ICP-MS

电感耦合等离子体-质谱法InductivelyCoupledPlasma–MassSpectrometry(ICP-MS)同时测定痕量多元素的无机质谱技术目录ICP-MS的起源和发展ICP-MS系统组成及工作原理1.电感耦合等离子体2.ICP与MS的接口(Interface)3.质谱仪4.ICP-MS样品引入系统（进样方式）5.质谱图及其干扰ICP-MS分析应用总结：ICP-MS方法的性能及特点ICP-MS的起源和发展1、1960s~70s，问题的提出电感耦合等离子体-原子发射光谱技术(ICP-AES)火花源无机质谱用于痕量元素分析(SSMS)优点：痕量多元素同时测定分析速度快、样品引入简单缺点：光谱干扰严重优点：谱图简单，分辨率适中，检出限低缺点：样品制备困难，分析速度慢常规离子源效率低ICP-AES+SSMSICP-MS分析速度：4~6个样品/小时m/z记录范围：6~238（Li~U）单同位素元素灵敏度：0.1mg/g精度：~25%全质量范围内的自动扫描操作者对离子源的控制程度尽可能小应用范围：地质研究2.ICP-MS最初的性能设计要求(1971,3)KeyPoint:连续高压离子源和质谱真空室之间的接口技术ICP-MS的起源和发展3.元素分析的质谱时代1980，Houk&Fassel首次发表ICP-MS联用技术的工作(两级真空接口技术，AmesLab.,IowaUniver.,USA)1983,“匹兹堡化学年会”，第一台ICP-MS商品仪面世(Elan250,Sciex)1990，“IthastrulybecomeatechniqueforMASSES”(Dr.Koppenaal)2000，全世界共有3500~4000台ICP-MS仪器国内：中国科技大学，南京大学，中山大学，南开大学，北京大学，中国地质大学，北京科技大学，浙江大学，厦门大学；中科院高能物理所，广州地化所，长春应化所，生态环境研究所，国家标准物质研究中心，北京有色金属研究总院，国家地质中心，原子能所……ICP-MS的起源和发展ICP-MS检测限及质量分析范围ICP-MS的起源和发展ICP－MS分析性能测定对象：绝大多数金属元素和部分非金属元素检测限：110-5(Pt)~159(Cl)ng/mL分析速度：20samplesperhour精度：RSD5%离子源稳定性：优良的长程稳定性自动化程度：从进样到数据处理的全程自动化和远程控制应用范围：地质、环境、冶金、生物、医药、核工业可测定同位素的比率ICP-MS的起源和发展原子质谱分析包括下面几个步骤：原子化将原子化的原子大部分转化为离子离子按照质荷比分离计数各种离子的数目ICP-MS系统组成及工作原理ICP-MS主要分为以下几类：四极杆ICP-MS高分辨ICP-MS（磁质谱）ICP-TOF-MS。BasicInstrumentalComponentsofICP-MSMassSeparationDeviceICPTorchRFPowerSupplyNebulizerSprayChamberMechanicalPumpTurboMolecularPumpTurboMolecularPumpIonOpticsIonDetectorMSInterface进样系统等离子体源接口质谱仪ICP-MS系统组成及工作原理ICP-MS系统组成及工作原理进样系统等离子体源接口质谱仪ATypicalICP-MSin1990s(PE,PlasmaQuadII)ICP-MS系统组成及工作原理ATypicalICP-MSLaboratoryin2000s(PE,SciexELAN6000)样品通过离子源离子化，形成离子流，通过接口进入真空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦截，而正离子正常通过，达到聚焦效果。在分析器中，仪器通过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器，在检测器中对进入的离子个数进行计数，得到了最终的元素的含量。ICP-MS系统组成及工作原理离子源接口离子镜分析器检测器1.电感耦合等离子体等离子体的一般概念等离子体指的是含有一定浓度阴阳离子能够导电的气体混合物。在等离子体中，阴阳离子的浓度是相同的，净电荷为零。通常用氩形成等离子体。氩离子和电子是主要导电物质。一般温度可以达到10,000K。ICP-MS系统组成及工作原理电感耦合等离子体物理构件1.石英炬管(Fassel型)2.耦合负载线圈（2~3圈水冷细铜管）1.射频发生器（提供能量）2.Tesla线圈（点火装置）ICP-MS系统组成及工作原理冷却气：等离子体支持气体，保护管壁辅助气：保护毛细管尖雾化气：进样并穿透等离子体中心（常用Ar,N2,He等惰性气体）石英炬管及载气由三个同心石英管组成，三股氩气流分别进入炬管。ICP-MS系统组成及工作原理ICP焰炬的形成形成稳定ICP焰炬三个条件：高频电磁场、工作气体以及能维持气体稳定放电的石英炬管。在管子的上部环绕着一水冷感应线圈，当高频发生器供电时，线圈轴线方向上产生强烈振荡的磁场。用高频火花等方法使中间流动的工作气体电离，产生的离子和电子再与感应线圈所产生的起伏磁场作用，这一相互作用使线圈内的离子和电子沿图市所示的封闭环路流动；它们对这一运动的阻力则导致欧姆加热作用。由于强大的电流产生的高温，使气体加热，从而形成火炬状的等离子体。ICP-MS系统组成及工作原理等离子体工作原理(b)加电磁场(a)通气点火(c)(d)碰撞电离(e)形成ICPICP-MS系统组成及工作原理样品溶液在ICP中的历程气溶胶M(H2O)+X-固体(MX)n气体MX原子M离子M+InductionzoneICP-MS系统组成及工作原理2.ICP与MS的接口(Interface)离子的提取采样锥(samplingcone)截取锥(skimmercone)离子的聚焦离子透镜组真空系统一个机械泵一个分子涡轮泵ICP-MS系统组成及工作原理离子的提取ICP-MS系统组成及工作原理采样锥截取锥采样锥截取锥离子透镜组的聚焦作用截取锥后正离子之间的排斥作用ICP-MS系统组成及工作原理在截取锥之后，正离子之间的排斥作用会使得整个离子束发散。其中质量较大、动能较大的正离子集中在离子束中央区域，而质量较小、动能较小的正离子则被排斥到边缘区域。为了解决这个问题，必须使用离子透镜组对他们进行聚焦。ICP-MS系统组成及工作原理离子透镜组的作用机制离子透镜是一组电极，在离子束通过的地方形成具有双曲线特征的电势等高线，从而实现正离子聚焦和偏转，电子在此过程中被发散。右图中前三组透镜用于离子束聚焦，后两组用于离子束偏转。与离子束一起过来的光子和中性分子被金属板挡住后，由与质谱相连的第三级真空系统抽走。这样进入质量分析器的就只有正离子。离子镜主要目的是去除电子和中性微粒的影响，对正电子实现聚焦。3.质谱仪射频和直流电场同时作用下的振动滤质器ICP-MS系统组成及工作原理四极杆质谱双聚焦扇形磁场质谱N.Jakubowskiaet.al.,SpectrochimicaActa53B(1998)1739–1763方向聚焦和动能聚焦扇形磁场偏转分离静电分析器消除相同质量离子间的动能差别具有更高的分辨率ICP-MS系统组成及工作原理飞行时间质谱(Time-of-flightMS)M.Balcerazak,AnalyticalSciences19(2003)979-989各离子动能相同，飞行速度不同分析速度远大于四极杆质谱ICP-MS系统组成及工作原理4.ICP-MS样品引入系统（进样方式）固体激光烧蚀氢化物ICP-MS系统组成及工作原理雾化器高速气流在毛细管尖形成负压，带动样品溶液从管尖喷出雾化为小液滴雾室液滴与雾室内壁碰撞，较大的液滴聚集为废液流出；较小的液滴分散为气溶胶进入ICPMeinhard同心玻璃雾化器对液体试样的雾化ICP-MS系统组成及工作原理流动注射进样(a)Sampling(b)Injection样品用量少对溶液TDS和粘度要求不高设备简单灵活ICP-MS系统组成及工作原理氢化物发生/气体发生进样优点:~100%传输率；与溶液基体充分分离；具有预富集的效果氢化物发生器M+NaBH4MHn+BH3+Na+(M=As,Bi,Ge,Pb,Sb,Se,Sn,Te,Cd,Hg*)ICP-MS系统组成及工作原理电热蒸发直接进样进样量少传输率高(60%)可预先除去溶剂可预先除去基体F.Vanhaeckeet.al.AnalBioanalChem.17(2002),933-943ICP-MS系统组成及工作原理仪器原理优点：原位无损分析重现性好，线性范围宽适用样品类型多（钢铁、陶瓷、矿物、核材料、食品）缺点：检测限较差基体干扰严重定量校准方法不理想D.GuntherUet.Al.,SpectrochimicaActaPartB541999381-409激光烧蚀法——原位(insitu)探测技术ICP-MS系统组成及工作原理5.质谱图及其干扰ICP-MS的图谱非常简单，容易解析和解释。但是也不可避免的存在相应的干扰问题，主要包括光谱干扰和基体效应两类。光谱干扰和基体效应一般来讲可以通过相应的手段加以抑制和降低，但难以完全消除。因而在实际工作中要有针对性的采取各种方法提高分析准确性。ICP-MS系统组成及工作原理光谱干扰：当等离子体中离子种类与分析物离子具有相同的质荷比，即产生光谱干扰。光谱干扰有四种•同质量类型离子•多原子或加和离子•氧化物和氢氧化物离子•仪器和试样制备所引起的干扰ICP-MS系统组成及工作原理同质量类型离子干扰同质量类型离子干扰是指两种不同元素有几乎相同质量的同位素。对使用四极质谱计的原子质谱仪来说，同质量类指的是质量相差小于一个原于质量单位的同位素。使用高分辨率仪器时质量差可以更小些。周期表中多数元素都有同质量类型重叠的一个、二个甚至三个同位素。如：铟有113In+和115In+两个稳定的同位素前者与113Cd+重叠，后者与115Sn+重叠。因为同质量重叠可以从丰度表上精确预计．此干扰的校正可以用适当的计算机软件进行。现在许多仪器已能自动进行这种校正。ICP-MS系统组成及工作原理多原子离子干扰多原子离子(或分子离子)是ICPMS中干扰的主要来源。一般认为，多原子离子并不存在于等离子体本身中，而是在离子的引出过程中。由等离子体中的组分与基体或大气中的组分相互作用而形成。氢和氧占等离子体中原子和离子总数的30％左右，余下的大部分是由ICP炬的氩气产生的。ICPMS的背景峰主要是由这些多原子离子结出的．它们有两组：以氧为基础质量较轻的—组和以氩为基础较重的一组，两组都包括含氢的分子离子。例：16O2+干扰32S+ICP-MS系统组成及工作原理氧化物和氢氧化物离子干扰另一个重要的干扰因素是由分析物、基体组分、溶剂和等离子气体等形成的氧化物和氢氧化物。它们几乎都会在某种程度上形成MO+和MOH+离子，M表示分析物或基体组分元素，有可能产生与某些分析物离子峰相重叠的峰。例如钛的5种天然同位素的氧化物质量数分别为62、63、64、65和66，干扰分析62Ni+、63Cu+、64Zn+、65Cu+和66Zn+。氧化物的形成与许多实验条件有关，例如进样流速、射频能量、取样锥一分离锥间距、取样孔大小、等离子气体成分、氧和溶剂的去除效率等。调节这些条件可以解决些特定的氧化物和氢氧化物重叠问题。ICP-MS系统组成及工作原理仪器和试样制备所引起的干扰等离子体气体通过采样锥和分离锥时，活泼性氧离子会从锥体镍板上溅射出镍离子。采取措施使等离子体的电位下降到低于镍的溅射闭值，可使此种效应减弱甚至消失。痕量浓度水平上常出现与分析物无关的离子峰，例如在几个ng·mL-1的水平出现的铜和锌通常是存在于溶剂酸和去离子水中的杂质。因此，进行超纯分析时，必须使用超纯水和溶剂。最好用硝酸溶解固体试样，因为氮的