展。国际设备厂商也开始趋向于将设备委托给本地设备厂商代工制造。2、产业格局我国是新型显示产业的后发国家，产业基础相对较弱，因此从事新型显示设备企业的数量少，规模小，主要以自动传送流水线，洁净搬运机器人绑定设备、贴合设备等后道设备为主。在Array的关键设备领域也有布局，如上海微装的光刻机、上海凯世通的离子注入机等，但是由于这些产品以低世代产品为主，与国内面板企业建线的节奏不太匹配，难以进入量产线，大多在测试线或中试线上使用，处于研发和产品验证阶段。表72018年中国部分新型显示设备企业收入情况序号企业名称收入（亿元）主要新型显示设备业务领域1合肥欣奕华16.7泛半导体产业机器人、服务机器人、智慧工厂解决方案的研发、生产与服务。2武汉精测13.9平板显示检测系统的研发、生产和销售的企业。提供AOI光学检测系统、TouchPanel检测系统和平板显示自动化设备。3智云股份7.4显示触控模组全自动设备供应商，生产液晶显示模组自动化邦定、点胶、检测等设备。4联得装备6.4平板显示模组组装设备的研发、生产和销售，主要产品包括邦定设备及贴合设备。10序号企业名称收入（亿元）主要新型显示设备业务领域5大族激光5.3柔性切割、修复、倒角、画面自动化检测设备在多家客户处成功验证并顺利投入生产。6正业科技4.4生产全自动绑定、真空贴合线、背光组装线、OLED后段自动化产线、自动缺陷检测机等。7合肥通彩3.5新型显示行业自动物流传输系统的研发、生产和销售企业，同时提供玻璃检测方案。8凌云光2.1科学图像和机器视觉系统及方案,系列高品质视觉检测产品和专业化服务，提供LCD检测LCD点灯AOI品质自动光学检测设备。