电热&水洗Scrubber-507BWA尾气处理器

`MicroAdvancedTechnology电加热&水洗LocalScrubberMAT507BWAMicroAdvancedTechnology2020-09-10基本规格规格原理电热&水洗尺寸(W×D×H)720×850×1610mm处理容量500slm加热室-.2套并行加热器-.内建式水循环系统-.防腐蚀材料-.防堵塞设计-.自动清洁的空气喷嘴设计-.易于维护应用CVD，Diffusion，Implantation重量大约400Kg(Dry)，450Kg(Wet)MicroAdvancedTechnology2020-09-10基本规格②①③④⑧⑦⑤⑥No名称规格1进气管NW502加热室INCONEL600+STS310+STS3043中间法兰法兰STS304套管STS3104吸收体STS304,Tefloncoating5水洗室STS304,Tefloncoating6水位感应器PVC7喷嘴STS304,Tefloncoating8排气管STS304,TefloncoatingMicroAdvancedTechnology2020-09-10燃烧空气加热室水洗室Air套管燃烧室内反应H2+1/2O2H2O2C2H2+5O24CO2+2H2OC2H4+3O22CO2+2H2O2NF3N2+3F2水洗室内反应F*,HFandby-productscapturing循环泵排放泵自来水排水口排气废气进口H2,,NF3,C2H2,C2H4处理后气体排放H2,C2H2,C2H499%NF390%流程图MicroAdvancedTechnology2020-09-10第三吸收区第三吸收区供应自来水最后处理区排放循环自来水MicroAdvancedTechnology2020-09-10直式结构防爆之安全设计-.压力扩张将于水洗室内被缓冲水洗室之容量三倍大于燃烧室由上向下流向防止粉尘堵塞方型燃烧与水洗室-.有效空间利用-.减少占地面积MicroAdvancedTechnology2020-09-10维护简单容易的维修自动的乾/湿舱体的分离拆卸设计简单/快速维修循环泵与管路独特的水洗室与循环系统⇒减少维修点MicroAdvancedTechnology2020-09-10小时-.易于维修燃烧/水洗自动拆解设备MicroAdvancedTechnology2020-09-10设备拆卸MicroAdvancedTechnology2020-09-10粉尘堆积进气口AC马达Y型连接器STS弹簧去除附着在进气口的粉尘移除机械方式内部压力不会下降简单弹簧更换在触控面板上可更改时间/频率延长P.M.频率解决方案1.进气口清洗系统MicroAdvancedTechnology2020-09-10粉尘堆积高压CDA移除燃烧室内的粉尘在触控面板上可更改时间/频率延长P.M.频率解决方案2.清洁空气喷嘴MicroAdvancedTechnology2020-09-10粉尘堆积解决方案3.中间法兰的N2套管SleeveN2orAir利用空气屏障将水洗室的湿气隔绝防止粉尘在干湿交接处产生延长P.M.频率SleeveN2orAirMicroAdvancedTechnology2020-09-10粉尘堆积解决方案4.清洁水喷头粉尘会收集在水洗室的型V底层高压水流把粉尘带出在触控面板上可更改时间/频率延长P.M.频率MicroAdvancedTechnology2020-09-10腐蚀高防腐蚀材料应用于会发生腐蚀处-.B/C加热管:Inconel600-.B/CT/C管:Inconel600-.中间法兰:STS310+铁氟龙涂层解决方案1.防腐蚀材料MicroAdvancedTechnology2020-09-10厂务ItemSpecMAXAVEConnectionRemarkPowerA/C220V1Phase50AmpereMax:10KW5~6KW14㎟-4WiresCDA4~7kg/cm2200SLM80SLM3/8”TubeBurningAir+SleeveAirNW3~5kg/cm23L/min3L/min1/2”TubeDrainAcidDrain3L/min3L/min40APVCPipeDrainPort:300mmGasExhaust-50mmH2O~-100mmH2O2m3/min1m3/minNW63FlangeCabinetExhaust-50mmH2O5m3/min5m3/minØ100mmMicroAdvancedTechnology2020-09-10气体处理效能规格(%)ChemicalFormulaGasNameTradeNameGasReactionDRE(%)AsH3Arsine2AsH3+4O2→As2O5+3H2O99BCl3BoronTrichloride2BCl3+3/2O2→B2O3+3Cl299BF3BoronTrifluoride2BF3+3/2O2→B2O3+3F299B2H6DiboraneB2H6+3O2→B2O3+3H2O99Cl2ChlorineWET99HBrHydrogenBromideWET99HClHydrogenChlorideWET99PH3Phosphine2PH3+4O2→P2O5+3H2O99SiH4SilaneSiH4+2O2→SiO2+2H2O99SiH2Cl2DichlorosilaneDCSSiH2Cl2+3/2O2→SiO2+H2O+Cl299Si(OC2H5)4TetraEthylOrthoSilicateTEOS(C2H5O)4Si+12O2→8CO2+SiO2+10H2O99MicroAdvancedTechnology2020-09-10厂务成本厂务成本因各项目单价不同而有所变动UtilitycostNo厂务消耗单位单价(US$)单位年费用(US$)1电力5KW50KW/H1,8562水3LPM220㎥2943CDA80LPM10㎥3564厂务年运转成本US$2,506MicroAdvancedTechnology2020-09-10消耗品费用消耗品No品名数量单价(US$)单位使用寿命年消耗年费用(US$)1加热棒6212EA2年4.59532O型圈242EA6个月41693吸收器885Kg4年2.52124循环泵2424EA2年142456每年消耗品费用总计US$1,758MicroAdvancedTechnology2020-09-10非消耗品费用非消耗品No品名数量单价(US$)单位使用寿命总费用年费用(US$)1燃烧室13,390EA3years3,3901,1302水洗室13,814EA3years3,8141,2713中间法兰11,271EA3years1,2714244加热棒保护管6254EA3years1,5255085每年非消耗品费用总计US$3,333