静电电容式RF MEMS开关测量系统研制

静电电容式RFMEMS开关测量系统研制指导老师：彭倍答辩人：吴强学号：27080030061Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院主要内容2020/1/19课题概述静电电容式RFMEMS开关原理光学原理测量系统搭建测量结果分析总结2Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院课题概述2020/1/19RFMEMS开关：射频微机械开关，RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。特点：插入损耗小、隔离度高、线性度好、功耗低等应用：雷达、电子对抗、通信等领域3Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院课题概述2020/1/19课题任务：通过对静电电容式RFMEMS开关的研究，设计并搭建一种测量开关薄膜振动的系统。系统指标：开关时间响应，pull-in电压4Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院静电电容式RFMEMS开关原理2020/1/19驱动方式：静电耦合方式：电容5开关横截面示意图Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院静电电容式RFMEMS开关原理2020/1/196通过上下电极的静电力来实现开关动作施加驱动电压，上电极被拉下，信号导通撤掉驱动电压，上电极恢复原位置，信号关断Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院光学原理2020/1/197激光干涉测量是以激光为光源，以激光波长或激光频率为基准，利用光的干涉原理进行精密测量的方法。稳定干涉条件：振动方向相同，频率相同，相位一定激光干涉具有快速、高准确测量的优点Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院光学原理2020/1/198光学干涉原理光路图Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院光学原理2020/1/199Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院光学原理2020/1/1910Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院测量系统搭建2020/1/1911Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院测量结果分析2020/1/1912Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院测量结果分析2020/1/1913开关位移、时间、驱动电压关系曲线驱动电压与开关位移变化曲线由上图得到pull-in电压大约为8VMicro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院总结2020/1/19特色点利用光学干涉测量微小位移将被测量转化为电信号测量14Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院总结2020/1/19进一步工作：提高测量的准确性对RFMEMS开关其他性能进行研究15Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院致谢2020/1/19感谢母校电子科技大学四年的培养！感谢机械电子工程学院领导、老师对我的辛勤栽培和谆谆教导！感谢彭倍教授对我的亲切关怀和悉心指导！感谢父母对我的鼓励和支持！16Micro-andNanomechanicsLaboratoryDepartmentofMechanicalEngineering机械电子工程学院2020/1/1917Thanks！