单晶炉热场结构试卷

一、填空题1.的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场，能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成，或者根本无法引晶。2.直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的，是指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。3.是热场中很重要的部件，是直接的发热体，温度最高的时候可以达到1600℃以上。4.加热器、电极的材质是5.硅单晶分厂CZ1#厂房所用加热器的形状是。6.三瓣埚也称，是用来盛放。7.加热器上的连接孔，是利用来连接的。8.石墨电极的作用，一是平稳地支撑，二是通过它对加热器。9.CZ1#厂房的保温罩有种，分为、和。10.、共同构成了石墨坩埚的支撑体。11.保温盖由、和组成。12.热场的安装顺序是、。13.是指单位距离内温度的变化率。14.为晶体的纵向温度梯度，为晶体的径向温度梯度。15.为熔体的纵向温度梯度，为熔体的径向温度梯度。16.为生长界面处的纵向温度梯度，为生长界面处的径向温度梯度。二、单项选择题1.加热器是的材质是（）A高纯石墨B高纯石英C陶瓷D石棉2.三瓣埚也称（）A石英坩埚B石墨坩埚C坩埚托杆D坩埚托盘3.热场也称（）A温度场B磁场C电场D电磁场4.静态热场中，沿着加热器中心轴线测量，也就是纵向方向，（）A中心温度最高B中心温度最低C没有最高温度D没有中心温度5.静态热场中，沿着加热器径向方向，（）A中心温度最高B中心温度最低C没有最高温度D没有中心温度6.石墨托杆和石墨托盘是用来支撑（）A石英坩埚B石墨坩埚C中保温罩D加热器7.石墨坩埚是用来盛放（）A石英坩埚B原料C加热器D石墨托盘8.压环是放在什么部件的上面（）A保温盖B上保温罩C导流筒D加热器9.晶体生长过程中，单晶硅的纵向温度梯度，离生长界面越远（）A温度越低B温度越高C温度呈抛物线D温度时高时低10.CZ1#厂房中，加热器的形状是（）A球形B直筒式C杯状D螺旋状11.用来连接加热器和石墨电极的是（）A石墨螺栓B石英环C石墨托杆D电极护套三、多项选择题1.热场的安装顺序是（）A由下到上B由上到下C由内到外D由外到内2.保温盖是否下列哪些组成（）A保温上盖B保温下盖C保温碳毡D压环3.石墨螺栓是用来连接（）A加热器B石墨电极C石英环D托杆护套4.热场有（）A静态热场B动态热场C电场D磁场5.安装石墨电极时，（）A必须左右对齐B处在同一水平面上C不可倾斜D可以倾斜6.石墨电极的作用，（）A用来平稳加热器B通过他对加热器加热C用来连接加热器D用来防止漏硅7.CZ1#厂房的保温罩分为（）A上保温罩B中保温罩C下保温罩D保温盖8.石墨坩埚是由什么支持的?（）A石墨托杆B石墨托盘C加热器D下保温罩四、判断题1.石墨坩埚即三瓣埚，一定是三瓣合体的。（）2.每次拆炉后，都要例行检查同心度。（）3.安装热场时，托碗必须与坩埚轴对中（）4.安装热场时，加热器必须与托碗对中（）5.安装热场时，保温罩不需要与加热器对中。（）6.安装热场时，保温盖不需要与加热器对中。（）7.热场也称温度场。（）8.新的热场只需要煅烧一次。（）9.热场用过之后，再也不需要煅烧。（）五、简答题1．硅单晶分厂CZ1#厂房是使用的热场是由那些部件组成(写出至少10个)？2.温度梯度的定义？SdTdy、SdTdr、LdTdy、LdTdr、SLdTdy、SLdTdr分别表示？3.合理的热场，其温度分布应该满足如下条件？4.描述一下静态热场的温度分布？（可画图演示）5.请画出各段的结晶界面曲线，并说明各过程中SLdTdr的变化情况？