PI工艺流程京东方

Page1BOEHF-Manu团队速度品质Page1BOEHF-Manu团队速度品质PI工艺学习Page2BOEHF-Manu团队速度品质Page2BOEHF-Manu团队速度品质PI工序主要是在TFT&CF基板上涂上一层取向膜,从而为液晶分子在取向膜上形成取向打下基础。PI工序的工艺流程如下：玻璃基板从loader处流入，先经过cleaner对玻璃基板进行清洗，清洗完后在coater处涂布PI液，在PRECURE处挥发部分溶剂，在Inspection处检测涂布效果，在MAC/MIC处宏观抽检印刷涂布效果（主要用肉眼观察检查看有没有白点，黑点，Pinhole，Mura等），微观抽检并测量印刷涂布效果（主要用光学镜头测量EdgeMargin（板边距离）来检查对位情况）。检查后的良品进入MAINCURE处进行挥发溶剂使PI固化，固化后的玻璃基板流入Unloader.工艺设备相关Page3BOEHF-Manu团队速度品质Page3BOEHF-Manu团队速度品质Loader处有四个Port口，其中三个Port口为normal口，一个口为Dummy口专门存放Dummy用。一、工艺设备相关---LoaderPage4BOEHF-Manu团队速度品质Page4BOEHF-Manu团队速度品质Cleaner（清洗机）总述：1Cleaner（清洗机）作用是在PI涂布之前对玻璃基板进行清洗，清除玻璃基板上的污渍，杂质，灰尘等脏东西。为涂布出良好的取向膜做好准备。如果涂布之前清洗机清洗效果不好或者残留有Particle的话，在Coater处就会有不良品出现。2Cleaner部分主要分为Wetwash（湿洗）部和Drywash（干洗）部。一、工艺设备相关---LoaderPage5BOEHF-Manu团队速度品质Page5BOEHF-Manu团队速度品质APPAPP主要是通过把空气电离后产生带有氧化能力的气体以去除玻璃基板上的有机物将其转化成碳氢化合物的一种清洗方式，除去有机物的作用。一、工艺设备相关---LoaderPage6BOEHF-Manu团队速度品质Page6BOEHF-Manu团队速度品质Tank2存放溶剂的地方，该溶剂由水跟洗剂按照一定比例混合形成。同时tank里有加热器，把tank里的混合溶剂加热到40度才可使用。其中一个tank使用，另一个tank为备用。备用tank是准备好了的。随时可以投入使用。当使用的tank清洗了500张玻璃基板后，停止使用并开始重新清洗转为备用状态，而备用的tank转为使用状态。洗剂存放位置，通过电机把存放在该处的洗剂按照一定的比例抽取出来，供给到tank里面形成一定浓度的溶剂以便于用来清洗玻璃基板。两桶洗剂其中一桶使用，另外一桶备用。洗剂型号为LH540.和ECB868tank2tank1一、工艺设备相关---LoaderPage7BOEHF-Manu团队速度品质Page7BOEHF-Manu团队速度品质Hyper-Mix（混合）纯水和高压空气在HyperMix的管道内形成气液混合体（2流体），2流体被高压喷射在基板表面上时，利用高压水的冲刷力和2流体内气泡破裂时产生的剥离力除去基板上的异物粒子。因为2流体内水与空气的混合更均匀，产生的气泡更多也更小因此洗净效果也更好。它的洗净对象是小粒径的异物粒子一、工艺设备相关---LoaderPage8BOEHF-Manu团队速度品质Page8BOEHF-Manu团队速度品质HPS（highpressureshower）把水已高压的形式对基板表面进行喷淋一、工艺设备相关---LoaderPage9BOEHF-Manu团队速度品质Page9BOEHF-Manu团队速度品质IRIR干燥是利用高温加热的方式将残留在基板表面的水分彻底除去。IR干燥只能用于除去少量水分，干燥效果与加热温度和时间有关一、工艺设备相关---LoaderPage10BOEHF-Manu团队速度品质Page10BOEHF-Manu团队速度品质EUVEUV清洗是指在一个封闭的chamber内用UVlamp照射，生成O3及O，利用其强大的氧化能力以去除玻璃基板上的有机物将其转化成CO,CO2,H2O的一种清洗方式.具有杀菌，去除油脂，除去有机物的作用。目的是提高PI印刷的适印性。适合在清洗后，印刷前使用。一、工艺设备相关---LoaderPage11BOEHF-Manu团队速度品质Page11BOEHF-Manu团队速度品质CPOCPO（coolingprocessoffer）主要是对从上游流出来玻璃基板进行冷却使其达到常温状态。其吹出的是cooldryair。一、工艺设备相关---LoaderPage12BOEHF-Manu团队速度品质Page12BOEHF-Manu团队速度品质版酮TABLEGLASSBlade一、工艺设备相关——CoaterCoater（涂布机）作用:是通过转印的方式在已经清洗好的玻璃基板上涂布出一层良好的取向膜AniloxRoll:均胶辊,用于将PI液涂到APR板上,上有小坑[15㎛深],成网状排布Mesh[400Line/inch],倾斜角度[60˚],目的是使PI液涂布均匀.版胴:用于安装APRPlate.Table:印刷时托放Glass，要求平坦度在20㎛以内.Blade:目的是使AniloxRoll上的PI液均匀,分RollType和BladeType.中文译作刮胶辊或刮刀.Page13BOEHF-Manu团队速度品质Page13BOEHF-Manu团队速度品质TableBlade版酮一、工艺设备相关——CoaterPage14BOEHF-Manu团队速度品质Page14BOEHF-Manu团队速度品质陶瓷60度-AniloxRoll一、工艺设备相关——CoaterPage15BOEHF-Manu团队速度品质Page15BOEHF-Manu团队速度品质版酮TABLEGLASSBlade印刷原理：DISPENSER把PI液滴在刮刀上，然后流到刮刀与ANILOXROLL的夹缝里。ANILOXROLL旋转把PI液带走，与此同时刮刀把ANILOXROLL上多余的PI液刮掉，保持ANILOXROLL上的PI液均匀。印刷前ANILOXROLL与版酮上的APR版相捏合，通过捏合力APR版把ANILOXROLL上的PI液挤压出来并带走，开始印刷时版酮移动，把APR版上的PI液转印到GLASS基板上。印刷原理：一、工艺设备相关——CoaterPage16BOEHF-Manu团队速度品质Page16BOEHF-Manu团队速度品质图1，APR版上的对位mark，转印到dummy上。先进行cameraset图2，摄像机镜头自动捕捉normalglass上的对位mark图3，摄像机镜头自动捕捉normalglass上的对位mark与APR版上的对位mark出现偏移的情况图4，摄像机镜头自动捕捉normalglass上的对位mark与APR版上的对位mark重合的情况画像对位系统一、工艺设备相关——CoaterPage17BOEHF-Manu团队速度品质Page17BOEHF-Manu团队速度品质工作台Alignmentsystem工作原理:先在Dummy基板上印刷出图形（见图1）移动机台,使对位标记位于摄像机镜头中心,固定机台位置并保存数据。生产时，摄像机镜头自动捕捉normalglass上的对位mark（见图2），使normalglass上mark与APR版上的对位mark重合。那样就能保证涂布PI液时的准确性。当两个mark出现偏移时，alignmentpin自动前后左右调整，使玻璃基板上的对位标记与APR版上的对位mark重合，此时能够确定玻璃基板在table上的准确位置。（见图3，4，5，6）这样能够确保每次印刷在同一位置。Pin不动，开始真空吸附并固定玻璃基板于table上。松开pin可以开始涂布PI液。图5，6，alignmentpin自动前后左右调整，使玻璃基板上的对位标记与APR版上的对位mark重合一、工艺设备相关——CoaterPage18BOEHF-Manu团队速度品质Page18BOEHF-Manu团队速度品质Doctorroll压入量TablespeedD/R和A/R回转比（％）PI液滴下量印刷要素PI膜厚度控制一、工艺设备相关——CoaterPage19BOEHF-Manu团队速度品质Page19BOEHF-Manu团队速度品质一、工艺设备相关——PrecurePre-cure主要是对前面coater涂布的取向膜进行预固化.去除取向膜的一部分溶剂。使取向膜与玻璃基板有一定的粘合力。另外配向膜在未干燥时易吸附异物，为了防止粘附异物，需要进行预干燥处理。Pre-curePage20BOEHF-Manu团队速度品质Page20BOEHF-Manu团队速度品质Inspection工作原理：当glass流过时camera对基板进行扫描。camera对流过的glass进行连续拍照，计算机记录拍下的数据，然后把数据进行分析，以一个点为基准和相邻的点进行对比，当有异常时计算机自动记录下坐标位置，并以红点的形式显示在屏幕上，当点击异常PANEL上的坐标时，显微镜自动找到异常位置，可以在显示器上观看是什么不良。一、工艺设备相关——InspectionPage21BOEHF-Manu团队速度品质Page21BOEHF-Manu团队速度品质ScanCamerasourceofparallellight一、工艺设备相关——InspectionPage22BOEHF-Manu团队速度品质Page22BOEHF-Manu团队速度品质ReviewCamera一、工艺设备相关——InspectionPage23BOEHF-Manu团队速度品质Page23BOEHF-Manu团队速度品质Inspection：检出配向膜印刷缺陷及印刷膜外观、膜厚均一性主要不良：配向膜漏印、膜厚不均、印刷位置、异物、划伤、基板裂纹等一、工艺设备相关——InspectionPage24BOEHF-Manu团队速度品质Page24BOEHF-Manu团队速度品质一、工艺设备相关——MainCureUNLOADER设备原理Main-cure作用：通过高温加热的方式把glass基板上的PI膜完全转化成PI膜Page25BOEHF-Manu团队速度品质Page25BOEHF-Manu团队速度品质IR(InfraredRay)Heater方式由AirPre-Heater向Chamber内部逐步通入N2Gas预热方式多段加热炉内一直保持负压状态它的目的及优点是①能制造出层流的GasFlow②提高seal的性能③能强制排除shutter打开时进入的外气④能强制排除制程上产生的升华物一、工艺设备相关——MainCurePage26BOEHF-Manu团队速度品质Page26BOEHF-Manu团队速度品质一、工艺设备相关——UnloadercoolingPreFilterExhaustCDACoolingchamber共有22个冷却腔冷却温度：40摄氏度AirCooling方式(空冷式:CDAPurge和水冷)Page27BOEHF-Manu团队速度品质Page27BOEHF-Manu团队速度品质1、TFT和CF进行Sortering处理，保证TFT和CF配对的良率2.工艺设备相关—PICFSorterPage28BOEHF-Manu团队速度品质Page28BOEHF-Manu团队速度品质PIREWORK用化学洗剂来去除GLASS表面的PI膜2.工艺设备相关—PIReworkPage29BOEHF-Manu团队速度品质Page29BOEHF-Manu团队速度品质1、用来测量GLASS的PI膜厚2.工艺设备相关—PIThicknessPage30BOEHF-Manu团队速度品质Page30BOEHF-Manu团队速度品质二、PI主要不良-主要发生原因Glass表面一小块区域没有涂布PI液，或仅涂有较薄一层PI液。主