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扫描振镜加工范围和聚焦光斑的约束因素 (扩束镜,扫描场镜,fθ透镜) 总结一下自己在公司一年多来的知识积累,可能有些地方理解的不准确,还望各位能人志士海涵和指正。首先提出几个问题: ⒈扫描振镜的典型性能指标是什么? 答案:加工范围、加工精度、聚焦光斑尺寸 ⒉加工范围有哪些因素影响? 答案:①扫描场镜(fθ透镜) ②加工图样失真的软件校正算法(典型的有9点校正和25点校正) ③振镜最大偏转角度(不漏光) ⒊聚焦光斑尺寸有受哪些因素影响? 答案:Φλπ 公式说明:①Φ‐为聚焦光斑尺寸 ②λ‐为激光波长 ③m‐由你的激光器决定,评价光束质量好坏的参数(BPP也是,它是由远场发散角和束腰宽度乘积决定) ④f‐扫描场镜的焦距(典型f254, f100) ⑤π‐常数 ⑥d‐进入振镜的光束宽度(现在普遍集中在20‐50mm之间) 在这里要补充说明一些东西,一些对激光扫描不是非常理解的人常会有这样的疑惑,就是听别人说,准直镜焦距越长,那么聚焦光越小,一般来讲这句话没什么问题,但是很不严谨。给你们举个例子,A公司的准直镜焦距为150,B公司的准直镜焦距为100,是不是说A公司的场镜聚焦光斑一定比B公司的要大呢?我要说这不一定。 请看以下分析: 图1 ①从透镜焦点发出的光经透镜后为平行光(这个如果不知道就有点说不过去了),光纤头就安装在这个位置,纤芯直径就相当于此时的焦点的大小,所里平行光也不是绝对的平行。 ②光纤出射光的发散角由两方面的因素影响,一是激光入射光耦合到光纤前的角度。见下图2 图2 这里还要提一点光纤的数值孔径:有很多人对这个数值孔径(NA)不理解,下面稍加分析:NA=nsinφ,φ越大说明光纤导光能力越强,一般光纤位于空气中(n1),NA一般在0.14‐0.5之间。 准直镜焦点 光纤出射光发散角 耦合点正好位于光纤纤芯处 近似等于YAG棒直径 光纤耦合单元 至此我们可以回到最初的疑问上面去:准直镜焦距是否越大,光斑就越小。两家不同的公司,光纤,光束发散角什么的我们一概不知,最后经过准直镜到达振镜的通光口径到底是多少我们都不知道。而我们知道,聚焦光斑的大小就是取决于通光口径的大小(在其他条件相同的情况下) 补充:很多厂家为了降低成本,准直镜的镜片都只采用了一块平凸,我们知道单镜片是存在像差的,在这里主要的影响因素是球差(不明白的查阅光学设计有关像差的知识),也就是焦点不再是一个点了,而是一个有尺寸大小的斑点了,那么从光纤的纤芯出射的光不再是平行光了。这样是不利于激光聚焦的。 ⒋加工精度有受哪些因素影响? 答案:总的说来它是由加工范围和聚焦光斑尺寸的影响因素共同决定的 ⒌扫描场镜原理:L=f*θ(里面学问大着呢,自己上网查资料学习吧,好的场镜一个几万块scanlab为代表) 地电网扩束镜是只有通过扩束须通过扩束镜学仪器设备;最通用的出镜,两个透镜设计成小的如右图所上(虚焦点)πω0=′和′=θπ2ω()l=式中ω(l)为入的后焦平面上T=′θθ式中T1=f2/0ω和′θ地址:中国武电话:+86(0网址:是能够改变激光束镜的调节使激镜最大限度地改扩束镜配合空的扩束镜起源于镜是虚共焦结球面相差、低所示,输入镜将,新的束腰ω′πωλ1f(′λω20(ωπ+⎛⎝⎜01入射激光束在入上,并且输出镜T′′=+⎛⎝⎜11/f1,θ和ω000f′=″πωλ′′=θT武汉东湖高新技27)517733818168.cn(中文光光束直径和发激光光束变为准改善激光的准直空间滤光片使用于伽利略望远镜构。一般小于低的波前变形和将入射的激光束0和发散角θ′(1)(2)λπωl⎞⎠⎟022入射镜上光束半镜的焦距f2大于l⎛⎝⎞⎠⎟λπω022是入射光束的2f(6)技术开发区光谷8/3399文)激光发散角的透镜组准直(平行)光直度才能得到理则可以使非对镜,通常包括一20倍的扩束镜消色差。它的束聚焦在前焦平为(3)半径,l是入射于输入镜的焦距(4)的发散角和束腰(5)谷大道凌家山南传真光扩束组件。从激光器光束,才能利用理想的远距离测对称光束分布变一个输入负透镜镜都用该原理制的局限性在于不平面激光束腰与入距,高斯光束将腰。经过扩束镜南路1号华科科真:+86(027)ecoptronics.cn束镜器发出的激光束用聚焦镜获得细测量效果;通过变为对称分布,镜和一个输出正制造,因为它简不能容纳空间滤射镜的距离,f将被扩束镜准直镜后,束腰ω″0武汉新科技园4楼51773389n(English)束具有一定的发细小的高功率密过扩束镜能改变并使光能量分正透镜。输入镜简单、体积小、滤波或者进行大f1是输入镜的直。准直倍率如和发散角θ″新特光电技术发散角,对于激密度光斑;在激变光束直径以便分布更加均匀。镜将一个虚焦点价格也低。尽大倍率的扩束。的焦距。因为ω如下:″为术有限公司激光加工来说激光测距中,必便用于不同的光点光束传送给输尽可能的该扩束ω0′落在输出镜司,必光输束镜地电网将(1)式代入(ω从(4)至束镜的功能是我公司生HeNe激光扩束扩束镜型号命BSET-BEST系xxxx-激光yy-扩Z-镜L-有M-扩T-T为AA-特例子:BEST-1BEST-11.CO2激光扩●出射光准●激光扩束●可调型扩●光能损耗●可在大功●可以根据地址:中国武电话:+86(0网址:(5)得到ω01″=Tl()(7)式可以看出是降低激光束的产和销售的扩束准直镜(633n命名总规则:BE系列扩束镜。光波长:1064为扩束倍数。镜片材料:Z为硒L为喇叭筒,扩束镜连接方式为可调型扩束镜特殊要求,内部0.6-3GM:固定0.6-3.5Z:固扩束镜(10.6μ准直性好倍数从1.5倍扩束镜能改善发耗小率条件下工作据用户要求进行武汉东湖高新技27)517733818168.cn(中文)出,扩束倍数和的发散角,进而扩束镜主要有三nm)。根据客户EST-xxxx-yy-Z为1064nm波长硒化锌(ZnSe);无L为直筒。式:M为螺纹连接镜;无T为固定部记录用途。定型10.6um二定型10.6um二μm)倍至8倍,规格发散角高达18~作行设计加工技术开发区光谷8/3399文)(7)和准直倍率不仅而使激光器聚焦三种:CO2激光户需要,也可以Z-M-T-AA长,532为532n;G为砷化镓(接;无M为圆柱定型扩束镜。二氧化碳激光3二氧化碳激光3格品种齐全~32毫弧度的激谷大道凌家山南传真仅与扩束镜的参焦光斑更小。光扩束镜(10.以供应其它波长nm波长,633为(GaAs),无标示柱直筒连接。倍扩束镜,砷3.5倍扩束镜,激光束的准直度南路1号华科科真:+86(027)ecoptronics.cn参数有关,还与6μm)、Nd:YAG长的扩束镜。为633nm波长示是光学玻璃。砷化镓材料,螺硒化锌材料,度武汉新科技园4楼51773389n(English)与激光束参数和G激光扩束镜,10.6为10.6螺纹连接。圆柱直筒连接新特光电技术和扩束镜透镜的(1064nm、5326um。接。术有限公司的位置有关。扩2和355nm)和司扩和地电网CO2激光扩束安装连接方式(1)固定型扩固定型扩束镜便获得最好的相连,使用十固定型直筒扩型BEST-BEST-BEST-1BEST-1BEST-BEST-BEST-BEST-BEST-BEST-固定型喇叭筒地址:中国武电话:+86(0网址:束镜分为固定型式又分为圆柱连扩束镜镜的两个镜片是平行光束。固分方便。扩束镜:有圆柱型号-10.6-2Z10.6-2ZM10.6-2.5Z0.6-2.5ZM-10.6-3Z10.6-3ZM-10.6-4Z10.6-4ZM-10.6-5Z10.6-5ZM扩束镜:有圆武汉东湖高新技27)517733818168.cn(中文型扩束镜和可调连接和螺纹连接是固定的,出厂定型扩束镜分柱连接和螺纹连扩束倍数222.52.5334455圆柱连接和螺纹技术开发区光谷8/3399文)调型扩束镜两类接两种。厂后客户不可以为圆柱连接和连接两种用的是总长L(mm)筒D30304040505069.769.789.889.8纹连接两种,进谷大道凌家山南传真类,每类扩束镜以自行调整。在和螺纹连接两种是进口硒化锌材筒外径D(mm)l(mm2424624246242463131631316进口硒化锌材料南路1号华科科真:+86(027)ecoptronics.cn镜又分为直筒和在工厂生产的时种。螺纹连接头材料m)最大入射直径(775.65.65.35.35.755.754.64.6料。武汉新科技园4楼51773389n(English)和喇叭筒两种外时候,我们是可的可以直接与射光mm)最大输径55新特光电技术外形形式,每种可以微调两个镜与我们的扩束镜输出光直(mm)14141414161623232323术有限公司种外形扩束镜按镜片间距的,以镜架BEM22x0.75连接方式(mm)φ24M22x0.75φ24M22x0.75φ24M22x0.75φ31M22x0.75φ33M22x0.75司按以5地电网型BEST-BEST-1BEST-1BEST-10BEST-BEST-1BEST-BEST-1BEST-BEST-1(2)可调型扩可调型扩束镜响从而获得经得准直激光束可调型直筒扩型BEST-10BEST-10地址:中国武电话:+86(0网址:扩束镜镜专为具有较大经扩束的准直性。扩束镜:有圆柱号0.6-2ZT.6-2ZTM武汉东湖高新技27)517733818168.cn(中文扩束倍数222.52.5334455大的发散角度的性良好的激光束柱连接和螺纹连扩束倍数(22技术开发区光谷8/3399文)总长L(mm)筒D30304040505069.769.789.889.8的激光扩束所设束。当入射激光连接两种,进口总长L(mm)外(4046谷大道凌家山南传真(mm)l(mm2411.2462415.24624192463126.3163134316设计。通过调整光具有较大发散口硒化锌材料。外径D(mm)2424南路1号华科科真:+86(027)ecoptronics.cnm)最大入射直径(57755.65.695.35.355.755.7544.64.6整扩束镜片间距散角时,逐渐加l(mm)最86武汉新科技园4楼51773389n(English)射光mm)最大输径55距离,在一定范加大镜片之间的最大入射光直径(mm)77新特光电技术输出光直(mm)14141414161623232323范围内可以消除的距离,在一定最大输出光直径(mm)1414术有限公司连接方式(mm)D24/d18M22x0.75D24/d18M22x0.75D24/d18M22x0.75D31/d25M22x0.75D33/d25M22x0.75除发散角度的影定的位置即可获连接方式(mm)φ24M22x0.75司影获地电网BEST-10.BEST-10.BEST-10BEST-10BEST-10BEST-10BEST-10BEST-10可调型喇叭筒产品BEST-10BEST-10BEST-10.BEST-10.BEST-10BEST-10BEST-10BEST-10BEST-10BEST-10(3)高功率二A:CBE系列高两聚焦镜片间输入
本文标题:扫描振镜的加工范围,聚焦光斑的约束因素,场镜 ,扩束镜 ,fθ透镜
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