中科科仪分子泵说明书

企业通过ISO9001质量管理体系认证分子泵全系列使用说明书北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）¾分子泵安全使用说明在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。¾安全警示说明危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项；警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项；小心：表示为了使泵的使用效果昀佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。¾保修说明凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。凡属下列情况之一的，不予保修：1)用户未经授权对产品私自拆卸；2)用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3)属于用户其他原因造成的损坏。¾免责声明当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有昀终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有。1概述1.1分类与特点本说明书所列分子泵，按口径不同，从100mm到400mm（对应抽速从110l/s到3500l/s）共5个系列，12种泵。分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。根据分子泵轴承润滑方式不同，分子泵有油润滑、脂润滑两种。一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110可以水平安装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。1.2主要用途及应用领域分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，不使用冷阱或挡板，也可以得到一个较高的真空。它广泛的应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造以及真空技术的各个领域。北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）1.3型号组成及含意-□/□□特征代号2额定抽速（l/s）高真空接口口径特征代号1说明：特征代号1：“F”，表示涡轮分子泵；“FF”，表示复合分子泵。特征代号2：“F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷；“N”，表示耐腐蚀泵；“C”等其他字母，表示产品或性能的改进相关性能参见各系列的技术说明。1.4工作条件分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连续工作入口压强要求小于等于1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于5Pa），且要求前级排气口压强保持在10Pa以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的KYKY分子泵控制器。图1-1分子泵的应用（真空系统原理图）北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）1.5装箱单在打开包装箱后，请仔细核对箱内分子泵及其附件。表1-1装箱单序号名称单位数量备注1分子泵台12防护网个13使用说明书份14检验合格证份15保修卡份16CF铜垫圈个2CF接口专用7保护气体接口KF16盲板、卡箍套1耐腐蚀泵专用8分子泵润滑油瓶1油润滑泵专用9O圈支架（包括O圈）套1LF接口专用3100系列、160系列、200系列中LF接口分子泵6250系列10卡钳（LF专用）个9400系列1.6配件选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件：表1-2选购配件表序号名称单位规格数量备注100系列160系列1*分子泵泵体加热器套1200系列100系列中CF100高真空接口M8×5516160系列中CF150高真空接口2螺栓、螺母、垫圈套M8×6024200系列中CF200高真空接口﹡在需要的情况下是指：要获得超高及以上真空，泵壳必须烘烤的情况等。北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）2技术说明2.1100系列涡轮分子泵技术说明100系列涡轮分子泵包括F-100/110、F-100/150两种。表2-1100系列涡轮分子泵技术参数表型号F-100/110F-100/150抽气速率（l/s）110150压缩比N2：108；H2：5×102≤6×10-6(DN100LF)极限压强（Pa）≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN100CF)排气口法兰KF25(DN25ISO-KF)进气口法兰LF100(DN100ISO-K)、CF100轴承普通轴承额定转速（rpm）42300启动时间（min）＜2振动值（(μm)）≤0.1建议前级泵（l/s）2充油量(ml)2×6安装方式垂直或水平冷却方式环境温度5—32℃时，风冷；5—40℃时，水冷；冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃）5—40重量（kg）8①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果。图2-1F-100/110安装简图图2-2F-100/150安装简图北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）2.2160系列复合分子泵技术说明160系列复合分子泵包括FF-160/500F、FF-160/620C、FF-160/620CN、FF-160/700四种泵。表2-2160系列复合分子泵技术参数表型号FF-160/500FFF-160/620CN③FF-160/620CFF-160/700抽气速率（l/s）500600700压缩比N2：109；H2：6×103N2：109；H2：6×104N2：109；H2：6×106≤6×10-6(DN160LF)≤6×10-7(DN160LF)极限压强（Pa）≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN160CF)≤6×10-8①(DN160CF)额定转速（rpm）240002700036000启动时间（min）＜5＜6＜4轴承普通轴承陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体）排气口法兰KF40(DN40ISO-KF)进气口法兰LF160(DN160ISO-K)、CF160振动值（(μm)）≤0.1建议前级泵（l/s）4-8冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃）5-40℃(FF-160/500F可在5-32℃时风冷)充油量(ml)150脂润滑安装方式竖直±5°任意角度重量（kg）2919①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果；②此极限为水冷条件下的测试结果；③动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）图2-3FF-160/500F安装简图图2-4FF-160/620C安装简图图2-5FF-160/620CN安装简图3-图2-6FF-160/700安装简图北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）2.3200系列复合分子泵技术说明200系列复合分子泵包括：FF-200/1200C、FF-200/1300两种泵。表2-3200系列复合分子泵技术参数表型号FF-200/1200CFF-200/1300抽气速率（l/s）12001300压缩比N2：109；H2：6×103≤1×10-6（DN200LF）≤6×10-6（DN200LF）极限压强（Pa）≤1×10-7（DN200CF）≤6×10-8①；≤6×10-7②（DN200CF）额定转速（rpm）2700024000启动时间（min）＜6轴承陶瓷轴承排气口法兰KF40(DN40ISO-KF)进气口法兰LF200(DN200ISO-K)、CF200振动值（(μm)）≤0.1建议前级泵（l/s）15冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃）5-40充油量(ml)150脂润滑安装方式竖直±5°任意角度重量（kg）3929①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果；北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）图2-7FF-200/1200C安装简图3-孔M8×20图2-8FF-200/1300安装简图2.4250系列分子泵技术说明250系列分子泵包括F-250/1500、FF-250/1600、FF-250/1800三种。表2-4250系列分子泵技术参数表型号F-250/1500FF-250/1600FF-250/1800①抽气速率（l/s）150016001800压缩比N2：108；H2：5×103极限压强(Pa)≤6×10-6≤1×10-6额定转速（rpm）2100027000启动时间（min）＜8轴承普通轴承陶瓷轴承排气口法兰KF50(DN50ISO-KF)KF40(DN40ISO-KF)进气口法兰LF250(DN250ISO-K)振动值（(μm)）≤0.1建议前级泵15冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度≤100环境温度（℃）5-40充油量(ml)150脂润滑安装方式竖直±5°任意角度重量（kg）604742①充气口：KF10(DN10ISO-KF)放气口Ф1。北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）图2-9F-250/1500安装简图图2-10FF-250/1600安装简图图2-11FF-250/1800安装简图2.5400系列涡轮分子泵技术说明400系列涡轮分子泵包括F-400/3500涡轮分子泵。北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）表2-5400系列涡轮分子泵技术参数表型号F-400/3500抽气速率（l/s）3500振动值（(μm)）≤0.5压缩比N2：108；H2：5×102建议前级泵（l/s）30极限压强（Pa）≤6×10-6冷却水温度（℃）≤25排气口法兰LF100(DN100ISO-K)泵体烘烤温度（℃）≤80进气口法兰LF400(DN400ISO-K)环境温度（℃）5-40轴承陶瓷轴承充油量(ml)150启动时间（min）＜18安装方式竖直±5°额定转速（rpm）13500重量（kg）136196图2-12F-400/3500安装简图2.6与分子泵匹配的控制器表2-6分子泵与控制器对照表分子泵型号配用控制器F-100/110、F-100/150FD-110AFD-ⅠFF-160/500FFD-Ⅱ500KFF-160/620CFD-Ⅱ600HFF-160/620CNFD-Ⅱ600KFF-160/700FD-Ⅱ700KFF-200/1200CFD-Ⅱ1200HFF-200/1300FD-Ⅱ1300KF-250/1500FD-Ⅱ1500KFF-250/1600FD-Ⅱ1600HFF-250/1800FD-Ⅱ1800KF-400/3500FD-3500KFD-Ⅲ北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）3运输与保存3.1运输分子泵出厂时，包装在包装箱里。在运输过程中，要轻搬轻放，严禁强震、倒置、侧放、雨淋、严寒和暴晒。3.2保存泵及控制器在开箱前应贮存在干燥、通风、没有腐蚀性气体的房屋内，防止雨淋、严寒和暴晒。贮存环境温度：-20℃~+55℃；相对湿度不超过95%。3.3搬动分子泵在打开包装箱后搬动时，注意不能倒置或过大角度倾斜（不大于45°），并注意保护泵的高真空接口、前级接口、水嘴、控制器接口等易损坏部位。警告：a)仅在将泵放置于所要安装的系统前时，打开泵的密封盖；b)泵的前级接口、水嘴、控制器接口等突出部位不能作为搬运把手；c)搬运时，注意保护泵的高真空、前级接口，避免划伤。4安装4.1确认泵的主要用途分子泵只能用于将一个封闭腔室从分子流区域或接近分子流区域抽至更高真空；分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体；除了“N”型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，“N”型泵在抽除腐蚀性气体时，必须给轴承通保护气体，且泵油使用KYKY提供的专用耐腐蚀分子泵油。警告：每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的控制器供电，如因此类使用不当造成的损失，本公司概不负责。4.2安