ESD控制管理办法

XXX电子分厂编号：版本号：A2页次：1/9页数：9ESD控制管理程序更改日期：2017-10-151.目的1.1减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，满足客户需求。1.2通过建立统一的、切实可行的标准来规范各生产车间、不同产品，供应商和外协之间的ESD行为。1.3通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序，用于保证本标准的有效实施。2.范围2.1本规范保护经静电防护的全过程，适用于本公司静电放电防护控制方案的设计、使用、管理、维护和检验，也适用于本公司供应商、外协厂方和合作方等于敏感件相关各方，同时也适用于公司产品的最终用户的静电放电防护控制2.2本规范内容包括制造、处理、组装、安装、测试、检验、包装等在处理电子零件、半成品、成品中，对静电放电损害的敏感度超过或等于人体模式100V、带电器件模型200V及孤立导体35V的情况。对今后处理的静电敏感元器件的敏感电压低于上述三种任何模式中的任何一种时，必须在本规范要求的基础上重新评估，增加相关的特殊防护要求。3.组织结构和职责3.1ESD组织：执行全员参与的原则，总负责人为技术部负责人，负责ESD管理体系的运行，协调ESD工作组内各成员的工作，持续改进ESD运行体系使其满足适宜性，充分性和有效性；3.2工艺技术室：主要负责ESD管理制度的制定、ESD防护的规划、审批和发布ESD技术标准与相关操作规范；组织攻关解决ESD疑难和重大问题、重要问题裁决处理，保障产品质量。3.3品质部：主要负责部门ESD执行情况的检查，定期开展ESD的稽核工作。3.4管理部：负责公司所有员工的培训管理工作。3.5各部门：各部门的负责人为ESD本区域第一责任人，协助对本系统的ESD规范实施、ESD培训、宣传、稽查工作，对本区域内ESD防护措施的落实负责。3.6架构图：ESD总负责人技术部经理生产部负责人生产经理品质部负责人品质经理仓储负责人PMC经理供应商负责人采购经理开发负责人开发经理管理部经理AI车间SMT车间加工组MI生产线维修组车间仓储ESD稽核品质部ESD技术管理工艺技术室元件仓成品仓IQCFQCPQC供应商样板房实验室员工培训与管理烧录房XXX电子分厂编号：版本号：A2页次：2/9页数：9ESD控制管理程序更改日期：2017-10-154.名词解释ESD:静电释放EPA:静电敏感区；UPA:非静电敏感区；ESSD：静电敏感元件；5.静电防护区域及标示5.1我司的防静电工作区：分为一级EPA、二级EPA以及非防静电区域：一级EPA区域：SMT，烧录房,敏感元件仓；二级EPA区域：成型组、老化房、AI、、MI生产线内的返修区及、修工位等所有区域。库房和在线库。实验室、样板房。IQC、FQC。UPA区域：办公室、电工房等不接触静电敏感器件及产品的区域；5.3不同区域的标识：5.3.1局部静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为5~10CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。5.3.2从静电敏感区域的入口处开始,在明显处应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649的规定。如示例图A，具体的标示，见附件。5.3.3防静电台面、器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如示例图B:6、EPA基本的ESD控制措施6.1基本要求：EPA内的环境、作业、设施均需要按照ESD防护要求设计，ESD设计需能重复保护元件及产品免受ESD损伤。6.2EPA环境温湿度控制要求：1）一级EPA环境要求：温度：20~30℃；相对湿度(RH)：40~75%2）二级EPA环境要求：温度：10~33℃；相对湿度(RH)：30~75%3）产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。4)EPA内应配备温度计和湿度计，并按照环境温湿度控制要求，填写记录表。要求每班次上班之前作一次记录。当相对湿度超出规定的范围时，必须通知相关人员采取适当的加湿或抽湿措施，如往地面喷洒适量水（符合XXX电子分厂编号：版本号：A2页次：3/9页数：9ESD控制管理程序更改日期：2017-10-15安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。6.3防静电接地系统:6.3.1接地是静电泻放的关键措施，EPA内必须有独立可靠的防静电接地系统，工作中产生的的静电才能安全有效地泻放，避免静电的累积。防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地体，所有人体、工作台、台垫、工具等以并联的方式接入防静电接地体。6.3.2防静电地线的设置：防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电电荷使用，它不得接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。防静电地线有两种敷设方法：方法1：优选方式。在远离防雷地线和建筑物20m以上的潮湿地面上，选用不少于3根截面积大于100平方的镀锌钢接地棒，一字型间距5米，使用降阻剂深埋2M以上，再用不小于100平方的扁钢将三点焊接在一起，（截面不小于16mm2的铜芯软线）单独引入室内，使用不小于6mm2的铜芯软线连接到车间生产线公共接地点，然后设备、人员、设施使用不小于1.25平方的铜芯软线接入。防静电区域内的台面、设备、仪器、工具及相关人员的防静电接地从公共接地点引入（如图1）防静电接地极公共接地点防静电工作区防静电岗位工作台面备用（可选）防静电专用地线图1采用ESD防静电接地示意图1）防静电区域可以设置单点或多点的公共接地点，公共接地点之间为并联结构，公共接地点到末端接地点采用黄绿色，导线直径不得低于2.5mm2；2）落地的专用设备、测试仪器在使用电气保护接地后没有必要进行防静电接地，电气保护地与设备、仪器外壳必须进行可靠连接。3）严禁使用防静电接地线作为设备保护接地线。方法2：备选方案（电气保护地）。采用三相五线制供电系统中的电气保护地线为防静电地线，引入电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电接地线，工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩与大地连接，电气保护地线到大地的保护接地电阻应小于4Ω。在防静电地不具备的、或特殊场合公共接地点的接地方式可以采用设备保护地，参考图2。1）采用电气保护地与公共接地点连接时，公共接地点与电气保护地（控制箱中）之间的阻抗小于1.0Ω；2）人体腕带、台垫、防静电器具等串连1MΩ的电阻接入公共接地点（软接地），设备、仪器、AC工具等直接接入电气保护地线（硬接地）。3）电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检测维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求电气保护地线到大地的接地电阻小于4Ω。XXX电子分厂编号：版本号：A2页次：4/9页数：9ESD控制管理程序更改日期：2017-10-15NPEL电源接地极LNPE公共接地点交流配电箱负载电器装置外露导体防静电工作区防静电岗位工作台面备用（可选）图2采用ESD防静电接地示意图6.3.3EPA内硬件设施的接地要求：1）EPA内所有仪器、AC工具、金属体及等必须连接到公共接地点上，人体腕带、防静电台垫、防静电地垫、导体和静电耗散的材料防静电器具等需要串接1MΩ电阻（或等效串接1MΩ的电阻）后连接到公共接地配置系统上。接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠、接触电阻小。13E9117810101010131355663124ABBA41231工作台62防静电台垫3台垫接地扣4腕带插孔5防静电器具设备/仪器/工具7防静电地垫8地垫接地扣9防静电工作椅10接地线11防静电地板13防静电地（建筑厂房外）14电气保护接地（建筑厂房外）12落地设备/仪器A、B、C、D、E为串接或等效串接1M欧姆电阻公共接地点公共接地点专用防静电线12LNPE14图3典型的EPA接地系统图XXX电子分厂编号：版本号：A2页次：5/9页数：9ESD控制管理程序更改日期：2017-10-152）防静电工作台的接地采用公共接地点方式，工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙铁）、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插口等都连接到公共接地点。工作台的公共接地点应方便连接，工作台的移动时保证接地系统变化最小。防静电工作区应在合适的位置提供接地端子或香蕉插孔，以便于操作者腕带的接地。3）静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在1×106Ω≤R＜1.0×109Ω（不依赖于相对湿度）。4）防静电工作区第一次安装和移位后，接地电阻应该重新测试，并保证在规格之内。5）为了防止静电敏感器件与工作区内的设备接地导体外壳或大面积的金属（如工作台边缘）偶然接触，这些位置必须覆盖静电耗散材料或通过其他方法隔离。6）所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好，禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件。腕带的接地线应该直接接香蕉插孔，而不应该通过任何其他设施，如工衣，工作表面等接地。7）串联接地是不可接受的一种接地方法。8）由于安全原因，EPA内裸露的大面积金属平面、导体部件都必须直接接地（硬接地）。6.4设备接地要求所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠连接电源系统安全地线。单相电源插头插座必须使用具有接地芯的三芯插头插座，保证仪器工具、设备的外壳都要可靠接地。6.5EPA内人员的静电防护要求：6.5.1防静电手腕的使用：一级EPA和二级EPA内人员作业时，固定位置工作人员必须佩带有绳防静电手腕；6.5.3禁止使用无绳防静电手腕，工作需要高频率移动的人员，可以使用防静电手套和指套代替有绳防静电手环；6.5.2防静电衣、帽、鞋的使用；一级EPA区域内人员，必须穿着防静电衣、帽、鞋方可进入；二级EPA区域内的人员，可不穿防静电衣、鞋，但需佩带防静电帽，穿公司统一配发的厂衣和防尘拖鞋；6.6防静电材料的使用6.6.1包装材料的使用：6.6.1.1静电敏感器件、组件、产品在生产制造、存放和运输中所使用的直接包装层必须是防静电的。直接包装层指和器件直接接触的材料，例如IC包装管、芯片托盘、卷带、防静电泡沫、防静电胶袋、屏蔽袋、吸塑盒等；防静电包装材料可以有效利用供应商的器件来料的防静电包装材料（如IC管、IC托盘等），这些防静电包装材料都可以用于静电敏感器件、组件的直接包装或间接包装。6.6.1.2防静电包装材料的防静电性能要求EPA内所使用的直接包装材料应该是静电耗散材料，要求其防静电性能指标满足：表面电阻Rs：1.0×105Ω≤Rs＜1.0×109Ω；体积电阻Rv：1.0×105Ω≤Rv＜1.0×109Ω；摩擦静电压Vf：Vf100V或在2秒内下降到100V以下；屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于30V。6.6.1.3防静电包装材料必须符合以下一般要求：1)包装及周转用的防静电箱统一使用黑色防静电材料。2)防静电PE薄膜袋、泡罩袋、EPE板、海绵、泡罩带的材料颜色应采用防静电的通用警示颜色，即粉红色或黑色。6.6.2周转材料的使用：6.6.2.1用于EPA内、EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的。其防静电性能应满足：表面电阻Rs：1.0×105Ω≤Rs＜1.0×109Ω；体积电阻Rv：1.0×105Ω≤Rv＜1.0×109Ω；XXX电子分厂编号：版本号：A2页次：6/9页数：9ESD控制管理程序更改日期：2017-10-15摩擦静电压Vf：Vf100V；常用的周转工具有：周转箱、防静电器件盒、防静电成形泡沫盒等。6.6.2.2周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。周转车必须至少有两个轮子是防静电的，在此基础上再增加接地链，缺一不可。使用防静电周转车和周转箱较长时间存放单板（如存放于库房）时，应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口，以保证其防静电效果并防灰尘。6.6.3防静电台面的使用6.6.3.1接触到静电敏感器件、产品的台面、运输平面等，需使用防静电胶皮进行防护；其防静电性能需满足下述要求：表面电阻Rs：1.0×106Ω≤Rs＜1.0×109Ω；底层表面电阻：1.0×103Ω≤Rs＜1.0×105Ω；表面体积电阻Rv：1.0×1