CasaXPS软件应用数据及处理

CasaXPS软件应用数据及处理胡倩倩分析测试中心XPS机组分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU报告大纲OUTLINE分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU1.1CasaXPS软件的下载最新版本2.3.16软件的下载网址是:适用于初学者入门学习的相关视频及pdf文献的下载网址是:://://分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU相关学习视频和pdf文献适于初学者学习下载2.3.16软件分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU打开casaXPS软件文件夹----打开CasaXPS.exe1.2CasaXPS软件的安装分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU选择右上角的?按钮分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU输入用户名和密码----点击UpdateLicense按钮即可用户名：H368SJTUSiteLicense密码：1ddfb分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU2.CasaXPS软件的界面•原始数据：vms格式•File----Open（打开单个vms文件）----Openandmerge（打开多个vms文件）----Close（关闭vms文件）----Saveas（存储vms文件）分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTUZoominZoomoutBE/KECPS/COpenOpenCloseOpenandmergeCloseSaveasPageLayoutTileDisplayQuantifyWideQuantifyElementProcessingAnnotation分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•快捷键：F1----先点亮单个元素，再按快捷键F1，即可选中相应的元素（或者直接双击相应的元素）F2----先同时点亮几个元素，再按快捷键F2，即可对比相应的元素F3（Zoomout）----缩小所选区域F5（PageLayout）----可以选择16种不同的页面布局BE/KE----对数据的横坐标进行BE（结合能）和KE（动能）的转换CPS/C----对数据的纵坐标进行CPS（计数率）和C（总数量）的转换，一般用CPS作纵坐标分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•多个图叠加：有多组数据，对比同一元素，可以先全选中这一列，再点击左上角的符号。分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.1全谱扫描分析•双击选中survey----按F10可以出现ElementLibrary分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•单击Periodictable（或者Elementtable）----选择相应的元素分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•单击Createregions，即可产生相应元素的区域（并含有峰名：如C1s）•使用Quantify键可以进入每个区域进行调节并调整区域的大小•Atomic%会相应的发生变化•有些区域需要手动添加分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.2区域和背景•量化区域的主要目标是界定能量的范围，除去不属于峰的背景分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•选择Options----Quantify----Regions----Create----调整区域的范围2Ctrl分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•点击end----按住键盘上的Ctrl----点击BGType，会出现下面的对话框，可以选择各种类型的Backgroud。分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•Linear一般多用于聚合物；Shirley一般多用于金属元素，尤其是单峰，可以用两个单独的区域来表达一个双峰（doublets）。•‘OS’指offsetShirley（合并了linear和Shirley,只在v.2.3.13版本中出现)，可能主要用于双峰。•在选择背景格式的时候要小心，因为选择不同的background会对数据产生不同的分析效果。•对于同一批数据，所选用的background必须是同一种格式的。•一个图里面可以有两个区域，但是这两个区域不能重叠。分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.3峰形•CasaXPS软件默认的峰形是GL(30)，这个主要用于Kratos系统。•对于来自SSI系统的数据，GL(15)应该能够提供更好的拟合。–要改变系统中默认的GL(30)，首先要在Casa文件夹中找到CasaXPS.lib文件。–用Excel打开文件，把GL(30)整列变成GL(15)。•GL(x)是高斯-洛仑兹峰形，这里的X代表洛仑兹的百分含量。–GL(0)代表100%高斯峰形，AnalyzerresolutionisGaussian。–GL(100)代表100%洛仑兹峰形，X射线线指洛仑兹线。分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTUPurple:GaussianBlue:Lorentziansamepeakareas分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.4校准数据•一般用CC1s1s校准数据；•首先对全谱进行校准，先点亮全谱----Options----Processing，会出现SpectrumProcessing的对话框（如下图）----Calibration----在True处输入284.8----在Mearument处输入真实峰的结合能位置----Apply；•其次对单个元素谱峰进行校准，方法和对全谱的校准是一样的。分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•先点亮全谱或某个元素谱----Options----Processing，会出现SpectrumProcessing的对话框（如下图）----ProcessingHistory----点亮某条ProcessingCommand----Remove分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.5拟合数据（Peaks/Components）•点亮要分峰的元素谱峰----Quantify----Regions----Create----调整区域的范围----Components----Create。–如果峰是在元素表里选择的，每个分峰都会有相应的名字（比如：Au4f7/2）；–也可以在分峰表里‘Name’那一栏里输入“Au4f7/2”等来获得相应的RSF值；分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU–Components----Create可以点击Quantify----TileDisplayParametrs----Display----Residual，红圈处线条越接近直线，Residual值越小，拟合的效果越好；–如果有比较大的负向的峰值出现的话，说明这里需要插入一个新的峰；分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•可以拖动峰的顶部来改变峰的面积和峰的位置；•也可以拖动峰的边缘来改变峰的半峰宽（FWHM）；•根据需要的Components的次数，重复上述操作；•Components的峰也可以选择相应的峰----Cut来删除。分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU•分峰不仅可以用于单个元素峰，也可以用于重叠的峰；•比如下图中的铜和铝峰：分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.6自旋轨道裂分•可以用上表中的面积比或其他理论值来限制峰的形状分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.7限制（componets）•在输入一些数值后，按enter键，才能保证输入的数值有效。•Position（eV）–一般在知道化学位移的情况下进行峰位置的限制；–峰位置的数据形式是（X，Y），这里的X是下限，Y是上限；–A+1.4的意思是该峰的位置比A峰的位置高1.4eV。•FWHM会随着化学位移的改变而变化•