干式吸附废气处理scrubber-Br-3系列规格书

上海兄弟微电子技术有限公司DryScrubber干式废气处理装置Br-3SeriesDrySCRUBBERBr-3seriesareequipmentdesignedtopurifyhazardousgasesproducedintheprocessofSemiconductors.干式废气处理（吸附式）Br-3系列是用来处理半导体工艺过程中产生的有害气体。规格—处理能力ITEM项目Br-3-C80Br-3-C200DBr-3-400DCAPACITY容量110L200L400LEFFICIENCY效率99.9%99.9%99.9%PROCESSGAS应用气体AsH3,PH3,F2,HF,Cl2,BCl3,HCl,SiH4,NH3,H2S,H2Se,etc.AsH3,PH3,F2,HF,Cl2,BCl3,HCl,SiH4,NH3,H2S,H2Se,etc.AsH3,PH3,F2,HF,Cl2,BCl3,HCl,SiH4,NH3,H2S,H2Se,etc.PROCESSTOOLS工艺场合CVD,DIFF,EtcCVD,DIFF,ICP，Etc.CVD,DIFF,ICP，Etc..特点EfficientdecompositionofHazardousgases:hazardousgasesreactwiththeadsorbent,andturnintosolidwaste.危害性气体与药剂反应生成固体废物。Lowercostofrunning低运行成本；Easymaintenance&replacementabsorbentcartridge易于维护和更换反应罐；StabilityOperation稳定操作；Nowaste‐water无废水产生；Automatic-ChangeoverandBack‐upsystem自动切换和备份；规格—动力需求ITEM项目Br-3-C100DBr-3-C200DBr-3-C400DELECTRICPOWER电源220V,1Φ,1KW,50/60Hz220V,1Φ,1KW,50/60Hz220V,1Φ,1KW,50/60HzN₂GAS氮气Max.60LPM,5kg/㎠,1/4”SWGMax.60LPM,5kg/㎠,1/4”SWGMax.60LPM,5kg/㎠,1/4”SWGCDA压缩空气Max.100LPM,5kg/㎠，1/4”SWGMax.100LPM,5kg/㎠,1/4”SWGMax.100LPM,5kg/㎠,1/4”SWGGASINLET气体入口KF40，4入口KF40，4入口ISO100,1入口GASOUTLET气体出口ISO100，SUS304ISO100，SUS316LISO100，SUS316LEXHAUST排风Φ150Φ150Φ150DIMENSION尺寸1000（w）x1100(D)x1800(H)1350(w)x1250(D)x1800(H)1700(W)x1450(D)x1800(H)WEIGHT重量350Kg600Kg1300kgNote:可特殊定制；可提供单罐等。