DB52T 904-2014 电子级三氯氧磷

ICS71.060.50G12DB52贵州省地方标准DB52/T904—2014电子级三氯氧磷Electronicgradephosphorusoxychloride2014-06-09发布2014-07-09实施贵州省质量技术监督局发布DB52/T904—2014I目次前言................................................................................II1范围..............................................................................12规范性引用文件....................................................................13分子式、相对分子质量及分类........................................................14要求..............................................................................15试验方法..........................................................................26检验规则..........................................................................67包装、标志、运输和贮存............................................................6附录A（资料性附录）处理废液的方法..................................................7DB52/T904—2014II前言本标准按照GB/T1.1-2009《标准化指导原则第1部分：标准的结果和编写》给出的规则起草。请注意：本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。本标准由贵州省质量技术监督局归口。本标准起草单位：贵州威顿晶磷电子材料有限公司、贵州省产品质量监督检验院、贵阳精一科技有限公司。本标准主要起草人：蒋飚、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、黄春银、刘涛、向东、龚宁、贺思全、陈泉、舒晓骥、周大颖、张建刚、程化鹏。DB52/T904—20141电子级三氯氧磷1范围本标准规定了电子级三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签，包装、运输、贮存和安全。本标准适用于电子级三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建立。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数字的表示和判定GB/T11446.1电子级水GB50472电子工业洁净厂房设计规范HG/T3606—2009工业用三氯氧磷3分子式、相对分子质量及分类分子式：POCl3相对分子质量：153.33（按2011年国际相对原子质量）分类：电子级三氯氧磷分为两种规格：6N级：纯度（基于金属杂质）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；7N级：纯度（基于金属杂质）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源。4要求4.1外观：无色透明液体。4.2电子级三氯氧磷应符合表1要求。DB52/T904—20142表1要求检验项目6N级7N级三氯氧磷（POCl3）含量≥99.9%99.9%纯度（基于金属杂质）≥99.9999%99.99999%铝（Al）/（μg/kg）≤405砷（As）/（μg/kg）≤306银（Ag）/（μg/kg）≤11金（Au）/（μg/kg）≤11钡（Ba）/（μg/kg）≤201铋（Bi）/（μg/kg）≤101钙（Ca）/（μg/kg）≤305钴（Co）/（μg/kg）≤201铜（Cu）/（μg/kg）≤202铬（Cr）/（μg/kg）≤201铁（Fe）/（μg/kg）≤405镓（Ga）/（μg/kg）≤11汞（Hg）/（μg/kg）≤105钾（K）（μg/kg）≤303锂（Li）/（μg/kg）≤106镁（Mg）/（μg/kg）≤205锰（Mn）/（μg/kg）≤301钠（Na）/（μg/kg）≤105铌（Nb）/（μg/kg）≤21镍（Ni）/（μg/kg）≤201铅（Pb）/（μg/kg）≤103锡（Sn）/（μg/kg）≤51锶（Sr）/（μg/kg）≤51钛（Ti）/（μg/kg）≤52锌（Zn）/（μg/kg）≤51色度/≤5APHA5APHA每毫升最大尘埃粒子数（≥0.3μm（#/ml））≤50505试验方法5.1安全提示电子级三氯氧磷在湿空气中激烈发烟，遇水猛烈反应生成磷酸，并放出氯化氢气体，遇热时分解成磷的氯化物和高毒的氧化物薄膜。在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。接触三氯氧磷时应佩戴眼睛、口罩、橡皮手套等防护用具。严禁与水接触，避免吸入蒸汽、接触皮肤及粘膜。当发生漏DB52/T904—20143损时，应用泥沙或石灰处理，如已接触皮肤，应立即用水冲洗。本试验方法中的样品及部分试剂具有毒性、腐蚀性，操作者须小心谨慎！如溅到皮肤上应立即用水冲洗，严重者应立即治疗。使用易燃品时，严禁明火加热。5.2一般规定本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂。所用水为GB/T11446.1规定的电子级超纯水，25℃在线电阻率不小于18.2MΩ·cm。试验中所用标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按照GB/T601、GB/T603、GB/T6682的规定配制。ICP-MS操作和颗粒测定均需在不低于GB50472中规定的1000级洁净室进行，其溶液的配制及样品的处理宜在不低于GB50472中规定的100级环境下进行。5.3三氯氧磷含量的测定按HG/T3606—2009中5.1、5.2的规定进行。5.4纯度5.4.1原理本方法通过扣除阳离子杂质含量总和的方法，计算得出三氯氧磷的纯度。5.4.2结果计算电子级三氯氧磷的纯度X1，数值以%计，按公式（1）计算。1100(1,2,3,4,5)iXmi................公式（1）式中：mi为金属阳离子的含量5.5金属阳离子的测定5.5.1方法原理电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）对电子级三氯氧磷中痕量金属离子的测定有很高的灵敏度，并可以同时测定多个痕量金属离子。测定时样品由载气（氩气）引入雾化系统进行雾化后，以气溶胶形式进入等离子中心区，在离子体火炬高温和惰性气氛中被去溶剂化、汽化解离和电离，转化成带正电荷的正离子，经离子采集系统进入质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离，由离子谱峰的强度定量样品中相应离子的含量。样品分析采用标准加入法，标准曲线的线性范围在20ng/L～1000ng/L。5.5.2试剂和材料5.5.2.1本试验所用器皿均为聚四氟乙烯或高纯石英制品；5.5.2.2硝酸为电子级试剂，金属离子杂质最高不超过0.1μg/L；5.5.2.3硝酸溶液（1+19，体积比）：取符合5.5.2.2的硝酸100mL加入1900mL超纯水；5.5.2.4调谐液：1μg/L，由仪器供应商提供或者持证调谐溶液；5.5.2.5调谐工作溶液：取符合5.5.2.4的调谐液20mL于聚四氟乙烯洁净瓶中。此液4℃冷藏，反复使用可保持7天；DB52/T904—201445.5.2.6多元素标准储备液：选取表1中金属离子已知浓度为10μg/mL的标准溶液，或者选取其他浓度的持证标准溶液；5.5.2.7多元素标准工作也：取符合5.5.2.6的标准储备液1mL于聚四氟乙烯洁净瓶中，加入符合5.4.2.2的硝酸2mL，用超纯水稀释至100mL，摇匀。此标准工作液中金属离子为100μg/L，此液4℃冷藏，反复使用可保持7天；5.5.2.8高纯氩气、氢气、氦气及仪器要求的其他气体，纯度不小于99.995%。5.5.3仪器设备5.5.3.1电感耦合等离子体-质谱仪(ICP-MS),配置碰撞反应系统（ORS）(推荐仪器检出限：低质量数元素（Be）＜5×10-12,中高质量数元素（In、Bi）＜1×10-12；丰度灵敏度：低质量数元素≤1×10-6，高质量数元素≤5×10-7；稳定性：短期RSD≤4%（20min）,长期RSD≤5%（2h）,24h质量轴偏离±0.1amu；抗干扰能力：氧化物比值≤3%，双电荷比值≤8%）；5.5.3.2精密取样枪：100μL，1000μL,5mL；5.5.3.3超纯水净化器，带0.1μm终端过滤器，在线制备不低于18.2MΩ·cm（25℃）超纯水。5.5.4分析步骤5.5.4.1样品测试液分次称取0.5g待测试样，精确至0.0002g，分别置于6个100mL的聚四氟乙烯瓶中，加30mL左右的超纯水使其水解，再加2mL超纯硝酸，然后依次加入0mL、0.05mL、0.1mL、0.2mL、0.4mL、0.8mL符合5.5.2.7的多元素标准工作液，用超纯水稀释至50.00g，摇匀。所有器皿及取样枪枪头均要用符合5.5.2.3的高纯硝酸溶液浸泡24h，用超纯水反复冲洗晾干后，方可使用。5.5.4.2测定按电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）操作规程打开仪器，调整仪器工作条件，用符合5.5.2.5的调谐工作液调整仪器测量参数，调谐应达到仪器的工作要求；选择待测元素质量数，对待测元素的同位素的选择需根据样品基体中可能出现的干扰情况，选取干扰少得相宜气体模式测定，以及丰度较高的同位素进行测定。以待测元素标液加入量为横坐标，对应的信号强度为纵坐标，利用仪器配备的化学工作站（随机配的色谱软件）对测试结果绘制标准曲线，将标准曲线延长交于横坐标的交点于原点的距离所相应的含量，即为样品测试液待测元素的含量，再以此计算样品中待测元素的含量。标准曲线的线性相关系数不得低于0.995，若测定结果超出线性范围，应该将测试液重新配制，或改变样品加入浓度重测。5.6色度测定5.6.1方法提要按一定的比例将氯铂酸钾、氯化钴和盐酸配成水溶液（铂—钴标准溶液），所得溶液色调与待测溶液的色调在多情况下是相近的，用目视法比较样品与铂—钴标准溶液，可得出样品的色度。5.6.2试剂与溶液本标准中所用标准溶液、制剂及制品按GB601、GB603之规定配制。DB52/T904—201455.6.3500APHA单位铂-钴标准溶液准确称取1.000g氯化钴、1.2455g氯铂酸钾，溶于100ml盐酸和适量水中，稀释至1000ml，摇匀。5.6.4稀铂-钴标准溶液吸取不同体积的500APHA单位铂-钴标准溶液，稀释至100ml，可得不同APHA单位的稀铂-钴标准溶液。计算公式如下：V=500100N式中：V——配制100mLNAPHA单位的铂-钴标准溶液所需500APHA单位铂-钴标准溶液之体积，mL；N——欲配制的稀铂-钴标准溶液的APHA单位数。注：稀铂—钴标准溶液应使用前配制。5.6.5试验器具50mL成套高型具塞比色管。5.6.6分析步骤5.6.6.1取50mL透明样品于比色管中。如样品浑浊应先进行离心，取上层清液测定。5.6.6.2另取比色管9支，分别加入铂钴标准溶液0，0.25，0.50，1.00，1.50，2.00，