金属扫描电镜的制样流程

一、金属样品制备扫描电镜试样样品要求：样品不宜过大，过大的试样需要进行切割操作，切割后的样品经研磨、抛光和腐蚀后便可放到扫描电镜中直接进行观察。切割设备：金属的切割设备选用沈阳科晶自动化设备有限公司生产的型号为SYJ-200外圆切割机，该设备切割金属时切割速度快，切割后的金属表面无热灼伤，表面形态好。耗材：用来切割金属的一般有SiC锯片（一般切割有色金属）、刚玉锯片（一般切割黑色金属）、全烧结金刚石锯片（适用于绝大多数材料）切割辅助设备：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的MTI-3040加热平台，该设备操作简单，温度≤200℃。耗材：陶瓷树脂衬垫、石蜡试样的镶嵌：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的型号为CXQ-2500真空冷镶嵌机、HXQ-50自动热镶嵌机、XQ-2B金相试样镶嵌机都可以作为金相实验镶嵌的设备。耗材：镶料：胶木粉（热镶嵌）；水晶胶、硬性冷镶模、软性冷镶模、弹性样品夹（冷镶嵌）样品的磨抛：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的手动研磨抛光机型号有UNIPOL-820、UNIPOL-830、UNIPOL-1210三种。自动精密研磨抛光机型号有UNIPOL-810、UNIPOL-802、UNIPOL-1202、UNIPOL-1502四种。自动压力研磨抛光机型号有UNIPOL-1000D、UNIPOL-1200S、UNIPOL-1200M、UNIPOL-800M、UNIPOL-1260五种。及双面研磨抛光机UNIPOL-160D一种。耗材：砂纸、金刚石磨片、树脂基金刚石磨片、研磨纸、研抛底片、磨料、抛光垫、抛光液、抛光膏、磁力橡胶样品的清洗：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的适用于金相试样清洗的超声波清洗机的型号有VGT-1620QTD、VGT-1620TD两种。样品表面喷金和蒸碳：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的GSL-1100X-SPC-15E-LD小型蒸镀仪，GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪是电镜实验室喷金和蒸碳常用的最佳设备。耗材：靶材样品观察：将已经导电的试样用导电双面胶粘接到载样台上之后就可以用扫描电子显微镜进行观察了。以上设备和对应耗材沈阳科晶自动化设备有限公司均有销售。金属棒样品MTI加热平台SYJ-200外圆切割机HXQ-50自动热镶嵌机UNIPOL-810精密研磨抛光机VGT-1620TD超声波清洗机GSL-1100X-SPC-15E-LD小型蒸镀仪KYKY-EM8000场发射扫描电子显微镜样品经加热平台加后粘结在样品台上粘结好的样品经外圆切割机切割成合适大小的试样切割后的小样品经镶嵌设备镶嵌镶嵌后的试样经磨抛设备研磨成光亮的表面抛光后的试样经超声清洗干净将不导电的试样进行喷金处理将处理好的样品用扫描电镜进行观察样品放在加热平台上加热