原子层沉积装置维修保养

原子层沉积装置维护保养规程设备名称：原子层沉积装置型号规格：KMD-200E编制人：设备负责人：所在单位审核：院主管单位审批：北京有色金属研究总院2015年11月1日1概述PEALD-200E等离子体增强型ALD设备使用了许多电气部件和机械部件。在使用该ALD设备的过程中，由于零部件使用寿命、部件故障或用户失误等原因，这些部件需要进行更换或者会导致出现设备故障等问题。如果出现设备故障，请联系专门参加过PEALD-200E等离子体增强型ALD设备的技术培训或者科民电子客户服务部门组织的专业培训的工程师。2如何更换前驱体源（1）关闭需要更换前驱体源的源瓶的手动阀。（2）打开需要更换前驱体源的源瓶的电磁阀（V2～V6），充分吹扫电磁阀的气体管路。（3）关闭需要更换前驱体源的源瓶的电磁阀（V2～V6）。（4）检查需要更换前驱体源的源瓶的手动阀是否已完全关闭。（5）取下源瓶的手动阀和电磁阀之间的VCR垫圈。（确认取下了VCR垫圈。）（6）更换源瓶。（7）在源瓶的手动阀和电磁阀之间装上新的VCR垫圈。（确认装上了新的VCR垫圈。）（8）打开已更换的源瓶的电磁阀，并吹扫电磁阀的气体管路。（9）检查腔室的真空状态，检查漏气情况。（10）关闭已更换的源瓶的电磁阀。（11）打开已更换的源瓶的手动阀。3常见问题处理方法（1）设备无法开机。如果设备无法开机，请检查电源是否已正确连接，工作间电源总开关或分开关是否已打开。如仍有问题，请及时联系嘉兴科民电子售后服务部门。（2）设备正常开机，但操作界面上的部分按钮不起作用。设备能正常开机，但点击操作界面上的部分按钮，该操作按钮不起作用，即点击按钮后，其对应的部件没有反应，造成这种原因的有可能是（i）、工控机的Windows操作系统出现故障（如死机等）；（ii）、这些按钮通常是与气动电磁阀有关的按钮，对应的气动电磁阀出现漏气故障，造成压力过低，无法促动电磁阀动作或者对应的气动电磁阀已损坏，无法完成相应的动作。解决该故障的方法是（i）、重新启动工控机和Windows系统；（ii）、检查该按钮对应的气动电磁阀是否存在漏气，如有漏气，更换或维修，如果气动电磁阀损坏，更换一个新的气动电磁阀。（3）设备的本底真空达不到工艺要求。本设备的本底真空设计值≤5×10-5Torr，如果在设备运行过程中发现设备的本底真空达不到设计要求，请检查气体管路连接处的气密性和腔室舱门的密封垫圈是否老化或损坏，如果管路接头存在漏气，请重新拧紧接头，拧紧时注意O型密封圈和卡套的状况是否完好，如果出现损坏，请及时更换，如果腔室舱门密封垫圈老化或损坏，请更换一个新的垫圈。另外，请经常检查真空泵油油位和油质，定期更换真空泵油，如果油位过低，请及时添加真空泵油，如果真空泵油污染太严重，请及时更换真空泵油，确保真空泵工作正常，因为油位过低和油质变差均会影响真空泵性能，造成设备本底真空达不到设计要求。一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。（4）射频模块没有放电（即不能起辉）。腔室内部压力过高或过低均会导致射频模块无法起辉（放电），因此射频放电需要一定的工艺压力，并保持该工艺压力不变。射频放电过程中腔室内部压力不稳定有可能会损坏设备。射频模块不放电，有可能（i）、射频电源出现故障；（ii）、腔室内部压力过高或过低；（iii）、射频线缆出现泄漏，射频泄漏会干扰质量流量计MFC的读数，从而导致腔室内部压力产生偏差；（iv）、匹配器未调节好。解决办法包括（i）、维修或更换射频电源；（ii）、调节腔室内部压力，使其稳定在规定压力下；（iii）、更换射频线；（iv）调节匹配器，使其达到最佳匹配点。注意：调试射频模块时，务必停止样品台Heater的加热，否则可能会损坏设备。