Spectro 辉光放电直读光谱仪介绍

DischargeOpticalEmissionSpectroscopy辉光放电直读光谱仪(GD-OES)--完成表面深度分布及元素含量分析的理想手段激发光源样品激发原理图直流光源结构图辉光放电光谱仪结构图样品光电倍增管出射狭缝入射狭缝聚焦透镜辉光放电光源罗兰圆全息凹面光栅辉光放电光谱仪功能表面深度分布分析元素含量分析Weight%Depth(Micrometers)CrCrNiNPx5Fe元素含量分析浓度值强度值锌合金中铝含量的校准曲线0.31%14ppm表面深度分布分析•溅射率数据库(DC和RF光源)•经过溅射率修正后使用原始校准曲线•表面深度分布分析溅射率数据库(DC和RF光源)表面深度分布分析的准确度取决于溅射率的准确率溅射率数据库(DC和RF光源)表面深度分布分析浓度值溅射率修正强度值多基体中铝含量的校准曲线•经过溅射率修正后使用原始校准曲线表面深度分布分析•溅射率数据库(DC和RF光源)铜铝合金标样铝标样纯铁/纯铜中铝标样锌基铝标样校准曲线光强度多基体中铝含量的校准曲线表面深度分布分析铝标样校准曲线铜铝合金标样锌基铝标样纯铁/纯铜中铝标样光强度表面深度分布分析辉光光谱仪的优势“冷光源”使得具有最低的背景干扰都采用原子谱线进行分析动态线性范围最大ppm-100%分析波长范围120nm-800nm；能对包括H,O,N,Cl等元素在内的几乎所有元素进行准确定量分析在固体样品中元素的最佳检出限可达0.1-10ppm高溅射率时能在几分钟内溅射到200um表面硬化处理13%碳氮渗表面处理11%镀镍业7%热处理行业6%镀金业8%镀锌业24%其他17%镀锡业4%镀铬业4%铝焊接3%镀铝业3%表面分析的应用领域应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层元素含量分析钢铸铁：白口铸铁，灰铸铁，高合金铸铁纯金属及各种合金（CuZnNiCoPbSnAlWTi等)金属粉末，炉渣多孔材料(采用特殊样品夹)薄片样品：0.08mm以上线材，丝材样品紧固件等小样品弹簧元素含量分析表面深度分析•热化学处理-渗碳，渗氮，碳氮共渗•锌镀层(热镀，电镀）•磷化层，铬化层•锡，黄铜，铬，镍，铜，镉镀板•物理蒸汽沉积（PVD）/化学蒸汽沉积（CVD）(TiN,TiCN,TiAlN,CrN,Al2O3...)•覆膜层•锡有机涂层•彩涂钢板应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层GD-OES优越性GD-OES:冷光源溅射（而非重熔）-低背景定量线形范围ppm-100%连续辉光（无频闪效应）-高稳定性高铬铸铁CSPSiCrAverage%Certified%Std.Dev.%RSD%3.560.0130.0150.3930.313.570.0130.0140.3930.30.0210.00060.00020.00340.0730.584.71.40.860.24白口化高炉生铁CSPSiCrAverage%Std.Dev.%RSD%3.270.0080.0714.960.0140.0210.00010.00040.0230.00030.6410.530.461.95分析表现石灰铜粉铝粉模装压片炉渣炉渣压片样品卡具工具钢嵌入有机胶用2.5mm阳极激发紧固件应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层NiC基材元素含量分析CrAlSnCuSPMnSiMoNbTiBVZn锌中元素含量分析SiPbFeAlCr表面深度分析ZnPbPZnSnSiFeAlMetallicOrganicTiPbMoCrFeSiCa镀锌生产线控制钢板熔融锌池成品镀层分析CleaningHeatingCoolingCuringOrganicCoating火花直读光谱仪原子吸收光谱仪X荧光光谱仪X-RAY工艺过程控制模式-1NiC基材元素成分分析CrAlSnCuSPMnSiMoNbTiBVZn熔融金属取样分析SiPbFeAlCr表面镀层分析ZnPbPZnSnSiFeAlMetallicOrganicTiPbMoCrFeSiNiC基材元素成分分析CrAlSnCuSPMnSiMoNbTiBVZn熔融金属取样分析SiPbFeAlCr表面镀层分析ZnPbPZnSnSiFeAlMetallicOrganicTiPbMoCrFeSi辉光放电光谱仪CHNS金属镀层基材有机涂层深度分布分析元素含量分析工艺过程控制模式-2辉光放电技术获取的信息...镀层成分-主量元素…少量和微量元素镀层厚度基材成分%镀层重量Weight%Depth(Micrometers)ZnAlSiPbMnCFe应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层热浸镀-镀层中全铝重量重量百分比深度(um)辉光光谱测定值:0.40g/m2ChemicalValue:0.38g/m2ZnZnZnFeFeAlAlAlAlAlx50ZnFeAlAlAlx50-5mg/m2=7mg/m2热浸镀-表面层铝重量重量百分比辉光光谱测定值:深度(um)测定锌镀层重量测定镀层中全铝重量测定表层中铝重量获得相关数据仅需要几分钟时间另外，表面深度分布分析还可以给出如下信息：镀层厚度，过渡层结合情况镀层均匀度热浸镀-辉光光谱的应用结合层污染物鉴定Zn/Ni镀层应用范例钢板表面清洁度涂镀工艺过程中污染Zn/Ni镀层-未污染Weight%Depth(Micrometers)ZnNiCFeMnCx200FeMnx100ZnNix5Weight%Depth(Micrometers)ZnNiCFeMn钙污染Cx200FeMnx100ZnNix5Cax5Zn/Ni镀层-钙污染应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层辉光光谱：检测和鉴定缺陷热镀钢板应用检测和鉴定夹杂物气泡应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层退火-退火前的镍镀层重量%深度（微米）NiNiFeFeFeFeNiNi退火-退火后的镍镀层重量%深度（微米）应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗辉光光谱：跟踪工艺过程在渗氮工艺中的应用氮的富集过程分两个步骤氮的扩散渗氮工艺-离子处理Intensity%Time(Seconds)NNNFeFeMoMoCCNitride'Nitride碳氮共渗工艺控制CO2NH3CO2NH3最佳工艺成品控制原材料控制失败工艺CO2NH3CO2NH3碳氮共渗工艺控制Weight%Depth(Micrometers)NNCCFeFeCx10Nx10FeFeNC碳氮共渗最佳工艺Weight%Depth(Micrometers)Nx10Cx10FeNNFeCCFeFeNNC失败工艺碳氮共渗应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线镀锡-锡镀层/结合层/基材Weight%Depth(Micrometers)SnFeFeCrMnWeight%Depth(Micrometers)SnFeFeCrMn镀锡-不同温度作用应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制铝覆膜两层铝箔高压下加热空调，散热器及相关产品汽车工业飞机铝蒙皮航空工业界面元素迁移造成的问题(主要Cu)表面污染造成的问题(Mg,Cu)Weight%Depth(Micrometers)AlMnx100Cux10Mgx10Fex100Six100FeFeSiSiAlAlMnCuMg铝覆膜Weight%Depth(Micrometers)AlMnx10Cux10Mgx10Fex100Six100AlAlMnCuCuMgMgSiMg迁移Cu迁移铝覆膜-界面元素迁移铅Sn2%+CaPb+Sb4%Pb+Sb4%Side1Side2铅覆膜Weight%Depth(Micrometers)PbPbSbSnCaSn铅覆膜-两层对比应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)黄铜镀层工艺过程控制黄铜涂镀板卷方向板卷垂直方向钢板镀层钢板取样点钢板黄铜镀层CuZnFeFeCuZn黄铜镀层-均匀度镀层重量%镀层深度(微米)板卷方向FeCuZn板卷垂直方向CuZnFe镀层重量%镀层深度(微米)黄铜镀层-均匀度应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氮化钛-原子比测定Atomic%Depth(Micrometers)TiNOFeAtomic%Depth(Micrometers)FeOTiTiN氮化钛-原子比测定氮化锆(PVD)NZrCrNiCuZnAtomic%Depth(Micrometers)NNZrZrZrCrNiAtomic%Depth(Micrometers)氮化锆(PVD)-局部放大TiN/CrN/…/钢基材应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层电子工业应用鉴别铜上银镀层中的夹杂镀银应该为亮银色环境大气的元素污染镀层颜色变成黄色或橙色问题的发生：铜镀银实际样品理想样品:亮银色污染样品:黄色或橙黄色2mmDia.(.079”)35mmLength(1.4”)理想样品深度分布分析AgAgAgCuS局部放大镀层重量%镀层深度(微米)AgAgCuAgS污染样品深度分布分析镀层重量%镀层深度(微米)局部放大分析结果对比AgAgCuAgSS镀层重量%镀层深度(微米)局部放大应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层薄氧化层-钴合金上的氧化铬Weight%Depth(Micrometers)CrOCoCrNi应用范例元素含量分析控制电镀生产线镀层工业控制热浸镀缺陷分析退火控制渗氮，碳氮共渗镀锡钢板生产线覆膜层控制均相镀层(钢铁镀黄铜)镀层夹杂控制(铜镀银)物理蒸汽沉积镀层(PVD)氧化层非导体涂层非导体涂镀层的深度分析RF-GDOES陶瓷玻璃瓷釉油漆氧化物表面磷化处理金钢石有机涂层-蓝油漆TiNiSiCMgAlCrTiMgCrSrZnAlFe有机涂层-灰油漆TiCNiMgMgSiAlCrCrSrZnA