微电子专业各高校概况

微电子专业几所热门院校特色介绍从上世纪90年代后期逐步热起来的微电子专业，目前依然热度不减。各大高校顺应微电子产业的发展需要，纷纷成立独立的微电子系和学院，开办了许多与集成电路产业关系密切的二级学院(如北京大学的软件与微电子学院、电子科技大学成都学院等等)。以下将介绍国内数所开设有微电子研招专业的院校，以及它们的研究方向，供参考。北京大学微电子学系国家大力支持的重点学科点北京大学微电子学系，又称微电子学研究所(院)，有着源远流长的学术传统。1956年，由著名物理学家黄昆院士在北大物理系领导创建了我国第一个半导体专业机构，之后在我国著名微电子专家王阳元院士的带领下，北京大学微电子学系发展成为我国培养高水平微电子人才的一个重要基地，是国家的重点学科点。【硬件环境】三大重点实验室国内领先北大微电子学系有着国内一流的科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同设计高科技实验室三大重点实验室，还有MPW(多项目晶圆)中心平台。【师资科研】科研小组特色明显北大微电子所下设SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一，目前出任中芯国际的董事长。SOI研究组的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以及射频电路技术。黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEEEDS(ElectronDeviceSociety)和ADCOM(AdministrativeCommittee)的成员，主要科研方向是SOI，但同时也指导学生进行射频方面的研究。廖怀林教授专门从事RF电路方面的研究，功底深厚。该研究组掌握了国内科研界最先进的加工技术(流片基本上采用0.13微米工艺)，研究生博士生已有多篇文章发表在国际高水平刊物上。SOC研究组在敦山教授领导下，拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两大平台。于老师虽然是研究微处理器，但在系统方面也有很深的造诣。重视工艺是北大微电子所的传统，所里不少老师是学物理出身的，对于器件工艺十分重视，再加上最先进的微米/纳米加工条件，因此该所的微电子器件加工工艺一直保持着国内领先水平。新器件组在刘晓彦、康晋锋两位教授的带领下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面的研究。他们成功研制了多种新结构半导体器件，在超精细栅、新型金属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性、高速互联方面都取得了一系列创新成果。在器件的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究都堪称一流。MPW是近两年新成立的一个研究组，是依托北大微电学研究院的技术力量建立的一个服务于各高校、科研、企业的平台，目前由盛世敏教授和张钢刚教授指导学生开展工作。盛教授是当年王院士的同事，也是北大微电子所的奠基人之一。MPW组的研究生，有从事数电、模电工作的，也有从事ADC、提取参数、建立模型库方面工作的。MEMS组是目前北大微电子所里规模最大的一个组，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加工工艺在国内高校领先，组内的李志宏教授、张大成教授等多位老师对工艺有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所长，在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面的权威；张大成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富的实践经验，同时也是微米/纳米加工实验室的负责人。该组的“基于MEMS技术及应用研究”曾获得2006年度国家技术发明二等奖，是北京大学第一次以“第一完成人单位”获得的国家技术发明二等奖。【招生信息】北大微电子学专业2007年招收硕士生105人，其中校本部25人，深圳研究生院80人。从今年开始，没有达到微电子专业分数线的考生，只要过了北大研考理学类总分数线的都可以转报微电子工程硕士，工程硕士招生总人数为100人。清华大学微电子所全国微电子学领域首个重点学科点清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个重点学科点。【硬件环境】两条集成电路工艺加工线清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供MOSMPW(MOS多项目晶圆)服务。【师资科研】器件和设计实力最强清华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研究领域中，该所器件和设计实力最强，研究资金丰厚。器件方向，主要强在理论，其研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理，其特点在于新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面，器件组是国内惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。工艺方向，包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组的主要研究方向是：深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路，以及集成电路生产自动化控制等。设计方向更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流的，与各大公司、研究所以及国内外foundry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术(原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华的研究生开有任选课)、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，研究领域为集成电路与系统设计方法学、模拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。CAD技术研究室的主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证，以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(IC-CAM系统)研发等。【招生信息】清华研究生微电子所难考的原因，在于他接收的考试生比较少(2007年仅招10人)，而保送生为30～40人。清华大学在深圳也设有研究生院，但是一般只培养工程硕士(专业硕士的一种)。微电子所2007年在北京、深圳两地招收工程硕士人数总共为74名。复旦大学微电子研究院复旦大学微电子研究院是在国家教育部、国家计委、上海市政府的关怀下，经上海市计委批准，于2002年正式成立并落户于复旦大学浦东张江校区，是我国特别是上海地区微电子人才培养和微电子技术研发的重要基地之一。研究院依托于复旦大学“微电子学与固体电子学”学科几十年的深厚积累，有雄厚的技术和学术优势，是国家重点学科、“211工程”建设学科、复旦大学“985工程、重中之重”建设学科，其所在一级学科具有博士学位授予权和博士后流动站。1992年建立了全国唯一的“专用集成电路和系统国家重点实验室(复旦大学)”，具备国际一流的软硬件设计环境。2003年被批准成为国家首批9个“国家集成电路人才培养基地”之一。2004年启动教育部“985”二期项目，建设—复旦大学微纳电子科学技术创新平台，集微纳电子科学前沿研究、集成电路关键技术综合开发、相关人才培养为一体。经过几十年的努力，复旦大学在SOC设计，集成电路计算机辅助设计，半导体新工艺，新材料、新器件、微电子机械系统等研究领域取得了丰硕成果并形成了一支有丰富经验的教学、科研队伍。定位面向国家重大战略需求，应用研究达到国内领先水平；瞄准国际前沿科学问题，创新研究达到国际先进水平。研究院的运作以市场需求和提高国际竞争力为导向，走国际合作办学和与工业界紧密结合的道路。与数所世界著名高校联合办学，培养国际化人才。与国内外知名企业建立联合实验室与研发中心，使科研与应用紧密地结合，同时通过企业捐赠、经费支持等方式创造了先进的软硬件科研环境，极大地提高了开发能力和科研水平。研究院的发展目标是在微电子领域的学术研究、人才培养和应用技术等方面达到国际先进水平，为未来10年我国从集成电路应用大国过渡到集成电路技术强国作出重大贡献。【硬件环境】复旦微电子研究院有着国内一流的科研硬件设施，有ASIC国家重点实验室，工艺实验室，IC实验室，ICCAD实验室，还有微纳平台，人才培养基地等。【招生信息】复旦研究生微电子一般招收80~90人，其中保送的占50%。中科院微电子所、微系统所和半导体所以研究员为科研主力中科院和微电子领域关系最密切的研究所有3个：微电子所、半导体所和微系统所，这3个所的师资、资金实力在国内同行中处于领先水平。微电子所核心设备国内一流中科院微电子所的核心设备是一流的，它有一条用于0.8微米IC工艺研究的实验线，“高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家“863”集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nm的JEOLJBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES4500电子束制版系统以及和微细加工有关的反应离子刻蚀机、电子束镀膜系统、光学制版系统、LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在北京地区，目前惟一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。该所目前共有7个研究室，分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室的研究方向基本涵盖了器件电路设计开发的各块领域，互补而又不冲突，相互之间的师资分配也很合理。【招生信息】微电子所2007年计划招生43人。据相关老师介绍，2008年微电子所要争取硕士招生人数达到60人。微系统所两室五组，科研领域广中科院微系统所拥有：传感技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验室(隶属MEMS组)、信息功能材料国家重点实验室(隶属材料组)。微系统所主要有5个研究组：王跃林教授的MEMS组，下有微系统工艺平台和微系统封装平台，研究方向包括MEMS传感器和执行器技术研究、光通信微系统研究、生物芯片等；宋志棠的材料组，拥有化合物半导体器件工艺平台和纳米半导体薄膜材料加工测试平台，主要研究相变存储器、光电子和微波材料与器件、太赫兹半导体器件和物理；另外3个组是SOI组、无线组和能源(电池)组。除了这5个主要的研究组外，还有两个单独的课题组是RF和DNA。微系统所在科研成果的产业化方面很有特色，在不久前揭晓的国家科学技术奖评选中，该所的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目获2006年度国家科技进步一等奖。微系统所的一个最大特点在于研究涉及的领域很广，各个研究室之间相对独立而又不乏合作。整个微系统所是一个很完善的系统，部门之间又有EDA与网络信息中心作为公共支撑。该所给学生提供的助研金比较多，差不多是其他科研院所的两倍，甚至其硕士生的助研金比别的单位的博士生都高。【招生信息】微系统所每年招生75人左右，其中大部分在微电子与固体电子学(47人)和通信与信息系统(20人)，毕业生主要就业方向是国内外的大公司，如AGILENT、华为等。半导体所主要研究物理器件微电子专业最初是从半导体专业中分离出来的，目前的中科院半导体所依然保留有微电子研究和发展中心，该中心主要从事同微电子相关的半导体器件和电路的研究，包括抗辐射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成电路、SiC高温半导体器件、微电子机械系统(MEMS