中国扫描电子显微镜的发展历史

中国扫描电子显微镜的发展历史19581958年，中国科学院科学仪器厂成立，期间，为“两弹一星”加工制造做出重要贡献。19651965年，中国科学院科学仪器厂设计研制我国第一台DX-2型透射式电子显微镜。19751975年，中国科学院科学仪器厂自行研制成功电子显微镜DX-3型，主要指标达当时国际先进水平。1978年获全国科学大会一等奖19771977年，中国科学院科学仪器厂研制成功X-3F双道X射线光谱仪。与DX-3扫描电镜匹配，发展为DX-3A分析扫描电镜。获1978～1979年中国科学院重大科技成果一等奖。19801980年，中国科学院科学仪器厂研制成功DX-5型扫描电镜，获中国科学院1986年科技进步奖。19831983年，中国科学院科学仪器厂从美国Amray公司引进微机控制、分辨本领6nm，功能齐全的Amray-1000B扫描电镜生产技术。19851985年，中国科学院科学仪器厂生产了KYKY-1000B扫描电镜，共生产100台。获1988年国家科技进步奖二等奖，并列为我国1979～1988年重大科技成果。19871987年，中国科学院科学仪器厂实现了Amray-1000B扫描电镜国产化。制成了大试样室，及背反射电子探测器，可获得元素成分分布图像。配备了低温试样台（-170℃～＋18℃连续可调，冷刀可断裂试样，适于观察生物及含水试样）和试样拉伸台。19881988年，中科院北京科学仪器厂研制成功LaB6阴极电子枪，使KYKY-1000B扫描电镜的分辨本领由6nm提高到4nm。19891989年，中科院北京科学仪器厂研制完成KYKY-2000型数字化扫描电镜，分辨本领5nm，采用了数字图像处理功能。在第三届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA)上获新设立的BCEIA金奖，并获1994年中国科学院科技进步奖二等奖。19911991年，更名为北京科学仪器研制中心。期间，加速市场化进程，加大产品开发力度和市场开拓，在科研、航天、军工、核工业领域和国际贸易方面取得市场突破。19931993年，根据中国科学院化学冶金所的要求，中科院科仪中心研制成KYKY-1500型高温环境扫描电镜。在1000B基础上增加了高温试样台及低真空试样室，改进了真空系统及信号电子接收器等。试样温度最高达1200℃，最高环境气压为2600Pa。在800℃，1300Pa时分辨本领优于60nm。获1995年中国科学院科技进步三等奖。19951995年，中国科学院北京科学仪器研制中心研制成功扫描电镜和电子探针波谱仪自动化系统。应用计算机技术对早期的波谱仪进行了技术改造，省去了原谱仪手动操作和数据采集、处理方面的大量烦琐、重复工作。1995年，中国科学院北京科仪中心于研制成功KYKY-2800型扫描电镜，分辨本领4.0～4.5nm。19961996年，中科院科仪中心研制成功首台国产化X射线能谱仪Finder-1000型。19971997年，承担“九五”国家科技攻关项目—“扫描电子显微镜的及电子探针升级改造技术研究”课题。19981998年，中国科学院北京科学仪器研制中心研制成功样品台自动调节控制系统。具有全面的五轴运动控制功能，采用Windows等技术可对样品台进行远程控制，实现了电镜操作的计算机屏幕化管理。19991999年10月，中国科学院北京科学仪器研制中心研制生产的全计算机控制扫描电镜KYKY-3800型扫描电子显微镜，在第八届北京国际分析测试学术报告会及展览会（BCEIA‘99）上，获“优秀国产分析测试仪器金奖”。20002000年，更名为北京中科科仪技术发展有限责任公司，成为中科院第一家事业单位整体转改制企业。期间，逐步树立核心产品国内市场第一的地位，发展成为集科学仪器研发、制造、销售和服务为一体的高新技术企业。20042004年，北京中科科仪股份有限公司成功研制EM-3200型数字化扫描电镜20062006年，北京中科科仪股份有限公司在“十一五”国家科技支撑重大计划课题—《场发射枪透射电子显微镜的研制》中承担“场发射电子源、场发射电子枪和超高真空系统”三项子课题。20072007年，北京中科科仪股份有限公司成功研制EM-3900系列扫描电子显微镜。20112011年，更名为北京中科科仪股份有限公司，整体变更为股份有限公司。中科科仪秉承“创新科学仪器，发展一流企业”的使命，致力于发展成为一家具有全球视野，在科学仪器特别是在真空领域国内领先、具有国际竞争力的产业集团！20122012年，在国家重大科学仪器设备开发专项的项目中承担“深紫外激光光发射电子显微镜（PEEM）工程化”任务。20132013年，北京中科科仪股份有限公司承担国家重大科学仪器设备开发专项—“场发射枪扫描电子显微镜开发与应用”项目。2014年2014年，北京中科科仪股份有限公司成功研制KYKY-6000系列扫描电子显微镜。2014年，北京中科科仪股份有限公司成功研制KYKY-8000F场发射扫描电子显微镜。2015.012015年1月6日，国家发改委、科技部、财政部、海关总署、国家税务总局五大部委联合发布公告，北京中科科仪股份有限公司技术中心被认定为国家级企业技术中心。