单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用

北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用382单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用ThePreparation,Purification,DispersionandApplicationinNanoscaleElectronicDevicesofSingle-walledCarbonNanotubes电子学系99级赵晓雪摘要本文简要介绍了单壁碳纳米管的电弧法制备和提纯。为使其能够应用于纳电子器件中，对提纯后的样品进行了超声波分离。选用了不同的溶剂、浓度配比和超声时间。初步尝试出乙醇和异丙醇为较好的溶剂。样品纯度对分离的效果有直接的影响。AbstractSingle-walledcarbonnanotubes(SWCNTs)arepreparedbythestandardarc-dischargemethodandthenpurified.InordertopavethewayfortheapplicationofSWCNTsinnanoscalefield-effecttransistor(FET),wedispersethetubesinseveraldifferentsolventsultrasonicallytoattainindividualtubes.Thebestresultswereobtainedusingethanolandisopropanol.Theeffectofdispersiondependsremarkablyonthesamplepurity.一、碳纳米管的制备㈠、碳纳米管的种类理想的碳纳米管（CNT）是由碳原子形成的石墨片层卷成的无缝、中空的管北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用383体，可包含一层到上百层石墨层。只有一层石墨片层的称为单壁碳纳米管(Single-walledcarbonnanotube，SWNTorSWCNT)，含有一层以上石墨片层的则称为多壁碳纳米管(Multi-walledcarbonnanotube，MWNTorMWCNT)。（图1）图1石墨片层从1层到5层的碳纳米管SWCNTs的直径一般在1－6nm，目前观察到的SWCNT的最小直径约为0.33nm[1]，并已能合成直径0.4nm的SWCNTs阵列[2]。直径达6nm的SWCNTs也已有报道[3]。一般认为，SWCNT的直径大于6nm以后特别不稳定，容易发生SWCNT管的塌陷。单壁碳纳米管的长度则可达几百纳米到几十微米。多壁碳纳米管的层间距约为0.34纳米，外径在几个纳米到几百纳米，而已发现的最小内径为0.4nm[4]。其长度一般在微米量级，最长者可达数毫米。无论是MWCNT还是SWCNT都具有很高的长径比，一般为100～1000，有的甚至可达1000～10000，是非常好的准一维纳米材料。㈡、单壁碳纳米管的制备目前常用于制备单壁碳纳米管的只有电弧放电法、化学气相沉积法、激光蒸发法这三种。电弧法的主要原理是在充有一定压力的惰性气体的真空反应室中，采用面积较大的石墨棒(直径为20mm)作阴极，面积较小的石墨棒(直径为10mm)为阳极。在电弧放电过程中，两石墨电极间通过反馈始终保持约1mm的小间隙。阳极石墨棒不断被消耗，在阴极沉积出含有碳纳米管、富勒烯（Fullerenes）、石墨微粒、无定形碳和其它形式的碳纳米颗粒的混合物，同时在反应室的壁上沉积有由无定形碳和Fullerenes等碳纳米颗粒组成的烟灰(Soot)。关键的制备工艺参数有:电弧电流和电压、缓冲气体种类与气压、电极的冷却速度等。电弧电流一般为70-200A，过低时电弧不稳定，过高时则会使无定形碳、石墨微粒等杂质增多，给其后的纯化处理带来困难。此外，由于与其它的副产物如无定形碳、石墨微粒等杂质烧结于一体，对随后的分离和提纯不利，因此常用水冷等方法来降低石墨阴极的温度，从而制备出结构更完美、更纯的碳管。北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用384图2传统电弧放电法制备碳纳米管的装置示意图此后，人们对电弧法作了更深入的研究和技术改进。比如用氦气取代氩气作为缓冲气体，并将气体压力提高到6.7×10-2MPa。这一调整使碳纳米管的产量达到了克量级，而且其纯度也大大提高。电弧法由于设备较简单，技术成熟等优点而被广泛的应用于CNTs。但电弧法所制备的CNTs的缺陷较多，且易于与其它的副产物如无定形碳、纳米微粒等杂质烧结在一起，对随后的分离和提纯不利。二、碳纳米管的提纯由于CNTs的制备过程中，通常都会同时生成Fullerenes、石墨微粒、无定形碳和其它形式的碳纳米颗粒。这些杂质与碳纳米管混杂在一起，且化学性质相近，用一般的方法很难进行分离，给碳纳米管更深入的性质表征和应用研究都带来了极大的不便。因而一般都需要采取各种物理化学方法对制备所得的碳纳米管初产品进行纯化，得到纯度更高的CNTs。碳管的提纯主要有两个过程：㈠、催化剂的去除由于催化剂一般都是过渡金属或者镧系金属的氧化物，而载体一般都是Al2O3、MgO等。所以通常是用过量的酸去与制备所得CNTs初产物充分反应，然后经过过滤、干燥等步骤，去除催化剂。㈡、石墨微粒、无定形碳和其它形式的碳纳米颗粒的去除去除各种碳纳米颗粒的方法是采用合适的氧化剂将附着在管壁四周的碳纳米颗粒氧化除掉，从而只剩下CNTs。其机理是利用氧化剂对CNTs和碳纳米颗粒两者的氧化速率不一致完成的。CNTs的管壁由六边形排列的碳原子(即六元环)组成，六元环与五元环、七元环相比，没有悬挂键，因而比较稳定。在氧化剂存在的情况下，有较多悬挂键的五元环和七元环优先被氧化，而无悬挂键的六元环需要较长时间才能被氧化，CNTs的封口被破坏后，由六元环组成的管壁被氧化的速度十分缓慢，而碳纳米颗粒则被一层一层氧化。可供选择的氧化剂很多，如北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用385空气或氧气流、高锰酸钾、硝酸等等。在空气流下氧化是最为简便的常用方法。SWCNTs由于只有一层管壁，因此其热稳定性相对MWCNTs要差，在碳纳米颗粒的氧化过程中也氧化的比较厉害。三、单壁碳纳米管的分离制备的产品中的SWCNTs通常都不是一根根分立的，而是以管束(bundle)的形式存在的，即几根甚至几百根的单壁碳纳米管沿着相同的轴方向平行的结合在一起，形成直径约几纳米到几十纳米的单壁碳纳米管束。这些构成管束的SWCNTs的直径可以相当的均一，而且以密堆的形式排列，使得bundle本身可能出现一定程度的晶化[5]。图3晶化程度相当高的SWCNTs管束利用单根的碳管可以构造纳电子器件的基本元件——碳纳米管场效应管（CNTFET）。因此，为了将其应用于纳电子器件之中，需要对碳管管束进行分离，目标是得到单根的碳管。㈠、分离方法我们采用的是将碳管粉末溶于溶剂之中再长时间超声的方法，从而达到将其分离的目的。分离的效果主要取决于溶剂的种类和超声的时间。将处理后碳管溶液滴到硅片上制成样品，然后用扫描电镜（SEM）观察分离效果。㈡、分离过程及结果一共尝试了乙醇、丙酮、四氯化碳、异丙醇四种溶剂。并且每种溶剂都尝试了不同的碳管浓度及超声时间。具体的过程及结果如下。北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用386溶剂碳管粉末面积（mm2）体积（ml）超声时间（小时）外观扫描电镜观察效果乙醇11.523微灰，有细小的悬浮颗粒可看到一些块状颗粒，但无碳管乙醇11.533几乎透明，看不到悬浮颗粒可零星看到一些管状物乙醇11.543透明液体没有看到有价值的样品丙酮1123透明液体，有沉积物没有看到有价值的样品丙酮1133透明液体，有沉积物硅片导电性不好，无法成像丙酮1143透明液体，有沉积物硅片导电性不好，无法成像四氯化碳1123透明液体，有沉积物硅片导电性不好，无法成像四氯化碳1133透明液体，有沉积物硅片导电性不好，无法成像四氯化碳1143透明液体，有沉积物硅片导电性不好，无法成像丙酮21.5-233微灰，有悬浮颗粒及沉积物多为块状颗粒，其周围延伸出少量小簇碳管（图4）丙酮21.5-243微灰，有悬浮颗粒及沉积物多为块状颗粒，其周围延伸出少量小簇碳管北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用387四氯化碳2113较为透明，有沉积物多为块状颗粒，其周围延伸出少量小簇碳管乙醇21-1.523灰，有悬浮颗粒在样品上呈现为分离的区域，其中有网状缠绕的碳管（图5-9）乙醇20.7-133灰，有悬浮颗粒在样品上呈现为分离的区域，其中有网状缠绕的碳管乙醇20.5-0.843灰，有悬浮颗粒在样品上呈现为分离的区域，其中有网状缠绕的碳管异丙醇1-1.522灰，有悬浮颗粒在样品上呈现为分离的区域，其中有网状缠绕的碳管异丙醇0.7-132灰，有悬浮颗粒在样品上呈现为分离的区域，其中有网状缠绕的碳管异丙醇0.5-0.842灰，有悬浮颗粒在样品上呈现为分离的区域，其中有网状缠绕的碳管表1分离过程及结果其中，双线以上的样品（标号为1）的制作采用的是实验室的旧硅片，有一些为本征硅，导电性能较差，所以在扫描电镜下无法成清晰的像。如丙酮1，和四氯化碳1。双线以下的样品（标号为2）的制作采用的是新购买的高掺杂硅，其特性参数为：P型，晶面111，电阻率（5-8）ⅹ103Ω/cm导电性能较好，图像较为清晰。从超声后溶液的外观上看来，丙酮和四氯化碳不是很好的选择。因为经过长时间的超声后，碳管仍然是粉末状的沉积物，并没有被超声分散。实际上，用扫描电镜观察的效果也是如此。基本没有观察到有价值的样品。偶尔有一些大块的颗粒，在大分辨率下发现是大团的碳管管束缠绕形成的。在其边缘部分，有延伸出的条状物，应该是碳管管束（图4）。相比之下，乙醇和异丙醇则效果较好。超声2个小时后溶液变成淡灰色，试管的底部没有沉积物。将溶剂放置一段时间后，会产生絮状沉淀。电镜下，可以北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用388看到网状的碳管管束（图5、图6、图7、图8、图9）。而且可以看出，此批碳管所含的杂质（体积较大的块状物，电镜照片上呈白色）较多，提纯效果还不够理想，这也给分离带来了一定的困难。因此，这距离实现纳电子器件所需要的单根碳管还有一定的差距。还须提高制备工艺，增加提纯度。在分离上，是加大超声时间，还是选用其他溶剂或改进浓度配比还在进一步的研究和尝试之中。图42μm尺度下的电镜照片图51μm尺度下的电镜照片（乙醇）北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用389图61μm尺度下的电镜照片（异丙醇）图7500nm尺度下的电镜照片（乙醇）北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用390图8500nm尺度下的电镜照片（异丙醇）图9200nm尺度下的电镜照片北京大学政学者论文集（2002年）单壁碳纳米管的制备、提纯、分离及其在纳电子器件中的应用391单壁碳纳米管的直径多为10nm以下，由图9中的标尺估算照片上的碳管直径约为几十纳米，因此仍然是管束，还需进一步的分离。此外，由图5与图6、图7与图8的比较可以看出，同样的标尺下，图5、7的分离效果要比图6、8的好（管束直径小）。说明了异丙醇的溶解效果比乙醇更好。四、碳纳米管在纳电子器件中的应用晶体管是20世纪伟大发明之一，其集成电路构成的计算机和自动器进入科技、生产、生活、办公室、家庭的各个领域，以其为基础的电子工业成为发达国家的主要经济支柱。微电子器件还在发展，其趋势为不断的小型化。描述这个趋势的为莫尔（Moore）定律，即每18个月芯片上的元件数增加1倍。按此规则到2011年，微电子的元件尺寸将达到其物理极限。此后将是纳电子器件时代。在元素周期表中，